40992-09: VP10 Измеритель поверхностного сопротивления автоматический - Производители, поставщики и поверители

Измеритель поверхностного сопротивления автоматический VP10

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 40992-09
Производитель / заявитель: Компания "Prometrix Corporation", США
Скачать
40992-09: Описание типа СИ Скачать 130.5 КБ
Нет данных о поставщике
Измеритель поверхностного сопротивления автоматический VP10 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерения на постоянном токе сопротивления тонких диэлектрических, проводящих и полупроводящих слоев, формируемых в процессе производства интегральных схем. Применяется в электронной промышленности при производстве полупроводниковых структур.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 40992-09
Наименование Измеритель поверхностного сопротивления автоматический
Модель VP10
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 34.02
Год регистрации 2009
Страна-производитель  США 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМ
Адрес центра 198005, г.С.-Петербург, Московский пр., 19
Руководитель центра Ханов Николай Иванович
Телефон (8*812) 251-76-01
Факс 113-01-14
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 35704
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 08д от 16.07.09 п.194
Производитель / Заявитель

Компания "Prometrix Corporation", США

 США 

3255 Scott Blvd. Bldg. 6, Santa Clara, CA 95054-3077

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 2202-0037-2008
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

40992-09: Описание типа СИ Скачать 130.5 КБ

Описание типа

Назначение

Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10 (далее -измеритель) предназначен для измерения на постоянном токе сопротивления тонких диэлектрических, проводящих и полупроводящих слоев, формируемых в процессе производства интегральных схем.

Применяется в электронной промышленности при производстве полупроводниковых структур.

Описание

Измеритель представляет собой автономный измерительный комплекс, состоящий из двух функциональных блоков: аналогового и цифрового. Аналоговый блок содержит зондовую головку, источник постоянного напряжения, генератор токов, вольтметр, соединительные и защитные реле. Цифровой блок содержит цифровые счетчики, тепловой принтер, ЖК-дисплей и интерфейс, управляемые микропроцессором. В основу работы измерителя положен четырехзондовый метод измерения поверхностного сопротивления. Зондовая головка предназначена для жесткой фиксации зондов и расстояний между ними. Она закреплена на кронштейне, который выдвигается в позицию измерения или позицию загрузки измеряемой пластины. Последняя укладывается на столик, который может вращаться и передвигаться вертикально. В центре столика для фиксации положения сделано отверстие, в котором создается вакуум порядка 40 кПа. Одновременно для прижатия зондов к пластине в кронштейн подается сжатый воздух под давлением 0,3 -0,6 МПа. Чтобы избежать влияния контурных сопротивлений зондов, в программе работы измерителя предусматривается автоматическое переключение токовых и потенциальных зондов и изменение полярности токов. Измеритель выполнен в виде настольного прибора, на передней панели которого расположены клавиши оператора и ЖК-дисплей, 4 строки по 40 символов в каждой.

Технические характеристики

Наименование технической характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерений поверхностного сопротивления, Омща квадрат поверхности

510 3 - 5106

Пределы допускаемой относительной погрешности, %

±1

Нормальные условия применения:

диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха не более, % атмосферное давление, кПа

20±5

80 84-106

Потребляемая мощность, не более, В А

75

Средний срок службы, лет

8

Г абариты прибора

(высотахширинахглубина), мм:

280x460x640

Масса прибора, кг

38,7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на боковую поверхность укладочного ящика и на титульный лист эксплуатационных документов печатным или фотоспособом.

Комплектность

Измеритель                                 1 шт.

Кабель силовой                              1 шт.

Руководство по эксплуатации (на русском и английском) Методика поверки МП2202-0037-2008

по 1 экз.

1 экз.

Поверка

Поверка проводится в соответствии с документом МП2202-0037-2008 «Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10. Методика поверки», утвержденным ГЦИСИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в мае 2009 г.

Основное средство поверки:

Мультиметр 34401 А, используемый диапазон измерений 1Ом-100 кОм, погрешность ± (0,05 - 0,01) %.

Межповерочный интервал - 2 года.

Нормативные документы

ГОСТ 8.028-86. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления.

ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.

Техническая документация компании «Prometrix Corporation», США.

Заключение

Тип «Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10, заводской номер 909V1» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе в РФ и эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
40993-09
Луч-ТС Комплексы программно-технические
ГЭП "Вологдаоблкоммунэнерго", г.Вологда
Для измерений напряжений постоянного тока, силы постоянного тока, времени. Область применения - автоматизированные информационно-измерительные системы коммерческого и технического учета энергоносителей на различных предприятиях, SCADA-системы и систе...
Default ALL-Pribors Device Photo
40994-09
Fluke 8808A Мультиметры цифровые
Фирма "Fluke Corporation", США
Для измерений силы и напряжения постоянного и переменного тока, электрического сопротивления постоянному току, частоты напряжения переменного тока, и применяются для контроля электрических параметров радиоэлектронной аппаратуры и ее компонентов при р...
Default ALL-Pribors Device Photo
40995-09
METRISO C, METRISO 5000 D-PI Измерители сопротивления изоляции
Фирма "GMC-I Gossen-Metrawatt GmbH", Германия
Для: измерения сопротивления изоляции в электрических цепях общего назначения; измерения электрического сопротивления (только METRISO C); измерения напряжения постоянного тока (только METRISO 5000 D-PI); измерения напряжения и частоты переменного ток...
40996-09
ЭП8554 Преобразователи измерительные переменного тока
ООО "МНПП "Электроприбор", Беларусь, г.Витебск
Для линейного преобразования переменного тока в унифицированный электрический сигнал постоянного тока, для контроля тока электрических систем и установок, для комплексной автоматизации объектов электроэнергетики, для автоматизированных систем управле...
40997-09
ЭП8555 Преобразователи измерительные напряжения переменного тока
ООО "МНПП "Электроприбор", Беларусь, г.Витебск
Для линейного преобразования переменного тока в унифицированный электрический сигнал постоянного тока, для контроля тока электрических систем и установок, для комплексной автоматизации объектов электроэнергетики, для автоматизированных систем управле...