Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH
| Номер в ГРСИ РФ: | 86604-22 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Advantest Europe GmbH", Германия |
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH (далее - стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 86604-22 |
| Наименование | Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем |
| Модель | V93000 Pin Scale 1600/CTH |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | MY04604128 |
Производитель / Заявитель
Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия; Производственная площадка: Advantest PTE, Ltd, Малайзия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 4 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 86604-22: Описание типа СИ | Скачать | 495.9 КБ | |
| 86604-22: Методика поверки | Скачать | 34.4 MБ |
Описание типа
Назначение
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH (далее - стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе.
Описание
Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока) и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности.
Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8.
Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу. Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора.
Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DCS DPS128 (E8023CSH).
Стенд выполнен в виде измерительного головного блока, имеющего вариант исполнения CTH (Compact test head), манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливаются измерительная оснастка с объектом контроля или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, количество до 16 шт., всего до 1024 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальная плата прецизионного источника-измерителя напряжения и силы тока HPPMU, количество до 2 шт.;
- 64-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS128 (E8023CSH), количество до 16 шт.
Общий вид стенда представлен на рисунке 1. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Для ограничения несанкционированного доступа к внутренним частям и элементам производится пломбировка путем нанесения защитного стикера на лицевой панели измерительного головного блока. Знак утверждения типа и знак поверки наносятся на лицевую панель измерительного головного блока в виде самоклеющихся этикеток.
Заводской (серийный) номер в формате 10-ти символов, первые два из которых - буквы «MY», а остальные - арабские цифры, указан на заводской самоклеющейся этикетке, помещенной на задней панели измерительного головного блока. Фрагмент задней панели головного блока с этикеткой показан на рисунке 2.
место пломбирования (стикер)
место размещения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид стенда
Рисунок 2 - Фрагмент задней панели измерительного головного блока с этикеткой
Программное обеспечение
Программное обеспечение, установленное на управляющую ПЭВМ, выполняет функции создания и редактирования параметров функционального и параметрического контроля, обработки и документирования измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по рекомендации Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
идентификационное наименование |
SmarTest |
|
идентификационный номер версии |
не ниже 7.2.3.4 |
Технические характеристики
Метрологические и основные технические характеристики стенда представлены в таблицах 2, 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
1 |
2 |
|
Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
от 2,5 до 31250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности вектора тестовой последовательности, нс |
±15-10’6-Т |
|
Диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от -4-Т до +12-Т |
|
Крайние значения временных меток, мкс |
-6,3; +19 |
|
Разрешение временных меток, пс |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс |
±150 |
|
Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более | |
|
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 0,7 0,8 |
|
Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс | |
|
при амплитуде 1,0 В |
0,7 |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 |
|
Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного д |
райвера, нс, не более |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 |
|
Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение напряжения драйвера, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ |
±5 |
|
Выходное сопротивление драйвера, Ом |
от 47,5 до 52,5 |
|
1 |
2 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | |
|
диапазон VIL/VIH |
от 0 до 6,5 |
|
диапазон VHH |
от 6 до 13,4 |
|
Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ |
±15 |
|
Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В |
от 45 до 55 |
|
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В |
не более 10 |
|
Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение компаратора, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ |
±15 |
|
Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В |
от -3,0 до +13,4 |
|
Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 8 В |
±20 |
|
при уровнях напряжения от -3,0 до +13,4 В |
±50 |
|
Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В |
±1,0 |
|
Разрешение дифференциального компаратора, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ |
±15 |
|
Диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА |
±25 |
|
Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА |
12,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока I активной нагрузки, мкА |
±(1-10’Ч + I0), I0 = 75 мкА |
|
Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тс при силе тока в пределах ± 1 мА при силе тока в пределах ±25 мА |
жа в нагрузке, В от -1,5 до +6,5 от -1,0 до +5,5 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от -2,0 до +6,5 |
|
при силе тока в пределах ±40 мА |
от -2,0 до +5,75 |
|
Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ воспроизведение напряжения измерение напряжения |
200 75 |
Продолжение таблицы 2______________________________________________
1 2
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения AU источника-измерителя PMU определяются по формуле AU = ±(Uo + UR), где I - сила тока нагрузки, мА; R = 1 Ом; Uo = 3 мВ для воспроизведения напряжения; Uo = 2 мВ для измерения напряжения от 0 до +3,3 В; Uo = 4 мВ для измерения напряжения от -2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В | ||||
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА | |||
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU | ||||
|
на пределе 2 мкА |
1 нА | |||
|
на пределе 10 мкА |
5 нА | |||
|
на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 40 мА |
50 нА 0,5 мкА 20 мкА | |||
|
П ш |
ределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы стоянного тока AI источником-измерителем PMU определяются по формуле A I = ±(5-10-3Д + I0), где I - сила тока, мкА; значения [0 приведены в таблице ниже: „ 1 значения [0, мкА верхний предел t.................................................................................................................................................................1 1 воспроизведение силы тока 1 измерение силы тока | |||
|
2 мкА |
0,04 | 0,01 | |||
|
10 мкА |
0,1 | 0,05 | |||
|
100 мкА 1 0,5 1 0,2 ...........1 мА...................................................................1..............................................................................5..............................................................................| 1,25 ..........40 мА................................................................|..........................................................................50...........................................................................| 50 | ||||
|
Диапазон измерения напряжения АЦП BADC, В в стандартном режиме в широкодиапазонном режиме |
от -3,0 до +8,0 от -6,0 до +13,4 | |||
|
Входное сопротивление АЦП BADC, МОм, не менее |
100 | |||
|
Разрешение АЦП BADC, мкВ | ||||
|
в стандартном режиме |
75 | |||
|
в широкодиапазонном режиме |
150 | |||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного АЦП BADC, мВ | ||||
|
в стандартном режиме |
±1 | |||
|
в широкодиапазонном режиме |
±10 | |||
|
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения прецизионным ......HPPMU, В.......... при подключении через плату PS1600 при подключении через разъем UTILITY pogo block |
и источником-измерителем от -1,5 до +6 от -5 до +8 | |||
|
Разрешение по напряжению HPPMU, мкВ |
250 | |||
Продолжение таблицы 2______________________________________________
1 2
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ
|
при подключении через плату PS1600 |
±(U + I-R) I - сила тока нагрузки, мА U0 = 2 мВ; R = 1 Ом |
|
при подключении через разъем UTILITY pogo block |
±2 |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU | |
|
на пределе 5 мкА |
250 пА |
|
на пределе 200 мкА |
6 нА |
|
на пределе 5 мА |
250 нА |
|
на пределе 200 мА |
6 мкА |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока источником-измерителем HPPMU определяются по формуле
AI = ±(1-10"Ч + Io),
где I - сила тока, мкА; значения Io приведены в таблице ниже:
|
верхний предел |
значения I0, мкА |
|
5 мкА через плату PS1600 |
0,05 |
|
5 мкА через разъем UTILITY pogo block |
0,01 |
|
200 мкА |
0,2 |
|
5 мА |
10 |
|
200 мА |
200 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения измерительным источником питания DCS DPS128, В |
от -2,5 до +7 |
|
Разрешение воспроизведения и измерения напряжения DCS DPS128, мкВ |
200 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения DCS DPS128, мВ |
±3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения DCS DPS128, мВ |
±2 |
|
Максимальная сила тока в нагрузке одного канала DCS DPS128, А при воспроизведении напряжения до 2,5 В при воспроизведении напряжения до 7 В |
1,0 0,5 |
|
Верхние пределы диапазонов воспроизведения, измерения и ограничения силы тока одного канала DCS DPS128 |
