Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168
| Номер в ГРСИ РФ: | 43177-09 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Creative Design Engineering Inc.", США |
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырех зондовым методом ResMap 168 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений электрического сопротивления материалов и применяется при разработке, испытаниях, техническом обслуживании и ремонте образцов радиоэлектронной аппаратуры на объектах сферы обороны и безопасности.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 43177-09 |
| Наименование | Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом |
| Модель | ResMap 168 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 34.02 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ "Воентест" |
| Адрес центра | 141006, г.Мытищи Московской обл., 32 ГНИИИ МО РФ или в/ч 55215 |
| Руководитель центра | Храменков Виктор Николаевич |
| Телефон | (8*095) 586-23-88 |
| Факс | 583-99-48 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 38330В |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 13д от 24.12.09 п.207 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Creative Design Engineering Inc.", США
США
20565 Alves Drive Cupertino, CA95014, USA тел. (408) 736-72773, факс (408) 738-3912, E-mail: DChengCDE@aol.com
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 43177-09: Описание типа СИ | Скачать | 126.2 КБ | |
| 43177-09: Методика поверки | Скачать | 773 КБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырех зондовым методом ResMap 168 (далее по тексту - установка) предназначена для измерений электрического сопротивления материалов и применяется при разработке, испытаниях, техническом обслуживании и ремонте образцов радиоэлектронной аппаратуры на объектах сферы обороны и безопасности.
Описание
Принцип действия установки основан на определении электрического сопротивления исходных пластин и на косвенном определении концентрации легирующей примеси полупроводниковых слоев.
Конструктивно установка выполнена в виде моноблока.
Для измерения поверхностного сопротивления установка имеет четырех точечный зонд. Он представляет собой точный инструмент для измерения поверхностного сопротивления в проводящих элементах (обычно тонкий слой плёнки в полупроводниках), называемый сопротивлением квадрата пленки, «Rs».
Установка управляется через интерфейс SECS-II с ПЭВМ.
Технические характеристики
Основные технические характеристики установки приведены в таблице. Таблица
|
Наименование характеристики |
Значения характеристики |
|
Диапазон измерений электрического сопротивления постоянному току, Ом |
от 5-10'3 до 5106 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления постоянному току, % |
±0,5 |
|
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения электрического сопротивления постоянному току калибровочными резисторами, % |
±0,15 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 0,5) Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
500 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более |
710 х 300 х 280 |
|
Масса, кг, не более |
10 |
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, °C..............................................................................от 0 до 50;
- относительная влажность воздуха при температуре 25 °C, % .................................................до 80;
- атмосферное давление, мм рт.ст....................................................................................от 630 до 800.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель установки в виде наклейки и на техническую документацию фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168, набор калибровочных резисторов номинальными значениями электрического сопротивления постоянному току 0,10115, 1,00739, 10,01765, 100,353 Ом, 1,006354, 10,03022 кОм, ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя, методика поверки.
Поверка
Поверка установки проводится в соответствии с документом «Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168 фирмы «Creative Design Engineering Inc.», США. Методика поверки», утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воен-тест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2009 года и входящим в комплект поставки.
Средства поверки: нановольтметр/микроомметр 34420А фирмы "Agilent Technologies", Малайзия (диапазон измерений электрического сопротивления от 1 мкОм до 1 МОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления ± (0,006 - 0,007) %).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 8.028-86 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления».
Заключение
Тип установки для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом ResMap 168 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
Смотрите также
