Спектрометры Фирма "Cameca", Франция

Для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.

Для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.

Для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-n переходов, разработки технологических процессов, послойного...