Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов 1510E B SA
| Номер в ГРСИ РФ: | 87896-23 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Lehighton Electronics, Inc.", США |
Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов 1510E В SA (далее - установка 1510E В SA) предназначена для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления (УПЭС) полупроводниковых материалов вихретоковым методом.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 87896-23 |
| Наименование | Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов |
| Модель | 1510E B SA |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 398 |
Производитель / Заявитель
Lehighton Electronics, Inc, США
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 05.05.2024 |
Поверители
Скачать
| 87896-23: Описание типа СИ | Скачать | 365.8 КБ | |
| 87896-23: Методика поверки | Скачать | 4.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов 1510E В SA (далее - установка 1510E В SA) предназначена для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления (УПЭС) полупроводниковых материалов вихретоковым методом.
Описание
Принцип действия установки 1510E В SA основан на вихретоковом методе неразрушающего контроля, основанным на регистрации изменений электромагнитного поля вихревых токов, наводимых с помощью вихретокового преобразователя в образце полупроводникового материала. Электромагнитное поле вихревых токов воздействует на катушки вихретокового преобразователя и в измерительной обмотке возникает электродвижущая сила (ЭДС), которая является сигналом, передающим информацию об образце в систему обработки данных.
Установка 1510E В SA состоит из электронного блока и манипулятора, объединенных в единой моноблочной конструкции.
Обработка результатов измерений осуществляется с помощью внешнего ПО, устанавливаемого на персональный компьютер. Имеется возможность построения карты распределения величины УПЭС в пределах заданной области поверхности образца путем перемещения образца по заданной программе и выдачи результатов измерений в графическом виде.
Пломбирование установки 1510E В SA не предусмотрено. Конструкция установки 1510E В SA обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Буквенно-цифровое обозначение и серийный номер установки 1510E В SA выполнены способом лакокрасочного нанесения в виде шильдика. Шильдик расположен на левой боковой панели электронного блока установки 1510E В SA.
Нанесение знака поверки не предусмотрено.
Общий вид установки 1510E В SA представлен на рисунке 1.
Место нанесения серийного номера
Рисунок 1 - Общий вид установки 1510E В SA
К установкам данного типа относится установка 1510E В SA, сер. № 398.
Программное обеспечение
Идентификационные данные метрологически значимой части внешнего программного обеспечения (ПО) установки 1510E В SA приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО установки 1510E В SA «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Конструкция установки 1510E В SA обеспечивает полное ограничение доступа к метрологически значимой части ПО и исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
- |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 5.0.1 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики установки 1510E В SA
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний удельного поверхностного (слоевого) электрического) сопротивления на квадрат поверхности, Ом |
От 15 до 3300 |
|
Диапазон измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического) сопротивления на квадрат поверхности, Ом |
От 150 до 2200 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % |
±8 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры, мм, не более | |
|
- высота |
330 |
|
- ширина |
370 |
|
- длина |
600 |
|
Масса, кг, не более |
31,8 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
23±5 |
|
- относительная влажность, %, не более |
50 |
|
- напряжение питания, В |
220 ±22 |
|
- частота питающей сети, Г ц |
50±1 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование изделия и его обозначение |
Обозначение |
Количество |
|
Установка для измерений удельного поверхностного (слоевого) электрического сопротивления полупроводниковых материалов |
1510E В SA |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Диск с ПО |
- |
1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в Руководстве по эксплуатации, раздел 4 «Выполнение измерений».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока».
Смотрите также
