Установка MicroProf 200 TTV
| Номер в ГРСИ РФ: | 84128-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | FRT GmbH, Германия |
Установка MicroProf 200 TTV (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 84128-21 | ||||||
| Наименование | Установка | ||||||
| Модель | MicroProf 200 TTV | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 3b843839-6fdf-5555-2c87-d7216e137a3f | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
FRT GmbH, ГЕРМАНИЯ
ГЕРМАНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 03.05.2026 |
Поверители
Скачать
|
84128-21: Описание типа
2021-84128-21.pdf
|
Скачать | 414 КБ | |
|
84128-21: Методика поверки
2021-mp84128-21.pdf
|
Скачать | 1.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка MicroProf 200 TTV (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Описание
Принцип действия установки основан на хроматической аберрации оптических линз. Образец освещается сфокусированным лучом белого света. Пассивная линза с большой хроматической аберрацией рассеивает луч белого свет вертикально в различные цветовые фокусные точки и, соответственно, высоты. Сфокусированный луч света отражается от поверхности измеряемого объекта и попадает в миниатюрный спектрометр через ту же линзу и стекловолоконный кабель. Длина волны отраженного луча света зависит от расстояния между датчиком и измеряемым объектом.
Установка состоит из измерительного датчика, прецизионного стола с встроенными калибровочными образцами с номинальными значениями толщины 500 и 700 мкм, гранитного демпфирующего основания и управляющего компьютера с TFT-монитором.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Установка данного типа имеет зав. № MPR1465, нанесенный на наклейке, расположенной на задней части корпуса.
Рисунок 1 - Общий вид установки MicroProf 200 TTV
Программное обеспечение
Установка имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью которого осуществляется управление работой установки и сбор данных.
Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Acquire |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
5.1.2.0 и выше |
При работе с установкой пользователь не имеет возможности влиять на процесс расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные.
Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 1 - Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, мкм |
от 150 до 1500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм |
±(0,5+0,005-L), где L, мкм |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний прогиба и коробления пластины, мкм |
от 0 до 200 |
|
Диаметр контролируемой пластины, мм |
от 76,2 до 200 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение, В - частота, Гц |
от 198 до 242 50 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
1100 820 1800 |
|
Масса, кг, не более |
500 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды °С |
от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
MicroProf 200 TTV |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 203-31-2021 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
пункт 3 руководства по эксплуатации
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя