Интерферометры
Интерферометры в ГРСИ РФ
Для измерения параметров шероховатости поверхности и для измерения толщины пленок (высоты уступов, образованных краями пленки и подложки). Применяется в машиностроительной и приборостроительной промышленности и в лабораториях
Для измерения параметров EFEg и EFE отклонения от плоскостности полированных поверхностей в отраслях, связанных с изготовлением оптических и прецизионных поверхностей
Для аттестации объемной доли метана в метановоздушных смесях
Для измерения объемной доли, % метана, водорода и диоксида углерода в шахтах
10082-85
ИДГ-1 Интерферометры для поверки долемикрометровых головок
Опытный завод "Эталон", г.Москва
Разрешена установочная серия
Для измерения объемной доли метана или двуокиси углерода в воздухе проветриваемых горных выработок угольных шахт при проведении горноспасательных работ и в трубопроводах дегазационных систем
Для измерения отклонений от плоскостности полированных поверхностей диаметром до 200 мм
Для измерения отклонений от плоскостности полированных поверхностей диаметром до 100 мм с отражающим покрытием и без него
Для определения концентраций метана и углекислого газа в рудничном воздухе проветриваемых горных выработок шахт
Разрешен серийный выпуск до 01.01.1982