Установка Proforma 300iG
| Номер в ГРСИ РФ: | 84129-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "MTI Instruments, Inc.", США |
Установка Proforma 300iG (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из кремния, арсенида галлия, фосфида индия, германия, а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 84129-21 |
| Наименование | Установка |
| Модель | Proforma 300iG |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 310008ВВ17 |
Производитель / Заявитель
Фирма "MTI Instruments", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 84129-21: Описание типа СИ | Скачать | 273.1 КБ | |
| 84129-21: Методика поверки | Скачать | 2 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка Proforma 300iG (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из кремния, арсенида галлия, фосфида индия, германия, а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Описание
Принцип работы установки основан на принципе действия емкостных датчиков.
Конструктивно установка представляет собой корпус, в котором установлены 2 емкостных датчика, расположенных друг напротив друг друга.
В измеритель загружается пластина, происходит измерение расстояния от верхнего датчика до лицевой стороны пластины и расстояния от нижнего датчика до обратной стороны пластины. Толщина вычисляется как разница суммы измеренных расстояний из известной дистанции между парами датчиков.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Установка данного типа имеет зав. № 310008BB17.
Рисунок 1 - Общий вид установки Proforma 300iG
Albany NY '2205 Year of Manufacture:^7
PROFORMA 300iG
MODEL 9000-6760-002
SERIAL 310009BB17
RANGE: 1 7MM
Программное обеспечение
Установка имеет встроенное программное обеспечение (ПО), которое записано в энергонезависимую память установки при выпуске из производства и не может быть изменено в процессе эксплуатации. Идентификация ПО не предусмотрена.
Конструкция средства измерений (СИ) исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию.
Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 1 - Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, мкм |
от 150 до 1500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм |
±(0,5+0,005-L), где L, мкм |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний прогиба и коробления пластины, мкм |
от 0 до 200 |
|
Диаметр контролируемой пластины, мм |
от 50 до 200 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение, В |
от 100 до 240 |
|
- частота, Гц |
50 |
|
Габаритные размеры установки, мм, не более: - длина |
490 |
|
- ширина |
330 |
|
- высота |
280 |
|
Масса установки, кг, не более |
12,3 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
Proforma 300iG |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 203-30-2021 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
раздел 3 руководства по эксплуатации
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя
Смотрите также
