87927-23: ЭМ-6015М1 Установки автоматизированного контроля дефектности - Производители, поставщики и поверители

Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 87927-23
Производитель / заявитель: ОАО "Планар", Республика Беларусь
Скачать
87927-23: Описание типа СИ Скачать 1.6 MБ
87927-23: Методика поверки Скачать 6.9 MБ
Нет данных о поставщике
Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 (далее -установка) предназначены для визуального обнаружения дефектов и измерения размеров топологии изделий микроэлектроники, которая сформирована на масках фотошаблонов (ФШ), защищенных с двух сторон пелликлами или ца полупроводниковых пластинах (П11) в технологическом процессе их производства.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 87927-23
Наименование Установки автоматизированного контроля дефектности
Модель ЭМ-6015М1
Срок свидетельства (Или заводской номер) 14.09.2027
Производитель / Заявитель

ОАО "Планар", Республика Беларусь

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

87927-23: Описание типа СИ Скачать 1.6 MБ
87927-23: Методика поверки Скачать 6.9 MБ

Описание типа

Назначение

Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 (далее -установка) предназначены для визуального обнаружения дефектов и измерения размеров топологии изделий микроэлектроники, которая сформирована на масках фотошаблонов (ФШ), защищенных с двух сторон пелликлами или на полупроводниковых пластинах (ПП) в технологическом процессе их производства.

Область применения - промышленные предприятия и научно-исследовательские ор^пизации, производящие микроэлектронные приборы и исследующие топологию микроструктур на поверхности прозрачных и непрозрачных подложек.

Описание

Принцип работы установки основан на методе микроскопии, используемом в режимах светлого поля проходящего или отраженного света и их комбинации, а также в режиме темного поля и его комбинации со светлым полем. Выбранный участок наблюдаемого объекта проецируется оптической системой микроскопа в окуляры и па видеокамеру. Цифровое изображение выбранного участка выводится на экран монитора. Второй монитор является интерфейсом оператора для задания режимов работы и обработки данных. Перемещение наблюдаемого объекта по заданным координатам в ручном или автоматическом режиме осуществляется предметным столом микроскопа. Установка имеет возможность контролировать ФШ (или ПП) с размерами, используемыми в полупроводниковой промышленности, для чего применяют сменные шаблонодсржатсли и держатели пластин. С помощью программного обеспечения Upr6015.exe оператор осуществляет выбор режимов работы и управление работой установки.

Фотография общего вида средств измерений представлена в приложении 1.

Схема (рисунок) с указанием места для нанесения знака поверки средств измерений представлена в приложении 2.

Обязательные мсгролоптческис требования: представлены в таблице 1.

Таблица 1

Наименование

Значение

Предел среднего квадратического отклонения результатов измерений линейных размеров, мкм, для объектива увеличением

5 кра т

0,030

10 крат

0,020

50 кра т

0,015

Пределы относительной нгорсшости измерений линейных размеров по координатным осям Ти К для

*

всех объективов, %

±0,5 ?

BEPHO^^g^^

Зам.главноХ^галтера^/ЖИ .Бандурин

Основные технические характеристики и метрологические характеристики, не относящиеся к обязательным метрологическим требованиям: представлены в таблицах 2, 3.

Таблица 2

Наименование

Значение

Диапазоны измерений для координаты X, мкм, для объектива увеличением 5 крат 10 крат 50 крат

от 6 до 2500

от 3 до 1200

от 1,5 до 250

Диапазоны измерений для координаты Y, мкм, для объектива увеличением

5 крат

10 крат

50 крат

*

от 6 до 1200

от 3 до 700

от 1,5 до 120

Таблица 3

Наименование

Значение

Количество объективов, шт.

3

Рабочий отрезок объективов, мм, не менее

10

Диагональ поля зрения на минимальном увеличении, мм, не менее

3

Общее увеличение при наблюдении через окуляры, крат, не более

500

Общее увеличение при наблюдении на мониторе, крат, не более

' 2000

Ход координатного стола по координатным осям X, Y, мм, не менее

200x200

Диапазон напряжения питания от сети переменного тока номинальной частотой 50 Гц, В

от 207 до 253

Потребляемая мощность, кВт, не более

0,2

Условия эксплуатации:

диапазон температуры окружающего воздуха, °C;

относительная влажность окружающего воздуха при 25 °C, %, не более

от 20 до 24

80

Комплектность

Таблипа 4

Наименование

Количество

Установка автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 в составе:

1

управляющий компьютер с мониторами UHD 24 и SXGA 19

1

микроскоп МКМ-1 с цветной видеокамерой разрешением 8,9 Мп

1

стол оператора

1

Руководство по эксплуатации

1

Руководство оператора__________________„                           .

