Комплекс специализированный метрологический СпМК
| Номер в ГРСИ РФ: | 64399-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГУП "НИИ ТП", г.Москва |
Комплекс специализированный метрологический СпМК (далее СпМК) предназначен для измерений перемещений в диапазоне от 5 10-9 до 1 • 10"6 м.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 64399-16 | ||||||
| Наименование | Комплекс специализированный метрологический | ||||||
| Модель | СпМК | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 75abb51e-ce92-46ce-ef03-13566121ded3 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
АО "НИИ ТП", РОССИЯ, г.Москва
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
64399-16: Описание типа
2016-64399-16.pdf
|
Скачать | 137.7 КБ | |
|
64399-16: Методика поверки
2016-mp64399-16.pdf
|
Скачать | 300.7 КБ |
Описание типа
Назначение
Комплекс специализированный метрологический СпМК (далее СпМК) предназначен для измерений перемещений в диапазоне от 5-10’9 до 1 • 10-6 м.
Описание
Принцип действия СпМК основан на интерференционном методе.
В состав СпМК входят следующие составные части:
- интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) (далее интерферометр);
- видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 (далее видеоконтрольное устройство);
- наностол в составе:
- пьезоплатформа P-611.1S;
- контроллер E-665.SR;
- программное обеспечение PIMikroMove;
- стол виброизоляционный АФЕК.301216.006;
- персональная электронно-вычислительная машина (далее ПЭВМ);
- программное обеспечение (далее ПО) МКНД.60102-01 в составе:
- программа LIDM;
- программа PicoAD.
Интерферометр размещается на столе виброизоляционном и предназначен для измерения перемещений. Для визуализации процесса измерений используется видеоконтрольное устройство.
ПЭВМ, входящая в состав СпМК, представляет собой программный модуль, обеспечивающий выполнение технологического цикла автоматизированной подготовки и ввода настроек, обработки данных, а также формирование отчетной информации. ПЭВМ поставляется с комплектом программного обеспечения.
Для калибровки интерферометра в состав СпМК включен наностол.
Общий вид СпМК представлен на рисунке 1. Внешний вид интерферометра из состава СпМК представлен на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид СпМК
Рисунок 2 - Внешний вид интерферометра из состава СпМК (1 - место нанесения знака поверки)
Программное обеспечение
В состав СпМК входит программное обеспечение LIDM, состоящее из программ LIDM и PicoAD, и программное обеспечение из состава наностола PIMikromove. ПО LIDM предназначено для обработки данных и визуализации результатов измерений. ПО PIMikromove предназначено для управления пьезоплатформой.
ПО соответствует среднему уровню защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | ||
|
LIDM |
PicoAD |
PIMikroMove | |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО* |
1.0.0.0 |
1.0 |
2.18.0.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
9AC60B26 (рассчитан по алгоритму CRC 32) |
0BC70D44 (рассчитан по алгоритму CRC 32) |
4F657106 (рассчитан по алгоритму CRC 32) |
* - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице 1.
При нормировании метрологических характеристик было учтено влияние программного обеспечения.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики СпМК представлены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений перемещений, м |
от 5-10"9 до П10’6 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений перемещений при многократных измерениях (не менее пяти раз), нм |
±5 |
|
Диапазон перемещений пьезоплатформы P-611.1S, м |
от 0 до 100П0’6 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности перемещений пьезоплатформы P-611.1 S при многократных измерениях (не менее пяти раз), нм |
±2 |
|
Масса, кг, не более |
300 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
1700x1100x1100 |
|
Питание от сети переменного тока с параметрами: - напряжение, В - частота, Гц |
220±22 50±1 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
500 |
|
Средний срок службы, лет |
5 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
10000 |
Условия эксплуатации:
- диапазон температур окружающего воздуха, оС
20±5;
65±15;
от 86 до 106.
- диапазон относительной влажности воздуха, %
- диапазон атмосферного давления, кПа
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Комплектность СпМК представлена в таблице 3.
Таблица 3
|
Наименование |
Количество |
|
Интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) |
1 шт. |
|
Видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 |
1 шт. |
|
Наностол |
1 шт. |
|
Стол виброизоляционный АФЕК.301216.006 |
1 шт. |
|
Персональная электронно-вычислительная машина |
1 шт. |
|
Программное обеспечение |
1 шт. |
|
Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1 |
1 экз. |
|
Методика поверки МП 2511/0009-15 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 2511/0009-15 «Комплекс специализированный метрологический СпМК. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в ноябре 2015 г.
Основные средства поверки:
- компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01-2010 из состава Государственного первичного эталона единицы длины - метра ГЭТ 2-2010.
Сведения о методах измерений
Методика измерений приведена в документе «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1», 2015 г..
Нормативные документы
1. ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
2. Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ.
Смотрите также
