Интерферометры лазерные ФТИ
| Номер в ГРСИ РФ: | 79780-20 |
|---|---|
| Категория: | Интерферометры |
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Дифракция", г. Новосибирск |
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 79780-20 |
| Наименование | Интерферометры лазерные |
| Модель | ФТИ |
| Страна-производитель | РОССИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 140303, 130304, 101201, 050411, 101202 |
Производитель / Заявитель
Закрытое Акционерное общество "Дифракция" (ЗАО "Дифракция"), г. Новосибирск
РОССИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 10 |
| Найдено поверителей | 3 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 10 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 79780-20: Описание типа СИ | Скачать | 350.3 КБ | |
| 79780-20: Методика поверки МП № 203-7-2019 | Скачать | 3.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 632 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается контролируемой деталью. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности.
Интерферометры изготовлены одной модификации: ФТИ-100 (таблица 2).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ-100
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости спектральным методом (SM) и методом фазового сдвига (PS).
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
DiOpto |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.3.13 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
|
Модификация |
ФТИ-100 |
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,03 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,025 |
|
Повторяемость измерений, не более, мкм |
0,008 |
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
|
Модификация |
ФТИ-100 |
|
Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм |
100 |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 Длина волны лазера, не более, нм |
3А |
|
- He-Ne лазер |
633 |
|
Мощность, не более, мВт |
4 |
|
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, не более, Гц |
30 |
|
Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В |
от 200 до 240 |
|
Частота, Гц |
от 49 до 51 |
|
Масса, не более, кг |
18 |
|
Габаритные размеры, не более, мм | |
|
- длина |
270 |
|
- ширина |
205 |
|
- высота |
500 |
|
Условия эксплуатации | |
|
- температура окружающей среды, °С |
От +18 до +22 |
|
- относительная влажность, % |
От 50 до 90 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Интерферометр лазерный |
ФТИ-100 |
5 шт. |
|
Компьютер с ПО |
1 шт. | |
|
Паспорт |
5 шт. | |
|
Методика поверки |
МП № 203-7-2019 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП № 203-7-2019 «ГСИ. Интерферометры лазерные ФТИ.
Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019 г.
Основное средство поверки:
- мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы
ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм
Другие Интерферометры
