Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe
| Номер в ГРСИ РФ: | 48404-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Инструменты нанотехнологии" (НТИ), г.Москва |
Для измерений геометрических расстояний на поверхности нанотехнологических и конструкционных материалов действующего оборудования методами атомно-силовой микроскопии в атмосферных условиях в диапазоне линейных размеров 300 нм...100 мкм при атмосферных условиях. Для использования в условияхучебных учреждений, научных лабораторий и в условиях промышленных предприятий различного профиля.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48404-11 |
| Наименование | Комплексы аппаратно-программные |
| Модель | Solver Pipe |
| Технические условия на выпуск | ШАРП.401163.001 ТУ |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 06.12.2016 |
| Номер сертификата | 44677 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 6354 от 06.12.11 п.30 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Инструменты нанотехнологии" (НТИ), г.Москва
Россия
124482, Зеленоград, корп.100. Тел. (499) 735-77-77, факс 735-64-10, E-mail: spm@ntmdt.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48404-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Найдено поверителей | 1 |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 48404-11: Описание типа СИ | Скачать | 538.3 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe (далее - комплексы) предназначены для измерений геометрических расстояний на поверхности нанотехнологических и конструкционных материалов действующего оборудования методами атомно-силовой микроскопии в атмосферных условиях в диапазоне линейных размеров от 300 нм до 100 мкм при атмосферных условиях.
Комплексы предназначены для использования в условиях учебных учреждений, научных лабораторий и в условиях промышленных предприятий различного профиля.
Описание
Принцип действия комплексов основан на сканировании поверхности методом ощупывания чувствительным датчиком - кантилевером. Комплексы обеспечивают работу в режиме атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием различных методик зондовой микроскопии. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
В состав комплексов входит измерительная АСМ головка, платформа позиционирования, электронный блок (контроллер сканирования) и управляющий персональный компьютер.
В качестве зонда в АСМ используется чувствительный элемент - кантилевер, который представляет собой кремниевый монокристалл, на котором сформирована балочная структура с острием в виде микроиглы.
Сканирование в диапазоне линейных размеров от 3*10’7 до 10-4 м обеспечивается с помощью пьезосканера. Конструкция блока подвода и сканирования обеспечивает ручной и автоматический подвод зонда к образцу; установку АСМ головки на платформу позиционирования без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены и установки кантилевера.
Комплексы позволяют проводить сканирование зондом на воздухе.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и РС совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ контроллера поступают в измерительную головку. Управление СЗМ контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством интерфейса USB 2.0. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно комплексы выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером.
Область применения - лабораторные и промышленные исследования трехмерной топологии и параметров рельефа в нанометровом диапазоне методом сканирования зондовым датчиком поверхности объекта. Комплексы могут применяться в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, создании наноструктурных материалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций. Комплекс предназначен для использования в условиях учебных учреждений, научных лабораторий и в условиях промышленных предприятий различного профиля.
Рис. 1. Общий вид аппаратно-программного комплекса Solver Pipe
В состав комплекса входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
№ версии ПО |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
ПО «NOVA» |
XY Calibration. dll ZCalibration.dll |
P9 |
9eb48340c656f5e545923ec839d60040 081da6dd16f81d05ba3c54e1de1a0f0f |
Программа md5sum |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Таблица 2
|
Наименование параметра |
Значение |
|
Диапазон сканирования по оси Z , мкм |
от 0 до 10 |
|
Диапазон сканирования по осям X и Y, мкм |
От 0,3 до 100 |
|
Предел допускаемой погрешности измерений по осям: X и Y (диапазон - 100 мкм, при количестве пикселей - 2048), нм Z (диапазон - 10 мкм, при количестве пикселей - 2048), нм |
50 5 |
|
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус |
+5 |
|
Угол между осями сканирования X и Y, градус |
90+2 |
|
Диапазон перемещения в плоскости XY не менее, мм |
50x50 |
|
Диапазон перемещения по оси Z не менее, мм |
30 |
|
Диапазон изменения наклона измерительной головки относительно нормали к поверхности образца |
от минус 12 градусов, до плюс 12 градусов |
|
Установка на образце под углом к горизонту, градус |
от 0 до 180 |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ), не более, мм |
400x250x10 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Комплекс аппаратно-программный Solver Pipe в составе:
Измерительная АСМ головка 1 шт
Платформа позиционирования 1 шт
Платформа установочная (крепежная) с притяжными ремнями 1 шт
Персональный компьютер (ПК) с видеомонитором и интерфейсным соединительным кабелем 1 шт
Пинцет для установки кантилевера 1 шт
Программное обеспечение “NOVA” 1 шт
Поверка
осуществляется по документу МП 48404-11 «Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe.
Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в ноябре 2011 года.
Основными средствами поверки являются:
Мера периода и высоты линейная TGQ1 с характеристиками, приведенными в таблице 3. Таблица 3
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм |
± 0,01 |
|
Значение высоты выступов в шаговых структурах меры, нм |
20 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более, нм |
±2 |
Мера периода и высоты линейная TGZ3 с характеристиками, приведенными в таблице 4. Таблица 4
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм |
± 0,01 |
|
Значение высоты выступов в шаговой структуре меры, нм |
520 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговой структуре не более, нм |
±20 |
Мера периода линейно-угловая TGG1 с характеристиками, приведенными в таблице 5. Таблица 5
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Угол в сечении при вершине треугольного профиля, градус |
50±20 |
Сведения о методах измерений
Руководство по эксплуатации. Разделы 8-10.
Нормативные документы
«Комплексы аппаратно-программные Solver Pipe. Технические условия»
ШАРП.401163.001 ТУ
Рекомендации к применению
выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
Смотрите также
