Измеритель поверхностного сопротивления автоматический VP10
| Номер в ГРСИ РФ: | 40992-09 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Компания "Prometrix Corporation", США |
| 40992-09: Описание типа СИ | Скачать | 130.5 КБ |
Для измерения на постоянном токе сопротивления тонких диэлектрических, проводящих и полупроводящих слоев, формируемых в процессе производства интегральных схем. Применяется в электронной промышленности при производстве полупроводниковых структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 40992-09 |
| Наименование | Измеритель поверхностного сопротивления автоматический |
| Модель | VP10 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 34.02 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМ |
| Адрес центра | 198005, г.С.-Петербург, Московский пр., 19 |
| Руководитель центра | Ханов Николай Иванович |
| Телефон | (8*812) 251-76-01 |
| Факс | 113-01-14 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 35704 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 08д от 16.07.09 п.194 |
Производитель / Заявитель
Компания "Prometrix Corporation", США
США
3255 Scott Blvd. Bldg. 6, Santa Clara, CA 95054-3077
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 2202-0037-2008 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 40992-09: Описание типа СИ | Скачать | 130.5 КБ |
Описание типа
Назначение
Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10 (далее -измеритель) предназначен для измерения на постоянном токе сопротивления тонких диэлектрических, проводящих и полупроводящих слоев, формируемых в процессе производства интегральных схем.
Применяется в электронной промышленности при производстве полупроводниковых структур.
Описание
Измеритель представляет собой автономный измерительный комплекс, состоящий из двух функциональных блоков: аналогового и цифрового. Аналоговый блок содержит зондовую головку, источник постоянного напряжения, генератор токов, вольтметр, соединительные и защитные реле. Цифровой блок содержит цифровые счетчики, тепловой принтер, ЖК-дисплей и интерфейс, управляемые микропроцессором. В основу работы измерителя положен четырехзондовый метод измерения поверхностного сопротивления. Зондовая головка предназначена для жесткой фиксации зондов и расстояний между ними. Она закреплена на кронштейне, который выдвигается в позицию измерения или позицию загрузки измеряемой пластины. Последняя укладывается на столик, который может вращаться и передвигаться вертикально. В центре столика для фиксации положения сделано отверстие, в котором создается вакуум порядка 40 кПа. Одновременно для прижатия зондов к пластине в кронштейн подается сжатый воздух под давлением 0,3 -0,6 МПа. Чтобы избежать влияния контурных сопротивлений зондов, в программе работы измерителя предусматривается автоматическое переключение токовых и потенциальных зондов и изменение полярности токов. Измеритель выполнен в виде настольного прибора, на передней панели которого расположены клавиши оператора и ЖК-дисплей, 4 строки по 40 символов в каждой.
Технические характеристики
|
Наименование технической характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений поверхностного сопротивления, Омща квадрат поверхности |
510 3 - 5106 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности, % |
±1 |
|
Нормальные условия применения: диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха не более, % атмосферное давление, кПа |
20±5 80 84-106 |
|
Потребляемая мощность, не более, В А |
75 |
|
Средний срок службы, лет |
8 |
|
Г абариты прибора (высотахширинахглубина), мм: |
280x460x640 |
|
Масса прибора, кг |
38,7 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на боковую поверхность укладочного ящика и на титульный лист эксплуатационных документов печатным или фотоспособом.
Комплектность
Измеритель 1 шт.
Кабель силовой 1 шт.
|
Руководство по эксплуатации (на русском и английском) Методика поверки МП2202-0037-2008 |
по 1 экз. 1 экз. |
Поверка
Поверка проводится в соответствии с документом МП2202-0037-2008 «Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10. Методика поверки», утвержденным ГЦИСИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в мае 2009 г.
Основное средство поверки:
Мультиметр 34401 А, используемый диапазон измерений 1Ом-100 кОм, погрешность ± (0,05 - 0,01) %.
Межповерочный интервал - 2 года.
Нормативные документы
ГОСТ 8.028-86. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления.
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Техническая документация компании «Prometrix Corporation», США.
Заключение
Тип «Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10, заводской номер 909V1» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе в РФ и эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
Смотрите также
