Фирма "KLA-Tencor MIE GmbH", Германия
Оборудование в госреестре Фирма "KLA-Tencor MIE GmbH", Германия
Установка измерений координат LMS IPRO2 (далее - установка) предназначена для измерений координат местоположения и критических размеров линейных топологических элементов фотошаблонов.