Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155C, 4156C
Номер в ГРСИ РФ: | 39905-08 |
---|---|
Производитель / заявитель: | Фирма "Agilent Technologies Inc.", США |
39905-08: Описание типа СИ | Скачать | 219 КБ |
Для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей, отображения на дисплее вольтамперных характеристик исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта,формирования и заполнения отчета о полученных результатах. Область применения - проведение работ в процессах наладки, ремонта и лабораторных исследованиях на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности, в научно-исследовательских институтах и научно-производственных организациях.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 39905-08 |
Наименование | Измерители параметров полупроводниковых приборов |
Модель | 4155C, 4156C |
Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
Класс СИ | 35.06 |
Год регистрации | 2009 |
Страна-производитель | Малайзия |
Примечание | Сертификат заменен на 34367/1 в связи с изменением страны изготовителя |
Центр сертификации СИ | |
Наименование центра | ГЦИ СИ Ростест-Москва |
Адрес центра | 117418, г.Москва, Нахимовский пр-т, 31 |
Руководитель центра | Бас Виталий Николаевич |
Телефон | (8*095) 332-67-77 |
Факс | 124-99-96 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | 01.01.2014 |
Номер сертификата | 34367 аннул |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
Дата протокола | 05 от 28.05.09 п.9614д от 25.12.08 п.222 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Agilent Technologies", Малайзия
Малайзия
Bayan Lepas, Free Industrial Zone, 11900 Penang, Malaysia, hhtp://www.agilent.com, тел. (65) 6375-8100
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП-051/447-2008 |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 3 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
39905-08: Описание типа СИ | Скачать | 219 КБ |
Описание типа
Назначение
Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С (далее по тексту -измерители) предназначены для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей, отображения на дисплее вольтамперных характеристик (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.
Область применения измерителей - проведение работ в процессах наладки, ремонта и лабораторных исследованиях на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности, в научно-исследовательских институтах и научно-производственных организациях.
Описание
Принцип работы измерителей основан на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или тока. Формируемая величина рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина - в качестве функции измеренной ВАХ в координатах напряжение-ток или ток-напряжение. ВАХ служит основой для определения или расчета интересующих параметров тестируемого полупроводникового прибора. Графическое отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках между измеренными точками.
При наличии у тестируемого полупроводникового прибора управляющего (база, затвор) и/или вспомогательного (подложка) электродов, прибор обеспечивает измерение семейства ВАХ по значениям одного или двух параметров, каждый из которых может быть задан в виде последовательности значений токов или напряжений формируемых на электродах тестируемого полупроводникового прибора.
Отличие измерителей параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С заключается в различных функциональных возможностях и технических характеристиках.
Технические характеристики
Таблица 1 Конфигурация измерителей
Описание встраиваемых модулей |
Количество модулей |
Диапазон измерения/ воспроизведения | |
4155С |
4156С | ||
Модуль источника/измерителя средней мощности (MPSMU) |
4 |
— |
2 мкВ .. 100 В 10 фА .. 100 мА |
Модуль источника/измерителя с высоким разрешением (HRSMU) |
— |
4 |
2 мкВ .. 100 В 1 фА .. 1 А |
Модуль источника напряжения (VSU) |
2 |
2 |
1 мВ .. 20 В |
Модуль измерителя напряжения (VMU) |
2 |
2 |
2 мкВ .. 20 В |
Таблица 2 Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения напряжения постоянного тока
Модуль |
Предел измерений |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
MPSMU |
±2В |
2 мкВ |
± (0,02 х 10 2х иизм± 0,7 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,02 х 10 2х UH3M + 2 мВ) | |
±40 В |
40 мкВ |
± (0,02 х 10 2х ии3м.+ 3 мВ) | |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,02 х 10'2х ии3м +5 мВ) | |
HRSMU |
±2В |
2 мкВ |
±(0,01 х 10’2х иизм.± 0,2 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,01 х 10 2х иизм + 1 мВ) | |
±40 В |
40 мкВ |
± (0,015 х 10‘2х иизм ± 2 мВ) | |
± 100 В |
100 мкВ |
± (0,02 х 10’2х иизм ± 5 мВ) | |
VMU |
±2В |
2 мкВ |
± (0,02 х 10 2х UH3M + 0,2 мВ) |
±20 В |
20 мкВ |
±(0,02 х 10‘2х иизм ± 1 мВ) |
Примечание: UH3M. - измеренное значение напряжения постоянного тока.
Таблица 3 Основные метрологические характеристики модулей в режиме источника напряжения постоянного тока__________
Модуль |
Предел воспроизведения |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения |
MPSMU |
±2В |
100 мкВ |
± (0,03 х 10 2х ивОспр.+ 0,9 мВ) |
±20 В |
1 мВ |
±(0,03 X 10’2х ив0Спр +4 мВ) | |
±40 В |
2 мВ |
± (0,03 х 10'2х ивОспр.+7 мВ) | |
± 100 В |
5 мВ |
± (0,04 х 10‘2х ив0Спр.+ 15 мВ) | |
HRSMU |
±2В |
100 мкВ |
± (0,02 х 10‘2х ив0СПр + 0,4 мВ) |
±20 В |
1 мВ |
± (0,02 х 10‘2х ив0Спр+ 3 мВ) | |
±40 В |
2 мВ |
± (0,025 х 10’2х иВоСпр.+ 6 мВ) | |
± 100 В |
5 мВ |
±(0,03 х 10"2х ивОспр.± 15 мВ) | |
VSU |
±20 В |
20 мкВ |
± (0,02 х 10’2х UB0Cnp + 1 мВ) |
Примечание: UB0Cnp. - воспроизведенное значение напряжения постоянного тока.
Таблица 4 Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения силы постоянного тока
Модуль |
Предел измерений |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
1 |
2 |
3 |
4 |
MPSMU |
± 1 нА |
0,01 нА |
± (0,5 х 10’2х 1изм ± 3 пА) |
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10’2х1изм± 5 пА) | |
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1 х 10 2х 1изм± 30 нА) |
Продолжение таблицы 4
1 |
2 |
3 |
4 |
MPSMU |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,1 х 10 2х 1изм.+ 0,2 нА) |
±10 мкА |
0,01 нА |
± (0,1 х 10'2х 1изм.± 3 нА) | |
± 100 мкА |
0,1 нА |
± (0,1 х 10 2х 1изм ± 20 нА) | |
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,1 х 10’2х1изм± 0,3 мкА) | |
±10 мА |
0,01 мкА |
± (0,1 х 10'2х 1изм + 2 мкА) | |
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,1 х 10'2х 1изм ± 30 мкА) | |
HRSMU |
± 10 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10 2х 1изм ± 0,02 пА) |
± 100 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10‘2х1изм ± 0,04 нА) | |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10'2х 1изм ± 0,4 пА) | |
± 10 нА |
0,01 пА |
±(0,5 х 10’2х1изм ± 2 пА) | |
± 100 нА |
0,1 пА |
± (0,1 х 10‘2х 1ИЗм.+ 20 пА) | |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,1 х 10’2х 1ИЗМ + 0,2 нА) | |
± 10 мкА |
0,01 нА |
± (0,05 х 10’2х 1изм± 2 нА) | |
±100 мкА |
0,1 нА |
± (0,05 х 10’2х 1изм ± 20 нА) | |
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,04 х 10‘2х1изм ± 0,2 мкА) | |
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,04 х 10'2х 1изм ± 2 мкА) | |
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,1 х 10'2х 1изм± 20 мкА) |
Примечание: 1ИЗМ. - измеренное значение силы постоянного тока.
Таблица 5 Основные метрологические характеристики модулей в режиме воспроизведения силы постоянного тока
Модуль |
Предел воспроизведения |
Разрешение |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения |
MPSMU |
± 1 нА |
0,1 пА |
± (0,5 х 10 х iBocnp.-*" 3 нА) |
± 10 нА |
1 пА |
± (0,5 х 10’2х1воспр ± 7 пА) | |
± 100 нА |
10 пА |
± (0,12 х 10’2х 1воспр ± 50 пА) | |
± 1 мкА |
0,1 нА |
± (0,12 х 10'2х 1ВОспр.+ 0,4 нА) | |
± 10 мкА |
1 нА |
± (0,12 х 10’2х 1ВОСпр + 5 нА) | |
±100 мкА |
10 нА |
± (0,12 х 10 2х 1ВОспр.+ 40 нА) | |
± 1 мА |
0,1 мкА |
± (0,12 х 10‘2х1воспр ± 0,5 мкА) | |
± 10 мА |
1 мкА |
± (0,12 х 10‘2х 1ВОспр + 4 мкА) | |
± 100 мА |
10 мкА |
± (0,12 х 10'2х 1ВОспр.+ 50 мкА) | |
HRSMU |
±10 пА |
0,001 пА |
± (4 х 10 2х 1ВОспр.+ 0,4 пА) |
± 100 нА |
0,001 пА |
± (4 х 10 2х1воспр ± 0,4 пА) | |
± 1 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10'2х 1ВОспр + 0,7 пА) | |
± 10 нА |
0,01 пА |
± (0,5 х 10'2х1воспр ± 4 пА) | |
± 100 нА |
0,1 нА |
± (0,12 х 10'2х 1ВОСпр + 40 пА) | |
± 1 мкА |
0,001 нА |
± (0,12 х 10 2х 1ВОспр.+ 0,4 нА) | |
±10 мкА |
0,01 нА |
± (0,07 х 10'2х 1воспр ±4нА) | |
±100 мкА |
0,1 нА |
± (0,07 х 10"2х 1ВОСпр.+ 40 нА) | |
± 1 мА |
0,001 мкА |
± (0,06 х 10’2х1воспр ± 0,4 мкА) | |
± 10 мА |
0,01 мкА |
± (0,06 х 10'2х 1ВОспр.+ 4 мкА) | |
± 100 мА |
0,1 мкА |
± (0,12 х 10'2х 1ВОспр + 40 мкА) |
Примечание: 1ВОСпр. - воспроизведенное значение силы постоянного тока.
Таблица 6 Общие характеристики измерителей
Параметр |
Значение |
Температура эксплуатации, °C |
10 .. 40 |
Относительная влажность, % |
20 .. 80 |
Температура хранения, °C |
-22 .. 60 |
Относительная влажность, % |
5 .. 90 |
Высота над уровнем моря, м |
2000 |
Напряжение сети питания, В |
90 .. 264 |
Частота сети питания, Гц |
47 .. 63 |
Потребляемая мощность не более, ВА |
450 |
Габаритные размеры не более, мм |
235x426x600 |
Масса не более, кг: |
21 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на корпус измерителей методом трафаретной печати.
Комплектность
Таблица 7 Комплектность измерителей
Наименование |
Количество |
1 Измеритель |
1 шт. |
2 Комплект запасных частей и принадлежностей |
1 шт. |
3 Руководство по эксплуатации |
1 шт. |
4 Методика поверки |
1 шт. |
Поверка
Поверку измерителей следует проводить в соответствии с документом МП-051/447-2008 «ГСП. Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва» в ноябре 2008 г.
Основное оборудование, используемое при поверке:
- мультиметр цифровой Agilent 3458А.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94 «Средства измерения электрических и магнитных величин. Общие технические условия».
Техническая документация фирмы «Agilent Technologies», США.
Заключение
Тип измерителей параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.