Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A
| Номер в ГРСИ РФ: | 48096-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "KLA-Tencor Corporation", США |
Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^9-4) м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48096-11 |
| Наименование | Мера высоты |
| Модель | Tencor Instruments SHS-9400A |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44266 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6290 от 31.10.11 п.03 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
США
160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48096-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 48096-11: Описание типа СИ | Скачать | 498 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10-9 ^ 10-4 м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.
Описание
Мера представляет собой металлическую структуру известной высоты, нанесенную на поверхность круглого стеклянного цилиндра с отполированной поверхностью. Внешний вид меры представлен на Рисунке 1. Рабочей областью меры является элемент, расположенный в её центре (см. Рисунок 1, в). Внешний вид футляра меры представлен на Рисунке 2.
б)
а)
Рисунок 1 - а) Внешний вид меры Tencor Instruments SHS-9400A; б) Рабочая область меры.
Рисунок 2 -Мера в футляре и место нанесения знака утверждения типа.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение высоты, А |
9446 |
|
Предел допускаемой относительной погрешности высоты структуры в рабочей области, % |
3 |
|
Условия эксплуатации: • температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
|
• относительная влажность, % |
65 ± 15 |
|
Г абаритные размеры меры, мм | |
|
длина |
38 |
|
ширина |
38 |
|
высота |
8 |
|
Размеры рабочей области меры, мм |
1X1 |
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта меры и на футляре меры - методом наклейки.
Комплектность
• Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A 1 шт.
• Специальный футляр 1 шт.
• Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A 1 шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48096-11 «Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011.
Основные средства поверки:
Профилометр оптический «Talysurf CCI 6000», ГР № 44893-10, диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,0001 до 400 мкм, пределы допускаемой случайной погрешности 0,3% ±1 нм.
Сведения о методах измерений
Сведений нет.
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-2011 «ГСИ. Государственный первичный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,0)25.. .30)0)0) мкм»
Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений (поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200)
Смотрите также
