Набор мер толщины кремния монокристаллического "ЛАССАРД" "ЛАССАРД"
| Номер в ГРСИ РФ: | 82953-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ООО "ЛАССАРД", г. Обнинск |
Набор мер толщины кремния монокристаллического «ЛАССАРД» (далее по тексту - набор) предназначен для воспроизведения и передачи значений толщины приборам для измерений толщины пластин из кремния.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 82953-21 |
| Наименование | Набор мер толщины кремния монокристаллического "ЛАССАРД" |
| Модель | "ЛАССАРД" |
| Страна-производитель | РОССИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав. № СНРД.294285.001 в составе пяти мер с зав. №№: СНРД.294985.100.150 SI, СНРД.294985.100.300 SI, СНРД.294985.100.450 SI, СНРД.294985.100.600 SI, СНРД.294985.100.1500 SI |
Производитель / Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью "ЛАССАРД" (ООО "ЛАССАРД"), г. Обнинск
РОССИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 82953-21: Описание типа СИ | Скачать | 233.9 КБ | |
| 82953-21: Методика поверки МП 203-13-2021 | Скачать | 2.5 MБ |
Описание типа
Назначение
Набор мер толщины кремния монокристаллического «ЛАССАРД» (далее по тексту - набор) предназначен для воспроизведения и передачи значений толщины приборам для измерений толщины пластин из кремния.
Описание
Принцип действия мер основан на воспроизведении заданных значений толщины.
Набор состоит пяти мер, которые отличаются друг от друга воспроизводимыми значениями толщины.
Конструктивно меры представляют собой шлифованные с обоих сторон пластины круглой формы, изготовленные из монокристаллического кремния.
Каждая мера помещена в индивидуальный пластиковый контейнер, на который методом наклейки нанесена этикетка с надписью: СИ1РТ.294985.ХХХЛ'УУ SI, где ХХХ -диаметр меры, YYY- толщина меры, SI - материал из которого изготовлена мера.
Общий вид мер представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке
Рисунок 1 - Общий вид меры кремния монокристаллического
Программное обеспечение отсутствует.
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Номинальные значения толщин, мкм |
150 |
|
300 | |
|
450 | |
|
600 | |
|
1500 | |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения толщины, мкм |
±10 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения |
±(0,25+0,0025-L), |
|
толщины, мкм |
где L, мкм |
|
Стандартное отклонение среднего арифметического значения толщины, мкм |
0,2 |
|
Разнотолщинность, мкм, не более |
3 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры, мм, диаметр, не более |
100,5 |
|
Масса, кг, не более |
0,4 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Набор мер толщины кремния монокристаллического |
«ЛАССАРД» |
1 шт.* |
|
Паспорт |
СНРД.294285.001 ПС |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 203-13-2021 |
1 экз. |
|
*количество и номинальные размеры мер в наборе определяются при заказе | ||
Сведения о методах измерений
пункт 7 паспорта СНРД.294285.001 ПС.
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя
Смотрите также
