Мера длины рельефная МДР-3 мкм
Номер в ГРСИ РФ: | 47747-11 |
---|---|
Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИМС", г.Москва |
Для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 47747-11 |
Наименование | Мера длины рельефная |
Модель | МДР-3 мкм |
Технические условия на выпуск | - |
Класс СИ | 27.01 |
Год регистрации | 2011 |
Страна-производитель | Россия |
Центр сертификации СИ | |
Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
Телефон | (8*095) 437-55-77 |
Факс | 437-56-66 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 43839 |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
Дата протокола | Приказ 4992 от 16.09.11 п.68 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИМС", г.Москва
Россия
119361, Озерная ул., д.46. Тел. 437-56-66
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП 47747-11 |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
47747-11: Описание типа СИ | Скачать | 980 КБ | |
Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Описание
Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.
Технические характеристики
Наименование |
Значение |
Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм |
3,00 |
Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,02 |
Масса не более, г |
5,0 |
Г абаритные размеры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
Размеры рабочей области, мм |
3,0 х 3,0 |
Срок службы, лет |
5 |
Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С
Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
Мера длины рельефная МДР-3 мкм 1 шт.
Футляр 1 шт.
Паспорт 1 экз.
Методика поверки 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
лист № 3
всего листов 3
Нормативные документы
1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений