88357-23: HMS-3000 Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла - Производители, поставщики и поверители

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000

Номер в ГРСИ РФ: 88357-23
Производитель / заявитель: Фирма "Ecopia Corporation", Корея
Скачать
88357-23: Описание типа СИ Скачать 214.9 КБ
88357-23: Методика поверки Скачать 4.6 MБ
Нет данных о поставщике
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений напряжения постоянного тока, воспроизведения силы постоянного тока и магнитной индукции постоянного поля при определении характеристик полупроводниковых структур.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 88357-23
Наименование Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла
Модель HMS-3000
Срок свидетельства (Или заводской номер) H3012112020
Производитель / Заявитель

Корпорация Ecopia, Корея

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

88357-23: Описание типа СИ Скачать 214.9 КБ
88357-23: Методика поверки Скачать 4.6 MБ

Описание типа

Назначение

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений напряжения постоянного тока, воспроизведения силы постоянного тока и магнитной индукции постоянного поля при определении характеристик полупроводниковых структур.

Описание

Принцип действия установки основан на измерении напряжения постоянного тока в направлениях: параллельном и перпендикулярном пропускаемому току, между контактами пластины из полупроводникового материала по горизонтали, вертикали и диагонали, без воздействия и при воздействии на образец магнитного поля.

На основании полученных значений напряжения постоянного тока, измеренного при пропускании тока в разных направлениях, без воздействия и при воздействии магнитного поля на образец, вычисляется значение удельного сопротивления, проводимости, концентрации и подвижности основных носителей заряда, магнитного сопротивления, коэффициента Холла в соответствии с методикой измерений по ГОСТ 25948 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в микроэлектронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла». Результаты измерений и расчетов выводятся на монитор персонального компьютера.

Конструктивно установка состоит из основного блока, меры магнитной индукции, компьютера с установленным программным обеспечением.

Основной блок установки смонтирован в металлическом корпусе. На его лицевой панели расположены индикатор наличия питания, индикатор выполнения измерения и кнопка сброса. На задней панели расположены переключатель для выбора порта USB или RS232, разъем порта RS232, разъем порта USB, разъем для подсоединения измерительного модуля, кнопка включения и выключения питания, предохранитель, разъем для кабеля питания, клемма заземления.

Мера магнитной индукции представляет собой алюминиевый прямоугольный корпус. В центре данного корпуса закреплена алюминиевая емкость с пенопластовой вставкой для измерений в жидком азоте. В верхней части крышки смонтирован разъем для соединения с основным блоком установки и технологическое отверстие для заливки жидкого азота в алюминиевую емкость через воронку, в нижней расположен разъем для установки платы с измеряемым образцом.

Магнитное поле в мере создается с помощью двух П-образных магнитов, имеющих одинаковое значение магнитной индукции и противоположную полярность.

Установка позволяет определять параметры полупроводниковых материалов при задании разных значений постоянного тока, изменять количество измерений от 1 до 1000 раз и автоматически усреднять результат измерения, проводить измерения при комнатной температуре и температуре жидкого азота.

Нанесение знака поверки на составные части установки не предусмотрено. Знак поверки наносится в свидетельство о поверке в виде наклейки или поверительного клейма.

Заводской номер № H3012112020 нанесен на маркировочную наклейку методом шелкографии в виде буквенно-цифрового кода.

Внешний вид установки с указанием мест пломбировки, нанесения знака утверждения типа и заводского номера показан на рисунках 1, 2.

Место нанесения знака утверждения типа

Рисунок 1 - Общий вид установки с указанием

Рисунок 2 - Общий вид задней панели основного блока установки с указанием мест пломбировки и нанесения заводского номера

Программное обеспечение

Для работы с установкой используется метрологически значимое ПО «HMS-3000», устанавливаемое на персональный компьютер (ноутбук). ПО обеспечивает управление, передачу, обработку измеренных данных, а также отображение результатов измерений.

Уровень защиты ПО - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование программного обеспечения

HMS-3000

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

3.53

Цифровой      идентификатор      встроенного

программного обеспечения

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мкА

От 1 до 18000

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, %

±2

Диапазон измерения напряжения постоянного тока, мВ

От 0,1 до 2000

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного тока, мВ

±(0,02U* + 0,01)

Значение магнитной индукции в рабочей области меры, Тл

0,567

Пределы допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения магнитной индукции, Тл

±0,03

Однородность магнитной индукции в рабочей области меры (20 х 20 мм), %, не более

±3

*где U - измеренное значение напряжения постоянного тока, мкВ

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Размеры исследуемых образцов, мм: - длина - ширина

от 5 до 20

от 5 до 20

Толщина исследуемых образцов, мм, не более

5,5

Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Г ц

220 ±20

50 ±0,5

Потребляемая мощность, ВА, не более

200

Продолжение таблицы 3- Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение характеристики

Габаритные размеры основного блока, мм, не более:

- длина

360

- ширина

300

- высота

105

Масса основного блока, кг, не более

8

Рабочие условия применения:

- температура окружающего воздуха, °С

от +15 до +25

- относительная влажность окружающего воздуха, %

от 30 до 80

- атмосферное давление, кПа

от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

наносится на корпус основного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность установки для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000

Наименование

Обозначение

Количество

1 Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 в составе:

1.1 Основной блок

HMS-3000

1 шт.

1.2 Мера магнитной индукции

MP-51R

1 шт.

1.3 Контрольный образец с паспортом

ITO

1 шт.

1.4 Плата для установки образцов

SMB-20R

1 шт.

1.5 Монтажная плата для образцов с пружинным зажимом

SPCB-01

1 шт.

1.6 Кабель для подключения образцов

-

1 шт.

1.7 Контактный провод

-

1 комп.

1.8 Кабель USB

-

1 шт.

1.9 Кабель RS 232

-

1 шт.

1.10 Сетевой кабель

-

1 шт.

1.11 Припой индия и олова ( InSn 5g )

-

1 шт.

1.12 CD диск с программным обеспечением

HMS-3000 v.3.53

1 шт.

1.13 Компьютер (ноутбук)

1 шт.

1.14 Руководство по эксплуатации

HMS-3000 РЭ

1 шт.

1.15 Формуляр

HMS-3000 ФО

1 шт.

Сведения о методах измерений

приведены в разделе 2 «Использование по назначению» документа HMS-3000 РЭ «Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

ГОСТ 8.030-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений магнитной индукции, магнитного потока, магнитного момента и градиента магнитной индукции»;

Приказ Росстандарта от 1 октября 2018 г. № 2091 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического тока в диапазоне от V10-16 до 100 А»;

Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3457 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы»;

ГОСТ 25948-83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в микроэлектронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла».

Смотрите также

88358-23
NRP-Z86 Преобразователь измерительный
Фирма "Rohde&Schwarz GmbH &Со. KG", Германия
Преобразователь измерительный NRP-Z86 (далее - преобразователь) предназначен для измерений средней и пиковой мощности сверх высокочастотных (далее - СВЧ) непрерывных колебаний и колебаний с различными видами модуляции.
88359-23
FVM Master Преобразователь плотности и вязкости
Фирма "F-R Technologias de Flujo, S.A. de C.V.", Мексика
Преобразователь плотности и вязкости FVM Master (далее - FVM Master) предназначен для измерений, хранения и передачи единицы динамической вязкости жидкости при проведении поверки и калибровки средств измерений поточных методом непосредственного сличе...
88360-23
АР2210 Преобразователи вихретоковые
Общество с ограниченной ответственностью "ГлобалТест" (ООО "ГлобалТест"), Нижегородская обл., г. Саров
Преобразователи вихретоковые АР2210 (далее - ПВТ) предназначены для измерений относительного линейного перемещения.
88361-23
VELES CM Анализаторы оптико-эмиссионные
Wuxi Jiebo Instrument Technology Co., Ltd, Китай
Анализаторы оптико-эмиссионные VELES CM (далее - анализаторы) предназначены для измерений массовой доли элементов в металлах и сплавах.
88362-23
РВС-5000 Резервуар стальной вертикальный цилиндрический
Акционерное общество "Оргтехнефтестрой" (АО "Оргтехнефтестрой"), г. Самара
Резервуар стальной вертикальный цилиндрический РВС-5000 (далее - резервуар) предназначен для измерения объема нефти и нефтепродуктов, а также для их приема, хранения и отпуска.