Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1
| Номер в ГРСИ РФ: | 87927-23 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ОАО "Планар", Республика Беларусь |
Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 (далее -установка) предназначены для визуального обнаружения дефектов и измерения размеров топологии изделий микроэлектроники, которая сформирована на масках фотошаблонов (ФШ), защищенных с двух сторон пелликлами или ца полупроводниковых пластинах (П11) в технологическом процессе их производства.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 87927-23 |
| Действует | по 14.09.2027 |
| Наименование | Установки автоматизированного контроля дефектности |
| Модель | ЭМ-6015М1 |
| Характер производства | Серийное |
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 986d4c36-0a4a-5414-a921-fd902a91e503 |
Производитель / Заявитель
ОАО "Планар", Республика Беларусь
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 19.04.2026 |
Поверители
Скачать
|
87927-23: Описание типа
2023-87927-23.pdf
|
Скачать | 1.6 MБ | |
|
87927-23: Методика поверки
2023-mp87927-23.pdf
|
Скачать | 3.5 MБ |
Описание типа
Назначение
Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 (далее -установка) предназначены для визуального обнаружения дефектов и измерения размеров топологии изделий микроэлектроники, которая сформирована на масках фотошаблонов (ФШ), защищенных с двух сторон пелликлами или на полупроводниковых пластинах (ПП) в технологическом процессе их производства.
Область применения - промышленные предприятия и научно-исследовательские ор^пизации, производящие микроэлектронные приборы и исследующие топологию микроструктур на поверхности прозрачных и непрозрачных подложек.
Описание
Принцип работы установки основан на методе микроскопии, используемом в режимах светлого поля проходящего или отраженного света и их комбинации, а также в режиме темного поля и его комбинации со светлым полем. Выбранный участок наблюдаемого объекта проецируется оптической системой микроскопа в окуляры и па видеокамеру. Цифровое изображение выбранного участка выводится на экран монитора. Второй монитор является интерфейсом оператора для задания режимов работы и обработки данных. Перемещение наблюдаемого объекта по заданным координатам в ручном или автоматическом режиме осуществляется предметным столом микроскопа. Установка имеет возможность контролировать ФШ (или ПП) с размерами, используемыми в полупроводниковой промышленности, для чего применяют сменные шаблонодсржатсли и держатели пластин. С помощью программного обеспечения Upr6015.exe оператор осуществляет выбор режимов работы и управление работой установки.
Фотография общего вида средств измерений представлена в приложении 1.
Схема (рисунок) с указанием места для нанесения знака поверки средств измерений представлена в приложении 2.
Обязательные мсгролоптческис требования: представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Предел среднего квадратического отклонения результатов измерений линейных размеров, мкм, для объектива увеличением 5 кра т |
0,030 |
|
10 крат |
0,020 |
|
50 кра т |
0,015 |
|
Пределы относительной нгорсшости измерений линейных размеров по координатным осям Ти К для |
* |
|
всех объективов, % |
±0,5 ? |
BEPHO^^g^^
Зам.главноХ^галтера^/ЖИ .Бандурин
Основные технические характеристики и метрологические характеристики, не относящиеся к обязательным метрологическим требованиям: представлены в таблицах 2, 3.
Таблица 2
|
Наименование |
Значение |
|
Диапазоны измерений для координаты X, мкм, для объектива увеличением 5 крат 10 крат 50 крат |
от 6 до 2500 от 3 до 1200 от 1,5 до 250 |
|
Диапазоны измерений для координаты Y, мкм, для объектива увеличением 5 крат 10 крат 50 крат |
* от 6 до 1200 от 3 до 700 от 1,5 до 120 |
Таблица 3
|
Наименование |
Значение |
|
Количество объективов, шт. |
3 |
|
Рабочий отрезок объективов, мм, не менее |
10 |
|
Диагональ поля зрения на минимальном увеличении, мм, не менее |
3 |
|
Общее увеличение при наблюдении через окуляры, крат, не более |
500 |
|
Общее увеличение при наблюдении на мониторе, крат, не более |
' 2000 |
|
Ход координатного стола по координатным осям X, Y, мм, не менее |
200x200 |
|
Диапазон напряжения питания от сети переменного тока номинальной частотой 50 Гц, В |
от 207 до 253 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
0,2 |
|
Условия эксплуатации: диапазон температуры окружающего воздуха, °C; относительная влажность окружающего воздуха при 25 °C, %, не более |
от 20 до 24 80 |
Комплектность
Таблипа 4
|
Наименование |
Количество |
|
Установка автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 в составе: |
1 |
|
управляющий компьютер с мониторами UHD 24 и SXGA 19 |
1 |
|
микроскоп МКМ-1 с цветной видеокамерой разрешением 8,9 Мп |
1 |
|
стол оператора |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Руководство оператора__________________„ . |
1 |
Место нанесения знака утверждения типа средств измерений: па титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю панель установки.
Поверка осуществляется по МРЬ Ml 1.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».
Сведения о методиках (методах измерений): приведены в руководстве по эксплуатации.
1ехнические нормативные правовые акты и технические документы,* устанавливающие:
требования к типу средств измерений:
технические условия ТУ BY 100104965.135-2022;
технический регламент Таможенного союза «Электромагнитная совместимость технических средств» (ТР ТС 020/2011);
технический регламент Таможенного союза «О безопасности низковольтного оборудования» (ТР ТС 004/2011);
методику поверки:
МРБ МП.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».
Перечень средств поверки: представлен в таблице 5.
Таблица 5
Наименование и тип средств поверки
Объект-микрометр отраженного света ОМ
Гигрометр-термометр цифровой TUB 1
Примечание - Допускается применять другие средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик установки с требуемой точностью.
ВЕРНО
Идентификация программного обеспечения: представлена в таблице 6.
Таблица 6__________
|
Идентификационпое наименование ПО |
Помер версии ПО (иден тификационный номер) |
|
Upr6015.exe |
не ниже 1.0* |
|
*При условии отсутствия влияния на метрологические характеристики_______ | |
Заключение о соответствии утвержденного типа средств измерений требованиям технических нормативных правовых актов и/или технической документации производителя: установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 соответствуют ТУ BY 100104965.135-2022, ТР ТС 020/2011, ТР ТС 004/2011.