12,5; 25; 125; 250 мкА; 1,25; 2,5; 12,5; 25; 100; 200 мА; 1 А |
|
1 |
2 |
|
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока одного канала DCS DPS128 | |
|
на пределе 12,5 мкА на пределе 25 мкА на пределе 125 мкА |
0,5 нА 1 нА 5 нА |
|
на пределе 250 мкА |
10 нА |
|
на пределе 1,25 мА |
50 нА |
|
на пределе 2,5 мА |
100 нА |
|
на пределе 12,5 мА на пределе 25 мА на пределе 100 мА |
0,5 мкА 1 мкА 5 мкА |
|
на пределе 200 мА |
10 мкА |
|
на пределе 1 А |
50 мкА |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока AI одним каналом DCS DPS128 определяются по формуле
AI = ±(2-10-3-I + Io),
где I - сила тока, мкА; значения Io приведены в таблице ниже:
|
предел диапазона |
значения силы тока I |
значения I0, мкА |
|
12,5 мкА |
2,5 мкА < 1 < 12,5 мкА |
0,12 |
|
25 мкА |
5 мкА < I < 25 мкА |
0,12 |
|
125 мкА |
25 мкА < I < 125 мкА |
0,75 |
|
250 мкА |
50 мкА < I < 250 мкА |
0,75 |
|
1,25 мА |
0,25 мА < I < 1,25 мА |
7,5 |
|
2,5 мА |
0,5 мА < I < 2,5 мА |
7,5 |
|
12,5 мА |
2,5 мА < I < 12,5 мА |
75 |
|
25 мА |
5 мА < I < 25 мА |
75 |
|
100 мА |
20 мА < I < 100 мА |
600 |
|
200 мА |
40 мА < I < 200 мА |
600 |
|
1 А |
0,2 А < I < 1 А |
3000 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока постоянного AI одним каналом DCS DPS128 определяются по формуле
AI = ±( Ао-10-Ч + Io),
где I - сила тока, мкА; значения Ао и Io приведены в таблице ниже:
|
предел диапазона |
значения А0, отн.ед. |
значения I0, мкА |
|
12,5 мкА |
2 |
0,05 |
|
25 мкА |
2 |
0,05 |
|
125 мкА |
1 |
0,25 |
|
250 мкА |
1 |
0,25 |
|
1,25 мА |
1 |
2,5 |
|
2,5 мА |
1 |
2,5 |
|
12,5 мА |
1 |
25 |
|
25 мА |
1 |
25 |
|
100 мА |
1 |
250 |
|
200 мА |
1 |
250 |
|
1 А |
1 |
1000 |
таблицы 2
|
1 |
2 | |||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока одним каналом DCS DPS128 определяются значениями AI1, Д12, приведенными в таблице ниже: | ||||||
|
предел диапазона |
значения силы тока I |
значение AI1, мкА |
значение AI2, мкА | |||
|
12,5 мкА |
2,5 мкА < I < 12,5 мкА |
-0,38 |
+0,63 | |||
|
25 мкА |
5 мкА < I < 25 мкА |
-0,75 |
+1,25 | |||
|
125 мкА |
25 мкА < I < 125 мкА |
-3,75 |
+6,25 | |||
|
250 мкА |
50 мкА < I < 250 мкА |
-7,5 |
+12,5 | |||
|
1,25 мА 0,25 мА < I < 1,25 мА -37,5 |
+62,5 | |||||
|
2,5 мА 1 0,5 мА < 1 < 2,5 мА 1 -75 |
+ 125 | |||||
|
12,5 мА |
2,5 мА < I < 12,5 мА |
-375 |
+625 | |||
|
25 мА |
5 мА < I < 25 мА |
-750 |
+ 1250 | |||
|
100 мА | 20 мА < I < 100 мА | -3000 |
+5000 | |||||
|
200 мА |
40 мА < I < 200 мА |
-6000 |
+10000 | |||
|
1 А |
0,2 А < I < 1 А |
-30000 |
+50000 | |||
|
Верхние пределы воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n - количество объединенных в группу каналов, А |
О1) | |||||
|
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS 128, где n - количество объединённых в группу каналов, мкА |
(n-50) | |||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока AI группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n^0,2) до (n-1) А определяются по формуле AI = ±(2^10"3-I + n-fc), где I - сила тока, мА; I0 = 3 мА; n - количество объединённых в группу каналов | ||||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока AI группы объединенных каналов DCS DPS128 определяются по формуле AI = ±(b10"3-I + n -fc), где I - сила тока, мА; I0 = 1 мА; n - количество объединённых в группу каналов | ||||||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n^0,2) до (n-1) А, где n - количество объединённых в группу каналов, определяются значениями
AI1 = -3-10’Ч ДТ2 = +5-10-2-I,
где I - сила тока, мА
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | |
|
измерительный головной блок с манипулятором |
1880 х 1290 х 2270 |
|
установка водяного охлаждения |
950 х 520 х 870 |
|
Масса головного измерительного блока с манипулятором, кг, не более |
1118 |
|
Масса установки водяного охлаждения, кг, не более |
185 |
|
Напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В |
от 360 до 440 |
|
Потребляемая мощность, кВ^А, не более |
15 |
|
Температура окружающей среды в рабочих условиях, °С |
от +20 до +30 |
|
Относительная влажность при температуре 30 °С, %, не более |
70 |
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
приведена в таблице 4.
Таблица 4 - Комплектность стенда
|
Наименование и обозначение |
Количество |
|
Измерительный головной блок |
1 шт. |
|
Манипулятор |
1 шт. |
|
У становка водяного охлаждения |
1 шт. |
|
Программа управляющая SmarTest |
1 шт. |
|
Управляющая ПЭВМ |
1 шт. |
|
Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH. Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 3 «Методики (методы) измерений электрических параметров и функционального контроля» руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3457 «Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы»;
Приказ Росстандарта от 1 октября 2018 г. № 2091 «Государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 1^10"16 до 100 А»;
Приказ Росстандарта от 31 июля 2018 г. № 1621 «Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты».
Смотрите также
