46091-11: LEI 1510A SA Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный - Производители, поставщики и поверители

Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510A SA

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 46091-11
Производитель / заявитель: Фирма "Lehighton Electronics, Inc.", США
Скачать
46091-11: Описание типа СИ Скачать 370 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...
Нет данных о поставщике
Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510A SA поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов вихретоковым методом. При известной толщине материала позволяет измерять его удельное сопротивление

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 46091-11
Наименование Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный
Модель LEI 1510A SA
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 34.02
Год регистрации 2011
Страна-производитель  США 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМ
Адрес центра 198005, г.С.-Петербург, Московский пр., 19
Руководитель центра Ханов Николай Иванович
Телефон (8*812) 251-76-01
Факс 113-01-14
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 42100
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола Приказ 336 от 03.02.11 п.03
Производитель / Заявитель

Фирма "Lehighton Electronics, Inc.", США

 США 

P.O. Box 328, Lehighton, PA 18235 Тел. 610-377-5990/(800) 535-1112 Web-сайт: www.lehighton.com

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 2202-0039-2010
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Актуальность информации 24.03.2024

Поверители

Скачать

46091-11: Описание типа СИ Скачать 370 КБ
Свидетельство об утверждении типа СИ Открыть ...

Описание типа

Назначение

Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510А SA предназначен для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов вихретоковым методом. При известной толщине материала позволяет измерять его удельное сопротивление

Описание

Прибор состоит из нескольких блоков: основной блок, блок питания, коммутационный блок, системный блок контроля и обработки данных. На верхней части основного блока расположены неподвижная измерительная часть и загрузчик, позволяющий перемещать образец в измерительную часть и производить измерения в необходимых точках.

Система контроля и обработки данных выводит максимальное и минимальное измеренное значение поверхностного (слоевого) сопротивления, рассчитывает среднее значение по пластине, среднее квадратическое отклонение в Ом на квадрат поверхности и разброс значений по пластине в процентах.

Принцип измерения: в основе неразрушающего, бесконтактного измерения сопротивления методом вихревого тока лежит регистрация изменений электромагнитного поля вихревых токов, наводимых возбуждающей обмоткой вихретокового преобразователя (ВТП), в электропроводящем образце. ВТП состоит из возбуждающей обмотки, подключенной к выходу генератора переменного тока, и измерительной обмотки, подключенной к блоку измерения. Магнитное поле ВТП возбуждает в образце концентрический вихревой ток, плотность которого максимальна на поверхности образца в контуре, диаметр которого близок к диаметру возбуждающей обмотки. Интенсивность и распределение вихревого тока в образце (результирующее поле) зависит от геометрических размеров и электромагнитных свойств

образца, а также от расстояния (зазора) между преобразователем и образцом. Электромагнитное результирующее поле вихревых токов воздействует на катушки преобразователя, и в измерительной обмотке возникает ЭДС, которая является сигналом, передающим информацию

Технические характеристики

Наименование технической характеристики

Значение характеристики

Диапазон     измерений     поверхностного

сопротивления, Ом, на квадрат поверхности поддиапазон Low поддиапазон High

0,2000 - 3000 0,2000-14,99 15,00-3000

Пределы     допускаемой     относительной

погрешности, %

±4

Рабочие условия применения:

диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха, %, не более атмосферное давление, кПа (мм рт. ст.)

18-28

45-80 96-104(720-780)

Параметры питающей сети

220 В; 50 или 60 Гц

Средний срок службы, лет

8

Габариты прибора

(высотахширинахглубина), мм:

470 х 360 х 240

Масса основного блока, кг

37,7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на панель основного блока наклейкой и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Измеритель                                                  1 шт.

Набор кабелей питания                                        1 шт.

Набор соединительных кабелей                                 1 шт.

Руководство по эксплуатации (на русском)                        1 экз.

Техническая документация на CD                               1 экз.

Методика поверки МП 2202-0039-2010                          1 экз.

Стандартные образцы поверхностного сопротивления             5 шт.

Поверка осуществляется по документу МП 2202-0039-2010 «Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510А SA. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в мае 2010 года.

Основные средства поверки:

стандартные образцы СО поверхностного сопротивления, входящие в комплект прибора: (3264±30); (605,9±6,0); (15,75±0,20); (1,947±0,020); (0,1796±0,0020).

Сведения о методиках (методах) измерений приведены в Руководстве по эксплуатации «Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510А SA».

Нормативные документы

1 ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия;

2 ГОСТ 8.028-86. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления.

3 Техническая документация фирмы «Lehighton Electronics, Inc.», США

Рекомендации к применению

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
46092-11
Kenz Cardico 601 Электрокардиографы
Фирма "Suzuken Co., Ltd.", Япония
Для измерения и регистрации биоэлектрических потенциалов сердца по 12 общепринятым отведениям и анализа электрокардиограмм (ЭКГ).
Default ALL-Pribors Device Photo
Для длительной регистрации (до 24/48 часов) электрокардиограммы (ЭКГ) по двум или трем грудным отведениям с записью в память регистратора с последующей передачей в персональный компьютер для обработки и анализа. Программа обработки системы обеспечива...
46094-11
РГ-К-Ех, типоразмеры G25, G40, G65, G100, G250, G400, G650, G1000 Счетчики газа ротационные
ОАО "Ивано-Франковский завод "Промприбор", Украина, г.Ивано-Франковск
Для измерения объема природного газа по ГОСТ 5542-87.
46095-11
МЦ-10 Мегаомметры цифровые
ООО НПФ МИЭЭ "Приборы Мосгосэнергонадзора", г.Москва
Для измерения сопротивления изоляции электрических цепей, не находящихся под напряжением.
Default ALL-Pribors Device Photo
46096-11
ЗНГМ-27,5 УХЛ1 Трансформаторы напряжения
ОАО "Раменский электротехнический завод Энергия" (ОАО "РЭТЗ Энергия"), г.Раменское
Для передачи сигнала измерительной информации средствам измерений, устройствам защиты, автоматики, сигнализации и управления в электрических сетях переменного тока промышленной частоты.