Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Nanometrics HL5500PC
| Номер в ГРСИ РФ: | 82346-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Nanometrics Inc.", Канада |
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Nanometrics HL5500PC (далее - установка) предназначена для измерений силы постоянного тока и постоянного напряжения, а так же для расчета удельного электрического сопротивления, концентрации и подвижности носителей заряда в полупроводниках по эффекту Холла в постоянном магнитном поле в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 82346-21 |
| Наименование | Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла |
| Модель | Nanometrics HL5500PC |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | HL5500-1117-0178 |
Производитель / Заявитель
Nanometrics Incorporate, США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 82346-21: Описание типа СИ | Скачать | 456.7 КБ | |
| 82346-21: Методика поверки МП 15-26-2021 | Скачать | 6 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Nanometrics HL5500PC (далее - установка) предназначена для измерений силы постоянного тока и постоянного напряжения, а так же для расчета удельного электрического сопротивления, концентрации и подвижности носителей заряда в полупроводниках по эффекту Холла в постоянном магнитном поле в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений).
Описание
Принцип действия установки основан на измерении напряжения постоянного тока в направлениях: параллельном и перпендикулярном пропускаемому току, между контактами образца, без воздействия и при воздействии на образец магнитного поля. Смена направления подачи постоянного тока и направления измерения напряжения производится автоматически. По результатам полученных значений напряжения постоянного тока, вычисляется значение удельного сопротивления, проводимости, концентрации и подвижности основных носителей заряда, магнитного сопротивления, коэффициента Холла в соответствии с методикой измерений по ГОСТ 25948 - 83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в
микроэлектронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла».
Установка применяется при исследовании электрофизических свойств широкого спектра материалов (проводников и полупроводников с поверхностным сопротивлением до 100 ГОм/см2): кремний, германий, многокомпонентные полупроводники (GaAs, InAs, InP, ZnO, SiC, InAlGaAs, InAlGaN, и т. п.).
Конструктивно установка состоит из приборного блока, измерительного блока и персонального компьютера (ПК).
Приборный блок выполнен в металлическом корпусе, на лицевой панели расположен индикатор питания, на задней панели расположены разъёмы для подключения к измерительному блоку, источнику питания и ПК, так же на задней панели имеется кнопка сброса. Взаимодействие с ПК осуществляется посредством универсальной интерфейсной шины GPIB (IEEE 488).
Измерительный блок выполнен в прямоугольном корпусе с откидной крышкой, внутри которого помещен магнит. На задней панели расположены разъёмы для подключения к приборному блоку и ПК. Установочное место для образцов рассчитано на два типа, а именно: ван дер Пау и образцы в виде бруска или моста. Размер образца следует выбирать с таким расчетом, чтобы его активная зона (без учета зон контакта) помещалась на равномерной зоне магнитного поля диаметром 24 мм.
Удельное электрическое сопротивление определяется расчётным методом.
К установке данного типа относиться установка с зав. № HL5500-1117-0178.
На торцевой части установки имеется табличка, предназначенная для идентификации. Заводской номер и основные данные об установке нанесены на табличку методом термотрансферной печати.
Знак поверки наносится на корпус измерительного блока.
Общий вид установки, схема пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 1.
Место нанесения заводского
Место нанесения знака поверки_____________
номера
Место пломбировки
Приборный блок
Измерительный блок
Рисунок 1 - Общий вид установки, схема пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) установки на базе Windows обеспечивает сервисные функции: стандартный либо по усмотрению пользователя выбор измеряемых параметров, управление установкой, создание и хранение отчетов.
Идентификационные данные метрологически значимого программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
HL55WIN |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 2.35 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Уровень защиты метрологически значимой части программного обеспечения установки от непреднамеренных и преднамеренных изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО на метрологические характеристики установки учтено при их нормировании.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон воспроизведений силы постоянного тока, мкА |
от 10 до 4000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведений силы постоянного тока, % |
± 2 |
|
Диапазон измерений постоянного напряжения, мВ |
от 20 до 200 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений постоянного напряжения, % |
± 2 |
|
Номинальное значение магнитной индукции в рабочей зоне, Тл |
0,500 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения магнитной индукции в рабочей зоне, Тл |
± 0,015 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения магнитной индукции в рабочей зоне, % |
± 2 |
|
Диапазон показаний удельного электрического сопротивления, Ом^см |
от 1-10-4 до 1-109 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Входное электрическое сопротивление, Ом, не менее |
2 • 107 |
|
Продолжительность непрерывной работы, ч, не более |
8 |
|
Параметры электрического питания: | |
|
- напряжение переменного тока, В |
220 ± 4,4 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50 ± 0,5 |
|
Сопротивление изоляции, МОм, не менее |
100 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: Измерительный блок: | |
|
- высота |
295 |
|
- ширина |
535 |
|
- длина |
700 |
|
Приборный блок: | |
|
- высота |
150 |
|
- ширина |
280 |
|
- длина |
400 |
|
Масса, кг, не более: | |
|
Измерительный блок |
47,8 |
|
Приборный блок |
9 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
от + 15 до +25 |
|
- относительная влажность воздуха, % |
от 20 до 80 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус установки методом термотрансферной печати.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла |
Nanometrics HL5500PC |
1 шт. |
|
Руководство пользователя (eng/rus) |
Выпуск 5.0 |
1 экз. |
|
CD - диск (прикладное ПО) |
HL55WIN |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 15-26-2021 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в Главе 6 Руководства пользователя
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия»
Приказ Росстандарта от 30.12.2019 № 3457 «Об утверждении государственной
поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического напряжения и
электродвижущей силы»
Приказ Росстандарта от 01.10.2018 № 2091 «Об утверждении государственной
поверочной схемы для средств измерений силы постоянного тока в диапазоне от Г10’16 до 100 А»
Приказ Росстандарта от 24.02.2012 № 105 «Об утверждении Государственного
первичного эталона единиц магнитной индукции, магнитного потока, магнитного момента и градиента магнитной индукции»
ГОСТ 24392-80 «Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом»
ГОСТ 25948-83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла»
Техническая документация изготовителя
Смотрите также
