Рефлектометр спектральный HMS01

Назначение

Рефлектометр спектральный HMS01 (далее - рефлектометр) предназначен для бесконтактного измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых покрытий на пластинах диаметром до 200 мм.

Описание

Принцип действия рефлектометра основан на измерении спектров отражения при нормальном падении света на измеряемую пластину. Спектральный состав света, прошедшего через слои покрытий и отраженного от подложки, зависит от количества слоев, их толщины и оптических постоянных. С помощью программного обеспечения (далее - ПО) «FilmTek SE» анализируются измеренные спектры, сравнивая их с набором рассчитанных спектров отражения, до тех пор, пока отличие между спектрами не будет минимальным. Толщина покрытия расчетного спектра принимается за результат измерений.

Конструктивно рефлектометр состоит из оптического блока с оптоволоконным входом-выходом, соединенным с источником излучения и спектрометром, моторизованного стола для образцов с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z. Неотъемлемой частью рефлектометра является вычислительный модуль со специализированным ПО, а также роботизированная система загрузки пластин. Рефлектометр снабжен осветителем области измерения объекта и видеокамерой для наблюдения области измерений.

К данному типу средств измерений относится рефлектометр спектральный HMS01 с заводским номером 9500294522.

Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, нанесен методом цифровой лазерной печати на шильдик, наклеенный на заднюю панель рефлектометра. Для ограничения доступа внутрь рефлектометра произведено пломбирование методом нанесения пломбы на крепежный винт дверцы блока питания.

Общий вид рефлектометра с обозначением места нанесения заводского номера и схема пломбировки представлены на рисунке 1.

Нанесение знака поверки на рефлектометр не предусмотрено.

Место нанесения заводского номера

IHMSU _ "     __________

|'5И»®2

sci |'Чни* luwnatkuO. С**

Схема пломбировки

Нмодване Иоил*

5аВ0О.2Й *(ИЦ>

Рисунок 1 - Общий вид рефлектометра спектрального HMS01 с оптическим блоком, схема пломбировки и место нанесения заводского номера

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в рефлектометре осуществляется с помощью предустановленного на персональном компьютере специализированного ПО «FilmTek SE», которое также служит для настройки рефлектометра, проведения измерений, включая анализ и обработку полученных данных, представленных в графическом и числовом виде.

ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.

Несанкционированный доступ к ПО исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.

Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя с помощью специального оборудования.

Уровень защиты ПО от преднамеренных и непреднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 «средний».

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики рефлектометра

Таблица 3 - Основные технические характеристики рефлектометра

Знак утверждения типа

нанесён типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Сведения о методах измерений

приведены в главе 2 «Краткое руководство по оперированию HMS01» документа «Рефлектометр спектральный HMS01. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий»