Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса IMS-4f
| Номер в ГРСИ РФ: | 48387-11 |
|---|---|
| Категория: | Спектрометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Cameca", Франция |
Для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48387-11 |
| Наименование | Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса |
| Модель | IMS-4f |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 31.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Франция |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44654 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6354 от 06.12.11 п.07 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Cameca", Франция
Франция
103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France. Тел. (33-1) 43 34 62 00. Факс (33-1) 43 34 63 50, E-mail: sales@cameca.fr
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48387-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 48387-11: Описание типа СИ | Скачать | 522.4 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Масс-спектрометр вторично-ионный IMS-4f с системой динамического переноса (далее по тексту - прибор) предназначен для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой, детектирующая система регистрирует ток вторичных ионов в зависимости от их отношения массы к заряду.
Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1. Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f с системой динамического переноса
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
SIMS_v_5.6 |
5.6 |
E42AB8650E133D5A 5Е6В66В733АС58АВ 2FADBF2A9E403DD1 608CCDBB9236AA94 |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус 4,5 кВ, а.е.м., не менее |
266 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+ МномА0’3) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+ МномА0’3) |
|
Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее |
16000 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ |
от 7,5 до 10 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2 , кВ |
от 5 до 17,5 |
|
Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее |
0,3 |
|
Максимальный ток ионов O2+ при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее |
3 |
|
Относительное изменение тока вторичных ионов при среднем значении тока не менее b 10’8 имп./с, не более, % |
6 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений времени травления, % |
1 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
10,0 |
|
Масса, кг, не более |
1430 |
|
Условия эксплуатации: - диапазон температуры окружающего воздуха, оС - скорость изменения температуры окружающего воздуха, не более, оС/час - относительная влажность воздуха, не более, % - напряжение питания сети, В - частота питающей сети, Гц - виброускорение в диапазоне частот от 0,8 до 100 Гц, м^с’2 - внешние магнитные поля, Тл, не более |
от 20 до 25 1 75 220 ± 10 50 ± 1 9,8-10-3 3А0’7 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f с системой динамического переноса, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 48387-11 «Масс-спектрометр вторично-ионный микро-зондовый IMS-4f с системой динамического переноса фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011 г.
Средства поверки:
- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;
- образец сплава МЛ-19 на основе магния-неодима-иттрия по ГОСТ 2856-79;
- секундомер «Интеграл С-01».
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.
Нормативные документы
Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Спектрометры
