Фирма "Cameca", Франция
Статистика
Приборы в Госреестре РФ 4
48387-11
IMS-4f Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса
Фирма "Cameca", Франция
Для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.
Для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.
Для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-n переходов, разработки технологических процессов, послойного...
Для анализа элементного состава микрообъемов различных материалов: металлов и сплавов, покрытий, геологических пород, порошков и т.д., может анализировать любой материал не разрушающийся в вакууме и выдерживающий температуру не менее 150 °С в металлу...
