Оборудование в госреестре Фирма "KLA-Tencor Corporation", США

Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин Surfscan SP1TBI (далее по тексту - установка) предназначена для измерений размеров частиц на поверхности пластин без топологического рисунка.

Установка для контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев Opti Probe 7341 XP (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерений толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптичес...

Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.

Для измерения профиля поверхности в микро- и нанодиапазоне.

Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^9-4) м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.

Для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур. Область применения - в производственной лаборатории ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова".