Тестер UltraFlex 810-72-00
| Номер в ГРСИ РФ: | 52039-12 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Teradyne Inc.", США |
Тестер UltraFlex 810-72-00 (далее ╞ тестер) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля интегральных микросхем (ИМС) и кристалловв составе полупроводниковой пластины с числом выводов до 256 и рабочей частотой последовательности функционального контроля до 500 МГц.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 52039-12 |
| Наименование | Тестер |
| Модель | UltraFlex 810-72-00 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | США |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 49079 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 1101 п. 02 от 10.12.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Teradyne Inc.", США
США
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | АЕСН.442241.002 МП |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 52039-12: Описание типа СИ | Скачать | 249.9 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Тестер UltraFlex 810-72-00 (далее - тестер) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля интегральных микросхем (ИМС) и кристаллов в составе полупроводниковой пластины с числом выводов до 256 и рабочей частотой последовательности функционального контроля до 500 МГц.
Описание
Принцип действия тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (ФК), формируемую тестером.
Тестер обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:
- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;
- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.
Тестер обеспечивает контроль ожидаемого состояния на выводах ИМС и полупроводниковых кристаллов на каждом канале с поканально-независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производиться в каждом такте контроля поканально-независимо.
Тестер представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входят источники и измерители электрических сигналов, манипулятор, охлаждающее устройство и управляющая ПЭВМ (рис. 1). Конструктивно тестер выполнен в виде стойки с присоединенной тестовой головой, перемещаемой манипулятором и управляемой с помощью пульта. Подстыковочные разъемы расположены на панелях основной стойки и внешней головы. Внешний вид тестера приведен на рисунке 2.
Рисунок 1 - Состав тестера UltraFlex 810-72-00
Рисунок 2 - Общий вид тестера
а) Место для размещения наклеек;
б) Место для пломбировки от несанкционированного доступа.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «UltraFlex 810-72-00» предназначено только для работы с тестером и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы этого тестера.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики тестера не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
Лицензионное ПО IG-XL для управления тестером |
401.vxe |
IN-400-00 |
E988C8FEA88B15D0 7C7430D5D373A |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО тестера и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 32862010.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики тестера приведены в таблицах 2 - 7.
Тестер обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала ФК с параметрами в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2
|
Параметр |
Значение |
|
Диапазон задаваемых напряжений (VIL, VIH), В |
от минус 1 до плюс 6 |
|
Дискретность установки напряжения, мВ |
1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения, мВ (в диапазоне изменения уровня от 0,5 В до 5 В без нагрузки) |
± (0,001 •Пуст +20 мВ), где иуст - установленное значение |
|
Максимальный выходной ток на один канал, мА |
100 |
|
Диапазон измеряемых напряжений, В |
от минус 1 до плюс 6 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, мВ |
± 20 |
|
Частота следования импульсов, МГц |
до 500 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности задаваемой частоты следования импульсов, % |
± 0,1 |
|
Длительность фронта импульса, пс, не более |
500 |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.
Таблица 3
|
Параметр |
Значение |
|
Диапазон задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В: - (при силе тока более 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА) - (при силе тока менее 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА) |
от минус 0,1 до плюс 4,5 от минус 1,0 до плюс 6,0 |
|
Дискретность установки напряжения постоянного тока, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения постоянного тока, мВ |
± (0,002/Пуст + 10 мВ), где Пуст - установленное значение, В |
|
Дискретность измерений напряжения постоянного тока, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ |
± (0,002/ии3м + 10 мВ), где U ,,зм - измеренное значение, В |
|
Дискретность задаваемой силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,2 мА |
< 20 мкА < 0,8 мкА < 0,08 мкА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности задаваемой силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,2 мА - диапазон ± 0,02 мА |
± (0,005йуст + 1000,0 мкА), ± (0,005^1уст + 10,0 мкА), ± (0,005-Туст + 1,0 мкА), ± (0,005-Туст + 0,2 мкА), где 1уст - установленное значение, мА |
|
Дискретность измерений силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,2 мА - диапазон ± 0,02 мА - диапазон ± 0,002 мА |
< 6 мкА < 0,24 мкА < 0,024 мкА < 0,0024 мкА < 0,001 мкА |
|
Параметр |
Значение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока: - диапазон ± 50 мА - диапазон ± 2 мА - диапазон ± 0,02 мА - диапазон ± 0,002 мА - диапазон ± 0,0002 мА |
± (0,005 •1изм + 500,0 мкА) ± (0,005-Тизм + 10,0 мкА) ± (0,005 -Тизм + 1,0 мкА) ± (0,005 -Тизм + 0,2 мкА) ± (0,005 -Тизм + 0,09 мкА), где Тизм - измеренное значение, мА |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока источниками питания (№ 1- 4) в соответствии с таблицей 4.
