Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV
| Номер в ГРСИ РФ: | 63454-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "MueTec GmbH", Германия |
Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV (далее - Установка) предназначена для измерений критических размеров элементов на фотошаблонах (CD-измерения).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 63454-16 |
| Наименование | Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов |
| Модель | MueTec 2010UV |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ µ150.047 |
Производитель / Заявитель
Фирма "MueTec GmbH", Германия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 3 года |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 63454-16: Описание типа СИ | Скачать | 109.4 КБ | |
| 63454-16: Методика поверки | Скачать | 822.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV (далее - Установка) предназначена для измерений критических размеров элементов на фотошаблонах (CD-измерения).
Описание
Принцип действия Установки основан на оптическом измерении ширины линий на фотошаблонах. Установка представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входит измерительная система и контроллер управления ПЭВМ.
Перед проведением измерений с помощью специальной калибровочной меры (фотошаблона) в Установке формируется информация о калибровочных поправках при измерениях критических размеров элементов топологии шаблонов, что позволяет исключить систематическую погрешность измерений.
Конструктивно контроллер управления выполнен в виде шкафа на котором расположены органы управления. Внешний вид Установки приведен на рисунке 1.
Место пломбировки от несанкционированного доступа. Место для размещения наклеек
(знака поверки и знака утверждения типа)
Рисунок 1 - Общий вид Установки MueTec 2010UV
1 - Дверь регулировки манометров, 2 - Главный включатель установки, 3 - Дверь блоков измерительного и сетевого контроллера, 4 - сигнальное устройство, 5 - микроскоп, 6 - клавишная панель оператора
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) Установки является специализированным ПО и представляет собой программный продукт управления пользователя с набором микрокоманд Dialog C Compiler (N418_54j2.exe, версия 5.0.6.0; диалоговое окно «NanoStar»).
ПО Dialog C Compiler (диалоговое окно «NanoStar») предназначено для управления Установкой и не может быть использовано отдельно от установки.
Влияние метрологически значимой части ПО Dialog C Compiler на метрологические характеристики Установки не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО Dialog C Compiler указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
Управляющая программа пользователя с набором микрокоманд «NanoStar» |
Dialog C Compiler |
5.0.6.0 |
701a88b3bbe3db0c 280c41defcfb9150 6f4acf12d007eeb3f 620040e083a063f |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО Установки и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО Установки Dialog C Compiler (N418_54j2.exe, версия 5.0.6.0; диалоговое окно «NanoStar») соответствует уровню «Средний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики Установки приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений критических размеров элементов фотошаблона, мкм: - в режиме «Видимое излучение» - в режиме «УФ-излучение» |
от 0,8 до 100,0 от 0,5 до 100,0 |
|
Среднеквадратическое значение погрешности измерений критических размеров элементов фотошаблона*, нм - в режиме «Видимое излучение» - в режиме «УФ-излучение» |
4 3 |
|
Минимальный размер элемента измеряемой изолированной линии фотошаблона, мкм: - в режиме «Видимое излучение» - в режиме «УФ-излучение» |
0,8 0,5 |
|
Габаритные типоразмеры (длина х ширина хтолщина) измеряемых фотошаблонов, мм |
152,4x152,4x6,35 127,0x127,0x3,05 127,0x127,0x2,30 |
Продолжение таблицы 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Область перемещения координатного стола измерительной платформы (XxY), мм: - для фотошаблона 152,4*152,4*6,35 - для фотошаблона 127,0*127,0*3,05 - для фотошаблона 127,0*127,0*2,30 |
150*150 150*150 125*125 |
|
Г абаритные размеры установки (ширина * глубина * высота), мм |
1500*1200*1800 |
|
Масса, кг |
602 |
|
Напряжение питания частотой 50 Гц, В |
220 ± 22 |
|
Потребляемая мощность, кВ • А, не более |
1,6 |
|
Рабочий диапазон температуры, °С |
от 18 до 25 |
|
Относительная влажность воздуха при температуре 18 - 25 °С, %, не более |
75 |
|
Рабочее давление воздуха, гПа |
5500± 500 |
|
Вакуум централизованный, гПа |
минус 950 ± 50 |
*Среднеквадратическое значение погрешности измерений критических размеров элементов фотошаблона нормируется в диапазоне от 0,8 до 8 мкм.
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель Установки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации (Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
- методика поверки - 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 63454-16 «Инструкция. Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ АО «НИЦПВ» 19.06.2015 г.
О сновные средства поверки:
- набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (№ Госреестра 60717-15).
Сведения о методах измерений
Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Смотрите также