1

Место нанесения знака утверждения типа средств измерений: па титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю панель установки.

Поверка осуществляется по МРЬ Ml 1.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».

Сведения о методиках (методах измерений): приведены в руководстве по эксплуатации.

1ехнические нормативные правовые акты и технические документы,* устанавливающие:

требования к типу средств измерений:

технические условия ТУ BY 100104965.135-2022;

технический регламент Таможенного союза «Электромагнитная совместимость технических средств» (ТР ТС 020/2011);

технический регламент Таможенного союза «О безопасности низковольтного оборудования» (ТР ТС 004/2011);

методику поверки:

МРБ МП.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».

Перечень средств поверки: представлен в таблице 5.

Таблица 5

Наименование и тип средств поверки

Объект-микрометр отраженного света ОМ

Гигрометр-термометр цифровой TUB 1

Примечание - Допускается применять другие средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик установки с требуемой точностью.

ВЕРНО

Идентификация программного обеспечения: представлена в таблице 6.

Таблица 6__________

Идентификационпое наименование ПО

Помер версии ПО (иден тификационный номер)

Upr6015.exe

не ниже 1.0*

*При условии отсутствия влияния на метрологические характеристики_______

Заключение о соответствии утвержденного типа средств измерений требованиям технических нормативных правовых актов и/или технической документации производителя: установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 соответствуют ТУ BY 100104965.135-2022, ТР ТС 020/2011, ТР ТС 004/2011.

Смотрите также

87928-23
СКИП-Траффик ВГК Системы комплексного измерения параметров автомобильных транспортных средств в движении
Общество с ограниченной ответственностью "Новые интеграционные решения" (ООО "Новые интеграционные решения"), г. Москва
Системы комплексного измерения параметров автомобильных транспортных средств в движении СКИП-Траффик ВГК (далее - Системы) предназначены для измерения в автоматическом режиме нагрузки, приходящейся на ось транспортного средства (далее по тексту
87929-23
ИКСИД Комплексы измерительные изменений скорости давления
Общество с ограниченной ответственностью "Нефтегазовая Промышленная Арматура" (ООО "НГПА"), г. Москва
Комплексы измерительные изменений скорости давления ИКСИД (далее по тексту -комплексы) предназначены для измерений давления и для показаний скорости изменения давления и записи данных на внешний носитель.
87930-23
РВС-3000 Резервуар стальной вертикальный цилиндрический
Акционерное общество "Ульяновскнефтепродукт" (АО "Ульяновскнефтепродукт"), г. Ульяновск
Резервуар стальной вертикальный цилиндрический РВС-3000 (далее - резервуар) предназначен для измерения объема нефти и нефтепродуктов, а также для их приема, хранения и отпуска.
87931-23
Система измерительная автоматизированной системы управления технологическим процессом горелочным оборудованием миксера чугуна вместимостью 1300 т.
Акционерное общество "ЕВРАЗ Объединенный Западно-Сибирский металлургический комбинат" (АО "ЕВРАЗ ЗСМК"), Кемеровская обл. - Кузбасс, г. Новокузнецк
Система измерительная автоматизированной системы управления технологическим процессом горелочным оборудованием миксера чугуна вместимостью 1300 т. (далее - ИС АСУТП) предназначена для измерений перепада давления на газовом фильтре, давления газообраз...
87932-23
РВС-700 Резервуар стальной вертикальный цилиндрический
Публичное акционерное общество "НК "Роснефть" - Алтайнефтепродукт" (ПАО "НК "Роснефть" - Алтайнефтепродукт"), г. Барнаул
Резервуар стальной вертикальный цилиндрический РВС-700 (далее - резервуар) предназначен для измерения объема при приеме, хранении и отпуске нефти и нефтепродуктов.