Интерферометры лазерные INF100QPS-LS
| Номер в ГРСИ РФ: | 98819-26 |
|---|---|
| Категория: | Интерферометры |
| Производитель / заявитель: | Chengdu TYGGO Photoelectricity Co., Ltd, КИТАЙ |
Интерферометры лазерные 1NF100QPS-LS (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей. В случае применения в качестве рабочего эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта №3189 от 15.12.2022, могут использоваться для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 100 мм.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 98819-26 | ||||||
| Действует | по 23.06.2031 | ||||||
| Наименование | Интерферометры лазерные | ||||||
| Модель | INF100QPS-LS | ||||||
| Приказы |
№1227 от
23.06.2026
— Об утверждении типов средств измерений
|
||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
||||||
| Характер производства | Серийное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | e3aee2ed-3ee8-b691-b5f8-91cf5e8a4b9a | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
Chengdu TYGGO Photoelectricity Co., Ltd, КИТАЙ, No. 1919 Shuangyan Road, Wenjiang District, Chengdu
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
РТ-МП-1871-203-2025 ГСИ. Интерферометры лазерные INF100QPS-LS. Методика поверки
(с 23.06.2026)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок |
Поверители
Скачать
|
98819-26: Описание типа
2026-98819-26.pdf
|
Скачать | 182.1 КБ | |
|
98819-26: Методика поверки
РТ-МП-1871-203-2025
2026-mp98819-26.pdf
|
Скачать | 1.1 MБ |
Описание типа
Назначение
Интерферометры лазерные 1NF100QPS-LS (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей. В случае применения в качестве рабочего эталона 4-го разряда в соответствии с Государственной поверочной схемой для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденной приказом Росстандарта №3189 от 15.12.2022, могут использоваться для поверки и калибровки пластин плоских стеклянных размером до 100 мм.
Описание
Принцип действия интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления с набором плоской и сферических насадок и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер. Оптикомеханический блок преобразует лазерное излучение и формирует волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной насадки, закрепленной в приборе делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной насадки непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности или сферичности измеряемой оптической поверхности.
Для измерений отклонений от сферичности оптических поверхностей интерферометры могут комплектоваться сферическими насадками (от 1 до 6), отличающимися диапазоном измеряемых радиусов кривизны (таблица 3).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на интерферометр не предусмотрено. Серийный номер нанесен на табличку печатным методом, расположенную на задней части интерферометра и имеет буквенно-цифровое обозначение, состоящее из арабских цифр и букв латинского алфавита.
Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Место расположения маркировочной таблички
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных INF100QPS-LS
Laser Interferometer
Model: IM400QPS IS Serial nurrber: |l1G100LS20025 Uncnaion: 710 X300 X340 Manufacture Dhtc: 2024.11
Operating Tcnpcraturc: 2O±2t Country of Origin: China
Chengdu TYGGO Photoelectricity Co.,Ltd Addre»»: NQ.10 Buildtng,lJANDOUVAIJJ{Y, 1919# Shuangyan Road,WrnjiangUatrict.Oiendu.China
Tel: 028-60353190/91/92/93 Wrbaitc: www.tyggo-opt.com
Место нанесения серийного номера
Рисунок 2 - Общий вид маркировочной таблички с указанием места нанесения серийного номера
Программное обеспечение
Интерферометры имеют в своем составе программное обеспечение (далее - ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО интерферометра и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от интерферометра.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО указаны в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
TYGGO |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v 1.0 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО | |
Технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики | |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,02 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,04 |
|
Диапазон измерений отклонений от сферичности, мкм |
от 0,02 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности, мкм |
±0,08 |
'аблица 3 - Технические характеристики интерферометров со сферическими насадками
|
Наименование характеристики |
Обозначение насадки | |||||
|
f/0.75 |
f/1.5 |
f/3.3 |
f/5.6 |
f/7.1 |
f/10.7 | |
|
Диапазон диаметров измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм |
от 4 до 60 |
от 6 до 80 |
от 9 до 90 |
от 9 до 94 |
от 14 до 97 |
от 14 до 97 |
|
Диапазон радиусов кривизны измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм |
от 3 до 45 |
от 10 до 120 |
от 30 до 297 |
от 50 до 525 |
от 101 до 688 |
от 150 до 1035 |
Продолжение таблицы 3
|
Наименование характеристики |
Обозначение насадки | |||||
|
f/0.75 |
f/1.5 |
f/3.3 |
f/5.6 |
f/7.1 |
f/10.7 | |
|
Диапазон диаметров измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм |
от 4 до 100 |
от 6 до 100 |
от 9 до 100 |
от 9 до 100 |
от 14 до 100 |
от 14 до 100 |
|
Диапазон радиусов кривизны измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм |
от 3 до 75 |
от 10 до 150 |
от 30 до 330 |
от 50 до 560 |
от 100 до 710 |
от 150 до 1070 |
аблица 4 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Максимальный диаметр измеряемых плоских оптических поверхностей, мм |
100 |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581 -2012 Длина волны лазера, нм, не более - He-Ne лазер Мощность, мВт, не более |
ЗА 633 10 |
|
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более |
5 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
230 50 |
|
Масса, кг, не более |
700 |
|
Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота |
900 800 2000 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °C - относительная влажность, %, не более |
от +18 до +22 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Интерферометр лазерный |
INF100QPS-LS |
1 шт. |
|
Плоская насадка |
- |
1 шт. |
|
Сферическая насадка |
- |
от 1 до 6 шт. |
|
Компьютер с ПО |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 2.4 «Основные этапы измерений характеристик плоских оптических поверхностей» и разделе 2.5 «Основные этапы измерений характеристик оптических сферических поверхностей» документа «Интерферометры лазерные INF100QPS-LS. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей, утвержденная приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 3189 от 15.12.2022
Интерферометры лазерные INF100QPS-LS. Стандарт предприятия