Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000
| Номер в ГРСИ РФ: | 88357-23 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Ecopia Corporation", Корея |
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений напряжения постоянного тока, воспроизведения силы постоянного тока и магнитной индукции постоянного поля при определении характеристик полупроводниковых структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 88357-23 |
| Наименование | Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла |
| Модель | HMS-3000 |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | H3012112020 |
Производитель / Заявитель
Корпорация Ecopia, Корея
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 24.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 88357-23: Описание типа СИ | Скачать | 214.9 КБ | |
| 88357-23: Методика поверки | Скачать | 4.6 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений напряжения постоянного тока, воспроизведения силы постоянного тока и магнитной индукции постоянного поля при определении характеристик полупроводниковых структур.
Описание
Принцип действия установки основан на измерении напряжения постоянного тока в направлениях: параллельном и перпендикулярном пропускаемому току, между контактами пластины из полупроводникового материала по горизонтали, вертикали и диагонали, без воздействия и при воздействии на образец магнитного поля.
На основании полученных значений напряжения постоянного тока, измеренного при пропускании тока в разных направлениях, без воздействия и при воздействии магнитного поля на образец, вычисляется значение удельного сопротивления, проводимости, концентрации и подвижности основных носителей заряда, магнитного сопротивления, коэффициента Холла в соответствии с методикой измерений по ГОСТ 25948 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в микроэлектронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла». Результаты измерений и расчетов выводятся на монитор персонального компьютера.
Конструктивно установка состоит из основного блока, меры магнитной индукции, компьютера с установленным программным обеспечением.
Основной блок установки смонтирован в металлическом корпусе. На его лицевой панели расположены индикатор наличия питания, индикатор выполнения измерения и кнопка сброса. На задней панели расположены переключатель для выбора порта USB или RS232, разъем порта RS232, разъем порта USB, разъем для подсоединения измерительного модуля, кнопка включения и выключения питания, предохранитель, разъем для кабеля питания, клемма заземления.
Мера магнитной индукции представляет собой алюминиевый прямоугольный корпус. В центре данного корпуса закреплена алюминиевая емкость с пенопластовой вставкой для измерений в жидком азоте. В верхней части крышки смонтирован разъем для соединения с основным блоком установки и технологическое отверстие для заливки жидкого азота в алюминиевую емкость через воронку, в нижней расположен разъем для установки платы с измеряемым образцом.
Магнитное поле в мере создается с помощью двух П-образных магнитов, имеющих одинаковое значение магнитной индукции и противоположную полярность.
Установка позволяет определять параметры полупроводниковых материалов при задании разных значений постоянного тока, изменять количество измерений от 1 до 1000 раз и автоматически усреднять результат измерения, проводить измерения при комнатной температуре и температуре жидкого азота.
Нанесение знака поверки на составные части установки не предусмотрено. Знак поверки наносится в свидетельство о поверке в виде наклейки или поверительного клейма.
Заводской номер № H3012112020 нанесен на маркировочную наклейку методом шелкографии в виде буквенно-цифрового кода.
Внешний вид установки с указанием мест пломбировки, нанесения знака утверждения типа и заводского номера показан на рисунках 1, 2.
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид установки с указанием
Рисунок 2 - Общий вид задней панели основного блока установки с указанием мест пломбировки и нанесения заводского номера
Программное обеспечение
Для работы с установкой используется метрологически значимое ПО «HMS-3000», устанавливаемое на персональный компьютер (ноутбук). ПО обеспечивает управление, передачу, обработку измеренных данных, а также отображение результатов измерений.
Уровень защиты ПО - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование программного обеспечения |
HMS-3000 |
|
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
3.53 |
|
Цифровой идентификатор встроенного программного обеспечения |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мкА |
От 1 до 18000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, % |
±2 |
|
Диапазон измерения напряжения постоянного тока, мВ |
От 0,1 до 2000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного тока, мВ |
±(0,02U* + 0,01) |
|
Значение магнитной индукции в рабочей области меры, Тл |
0,567 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения магнитной индукции, Тл |
±0,03 |
|
Однородность магнитной индукции в рабочей области меры (20 х 20 мм), %, не более |
±3 |
|
*где U - измеренное значение напряжения постоянного тока, мкВ | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Размеры исследуемых образцов, мм: - длина - ширина |
от 5 до 20 от 5 до 20 |
|
Толщина исследуемых образцов, мм, не более |
5,5 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Г ц |
220 ±20 50 ±0,5 |
|
Потребляемая мощность, ВА, не более |
200 |
Продолжение таблицы 3- Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Габаритные размеры основного блока, мм, не более: | |
|
- длина |
360 |
|
- ширина |
300 |
|
- высота |
105 |
|
Масса основного блока, кг, не более |
8 |
|
Рабочие условия применения: | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
от +15 до +25 |
|
- относительная влажность окружающего воздуха, % |
от 30 до 80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус основного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность установки для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
1 Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000 в составе: | ||
|
1.1 Основной блок |
HMS-3000 |
1 шт. |
|
1.2 Мера магнитной индукции |
MP-51R |
1 шт. |
|
1.3 Контрольный образец с паспортом |
ITO |
1 шт. |
|
1.4 Плата для установки образцов |
SMB-20R |
1 шт. |
|
1.5 Монтажная плата для образцов с пружинным зажимом |
SPCB-01 |
1 шт. |
|
1.6 Кабель для подключения образцов |
- |
1 шт. |
|
1.7 Контактный провод |
- |
1 комп. |
|
1.8 Кабель USB |
- |
1 шт. |
|
1.9 Кабель RS 232 |
- |
1 шт. |
|
1.10 Сетевой кабель |
- |
1 шт. |
|
1.11 Припой индия и олова ( InSn 5g ) |
- |
1 шт. |
|
1.12 CD диск с программным обеспечением |
HMS-3000 v.3.53 |
1 шт. |
|
1.13 Компьютер (ноутбук) |
1 шт. | |
|
1.14 Руководство по эксплуатации |
HMS-3000 РЭ |
1 шт. |
|
1.15 Формуляр |
HMS-3000 ФО |
1 шт. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 2 «Использование по назначению» документа HMS-3000 РЭ «Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ГОСТ 8.030-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений магнитной индукции, магнитного потока, магнитного момента и градиента магнитной индукции»;
Приказ Росстандарта от 1 октября 2018 г. № 2091 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического тока в диапазоне от V10-16 до 100 А»;
Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3457 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы»;
ГОСТ 25948-83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в микроэлектронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла».
Смотрите также
