Профилометры оптические S Neox
| Номер в ГРСИ РФ: | 81550-21 |
|---|---|
| Категория: | Профилометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Sensofar-Tech, SL", Испания |
Профилометры оптические S Neox (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 81550-21 |
| Наименование | Профилометры оптические |
| Модель | S Neox |
| Страна-производитель | ИСПАНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 12.04.2026 |
Производитель / Заявитель
Sensofar-Tech, SL, Испания
ИСПАНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 7 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 7 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 81550-21: Описание типа СИ | Скачать | 379.1 КБ | |
| 81550-21: Методика поверки МП 203-62-2020 | Скачать | 3.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Профилометры оптические S Neox (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Описание
Профилометры оптические S Neox относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции и смещении конфокальной плоскости освещения.
Метод когерентной корреляционной интерферометрии основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 200 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе.
Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света, конструктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном или металлическом основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера и микродисплей, выполняющий функцию источника проецируемого изображения для осуществления измерений в конфокальном режиме. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона в двух плоскостях. В состав профилометров входит компьютер и контроллер с интерфейсными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом, приемом-передачей прочих управляющих сигналов. Профилометры имеют 4 LED источника света: красный (630 нм), зеленый (530 нм), синий (460 нм) и белый (575 нм).
Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.
Опломбирование систем от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Рисунок 1 - Общий вид профилометра S Neox.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SensoSCAN» является специализированным ПО профилометров и предназначено для управления механическими частями, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости .
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
SensoSCAN |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
7.1 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики профилометров
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 0,001 до 50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм* |
±(0,01+0,05-h), где h -измеряемый параметр в мкм |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 200 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), мкм* |
±(0,05+0,05Ъ), где h -измеряемый параметр в мкм |
|
Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высоты ступени, % *,** |
0,5 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х 20х 50х 100х 150х |
от 5,16 до 7000 от 2,58 до 3500 от 1,29 до 1750 от 0,65 до 870 от 0,26 до 350 от 0,13 до 170 от 0.09 до 110 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х 20х 50х 100х 150х |
от 5,16 до 5280 от 2,58 до 2640 от 1,29 до 1320 от 0,65 до 660 от 0,26 до 260 от 0,13 до 130 от 0.09 до 88 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±8 |
|
* - при температуре окружающего воздуха от плюс 18 до плюс 22 °С и относительной влажности воздуха не более 80% * * - номинальное значение высоты 10 мкм. | |
Таблица 3 - Технические характеристики профилометров
|
Максимальное разрешение по оси Z, нм |
0,1 |
|
Максимальное разрешение в плоскости XY, нм |
90 |
|
Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, Y) и сенсорной головки (ось Z), мм: по оси Х, Y по оси Z |
600x600 350 |
|
Максимальный размер измеряемого образца (ширинахдлинахвысота), мм, не более |
600x600x350 |
|
Габаритные размеры (ширинахвысотахглубина), мм, не более |
600x610x740 |
|
Масса без упаковки, кг, не более |
92 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
210 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более |
от +10 до +35 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Кол-во |
|
Профилометры оптические S Neox |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 203-62-2020 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главах № 3, № 4 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 06.11.2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»
Техническая документация изготовителя
Другие Профилометры