Таблица 4
|
Параметр |
Значение |
|
Диапазоны задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В |
0 - 0,5; 0 - 1,0; 0 - 2,0; 0 - 5,0; 0 - 10,0; 0 - 20,0; 0 - 30,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения постоянного тока: - диапазон (0 - 0,5) В - диапазон (0 - 1,0) В - диапазон (0 - 2,0) В - диапазон (0 - 5,0) В - диапазон (0 - 10,0) В - диапазон (0 - 20,0) В - диапазон (0 - 30,0) В |
± (0,0005 •Луст + 0,9 мВ) ± (0,0005 •Луст + 1,0 мВ) ± (0,0005 •Луст + 1,2 мВ) ± (0,0005 •Луст + 1,6 мВ) ± (0,0005 •Луст + 2,6 мВ) ± (0,0005 •Луст + 5,0 мВ) ± (0,0005 •Луст + 8,0 мВ), где Луст - установленное значение, В |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока: - диапазон (0 - 0,5) В - диапазон (0 - 1,0) В - диапазон (0 - 2,0) В - диапазон (0 - 5,0) В - диапазон (0 - 10,0) В - диапазон (0 - 20,0) В - диапазон (0 - 30,0) В |
± (0,0005 •Лизм + 0,9 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 1,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 1,2 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 2,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 4,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 7,0 мВ) ± (0,0005 •Лизм + 10,0 мВ), где Лизм - измеренное значение, В |
|
Диапазоны задаваемой/измеряемой силы постоянного тока, мА |
0 - 0,02; 0 - 0,2; 0 - 2,0; 0 - 20,0; 0 - 200,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки силы постоянного тока: - диапазон (0 - 0,02) мА - диапазон (0 - 0,2) мА - диапазон (0 - 2,0) мА - диапазон (0 - 20,0) мА - диапазон (0 - 200,0) мА |
± (0,001 •Туст + 0,03 мкА) ± (0,001 •Туст + 0,3 мкА) ± (0,001 •Туст + 3,0 мкА) ± (0,001 •Туст + 30,0 мкА) ± (0,001 •Туст + 300,0 мкА), где Туст - установленное значение, мА |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока: - диапазон (0 - 0,02) мА - диапазон (0 - 0,2) мА - диапазон (0 - 2,0) мА - диапазон (0 - 20,0) мА - диапазон (0 - 200,0) мА |
± (0,001 •Тизм + 0,018 мкА) ± (0,001-Тизм + 0,18 мкА) ± (0,001 •Тизм +1,8 мкА) ± (0,001 •Тизм+18,0 мкА) ± (0,001 •Тизм+180,0 мкА), где Тизм - измеренное значение, мА |
Таблица 5 - Габаритные размеры и масса составных частей тестера
|
Составные части |
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
Масса, кг |
|
Основная стойка |
1600х1000x800 |
570 |
|
Тестовая голова |
450 х 710 х 710 |
290 |
|
Манипулятор |
1600 х 420 х 800 |
510 |
|
Система охлаждения |
1140х650х1050 |
380 |
|
Рабочая станция (ПЭВМ) |
138 х 539 х 447 |
17,7 |
Таблица 6 - Характеристики напряжения питания тестера
|
Параметр |
Минимальное значение |
Максимальное значение |
|
Напряжение сети переменного тока, В |
200 |
480 |
|
Отклонения напряжения сети, % |
-15 |
10 |
|
Частота напряжения сети, Г ц |
47 |
63 |
|
Потребляемая мощность, кВт-А |
40 |
Таблица 7 - Условия эксплуатации тестера
|
Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С |
от 15 до 30 |
|
Относительная влажность воздуха при температуре 30 °С, % |
от 50 до 80 |
|
Атмосферное давление, кПа |
от 97 до 105 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Наработка на отказ, ч |
4000 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель стойки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- тестер UltraFlex 810-72-00 (в составе: тестовая стойка, манипулятор, тестовая голова) - 1 комплект;
- рабочая станция (ПЭВМ) - 1 комплект;
- блок охлаждения - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации («Тестер UltraFlex 810-72-00. Паспорт. АЕСН.442241.002 ПС»; «Тестер UltraFlex 810-72-00. Руководство по эксплуатации. АЕСН.442241.002 РЭ») - 1 комплект;
- Методика поверки - 1 шт.
Поверка
Осуществляется по документу «Инструкция. Тестер UltraFlex 810-72-00. Методика поверки.
АЕСН.442241.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр цифровой KEITHLEY 2010 (регистрационный номер 25787-08) (диапазон измерений напряжения постоянного тока 100 мВ - 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± 0,004 %; диапазон измерений силы постоянного тока от 10 мА до 3А, пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока ± 0,12 %);
- частотомер электронно-счетный ЧЗ-63 (регистрационный номер 9084-90), диапазон измеряемых частот импульсных сигналов от 1 Гц до 200 МГц с пределами допускаемой погрешности измерений частоты ± 5-10’7 ± 1 ед.сч.;
- осциллограф цифровой TDS-2014B (регистрационный номер 24018-06), диапазон измерений (0 - 100) МГц с пределами допускаемой относительной погрешности измерений 1 %.
Сведения о методах измерений
Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Смотрите также
