Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f
| Номер в ГРСИ РФ: | 44975-10 |
|---|---|
| Категория: | Спектрометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Cameca", Франция |
| 44975-10: Описание типа СИ | Скачать | 172.9 КБ |
Для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-n переходов, разработки технологических процессов, послойного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 44975-10 |
| Наименование | Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый |
| Модель | IMS-7f |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 31.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | Франция |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40536 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.352 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Cameca", Франция
Франция
103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France. Тел. (33-1) 43 34 62 00. Факс (33-1) 43 34 63 50, E-mail: sales@cameca.fr
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 44975-10: Описание типа СИ | Скачать | 172.9 КБ |
Описание типа
Назначение
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.
Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-п переходов, разработки технологических процессов, послойного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяют в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируют системой регистрации.
Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления; рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения.
Технические характеристики
Основные технические характеристики приведены в Таблице.
Таблица.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 5 кВ, не менее, а.е.м. |
460 |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 10 кВ, не менее, а.е.м. |
230 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Миом - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном-10'3) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Миом - номинальное значение массы соответствующего отрицательного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном-10'3) |
|
Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее |
25000 |
|
Ускоряющее напряжение первичных ионов цезия Cs+, кВ |
От 1 до 10 |
|
Ускоряющее напряжение первичных ионов кислорода Ог+, кВ |
От 1,1 до 15 |
|
Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, не менее, мкА |
1 |
|
Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 15 кВ, не менее, мкА |
7 |
|
Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 1,1 кВ, не менее, нА |
100 |
|
Геометрические размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), не более, мм |
24x3 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
9,9 |
|
Масса, кг |
1430 |
|
Габаритные размеры, мм: - физическая часть - электронная стойка |
2240x2080x1550 600x900x1950 |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - атмосферное давление, кПа - относительная влажность воздуха, % - напряжение питания сети, В - частота питающей сети, Гц -вибрации: а) амплитуда смещения в диапазоне частот вибрации от 0,4 до 2,5 Гц не более, мкм б) виброускорение в диапазоне частот вибрации от 2,5 до 200 Гц, не более, м сек'2 -внешние магнитные поля, не более, Тл |
20± 1 101 ±1,4 70±5 230 ± 10 50 ± 1 5 1-Ю'3 3-10'7 |
Знак утверждения типа
• Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионно-оптическую колону прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверка масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-7f проводится в соответствии с документом «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f фирмы «САМЕСА», Франция. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2010 г.
Средства поверки:
- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;
-индий марки ИН 0000 по ГОСТ 10297-94.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия.
ГОСТ 10297-94. Индий. Технические условия.
Заключение
Тип масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-7f утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
Другие Спектрометры
