Профилометры оптические ContourGT-K

Номер в ГРСИ РФ: 65060-16
Категория: Профилометры
Производитель / заявитель: Компания "Bruker Nano Inc.", США
Профилометры оптические ContourGT-K поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.

Скачать

65060-16: Описание типа СИ Скачать 118.1 КБ
65060-16: Методика поверки МП 043.М1-15 Скачать 1.2 MБ

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 65060-16
Наименование Профилометры оптические
Модель ContourGT-K
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Срок свидетельства (Или заводской номер) 09.09.2021
Производитель / Заявитель

Компания "Bruker Nano Inc.", США; Компания "Bruker AXS SAS", Франция

Назначение

Профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.

Описание

Принцип действия профилометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

В профилометрах реализовано два метода исследования: интерферометрия фазового контраста и вертикальная сканирующая интерферометрия.

В методе вертикальной сканирующей интерферометрии используется источник оптического излучения с широким спектром (белый светодиод). В основе метода лежит вертикальное перемещение объектива встроенным приводом с одновременной регистрацией изображения камерой. Каждая точка поверхности оказывается в фокусе, модуляция интерферирующих сигналов достигает максимума, после чего спадает по мере выхода объектива из зоны фокуса. Высота каждой точки поверхности определяется системой по положению объектива в области максимальной модуляции.

В методе интерферометрии фазового контраста используется источник оптического излучения с узким спектром (зеленый светодиод). В этом методе во время цикла измерения система прецизионного позиционирования объектива изменяет оптическую длину пути луча. Каждое такое изменение приводит к сдвигу интерференционных полос. Данные сдвиги регистрируются камерой в виде серии интерферограмм, которые с помощью программной обработки преобразуются в топографию поверхности.

В составе профилометра находится три вида тубусных линз (1.0X, 0.55X, 2.0X) и три интерферометрических объектива (5x, 20x, 50x). Используя различные комбинации объективов и тубусных линз, можно получить объективы с различными увеличениями. В основе измерений при использовании объективов с увеличением 2,75x крат, 5x крат, 10x крат лежит оптическая схема интерферометра Майкельсона, при использовании объективов с увеличениями 11x крат, 20x крат, 27,5x крат, 40x крат, 50x крат, 100x крат - интерферометра Миро.

Пломбирование профилометров не предусмотрено.

Программное обеспечение

Профилометры функционируют под управлением специального программного обеспечения (ПО) Vision64, установленного на внешний компьютер. ПО управляет настройками оборудования, анализирует данные и обеспечивает графическое представление результатов. Оно предоставляет возможности полной настройки представления данных и позволяет сохранять результаты анализа в базу данных. Настройки измерений и анализа сохраняются в конфигурационных файлах для дальнейшего использования.

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Vision64

Номер версии (идентификационный номер )ПО

5.41 и выше

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

-

Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя.

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Поле зрения объектива по осям X/Y, мкм

2,75 x

2409/2048

5 x

1220/1060

10 x

613/425

11 x

316/242

20 x

228/173

27,5 x

154/118

40 x

126/95

50 x

126/95

100 x

53/45

Предел среднего квадратического отклонения измерений поля зрения для всех объективов по осям X/Y, %

5

Диапазон показаний линейных размеров по вертикали для всех объективов(ось Z), нм

от 0,1 до 95300000

Диапазон измерений линейных размеров по вертикали для всех объективов(ось Z), нм

от 19,9 до 1800

Пределы допускаемой относительно погрешности измерений

линейных размеров по вертикали (ось Z), % 2,75 x

±15

5 x

±17

10 x

±16

11 x

±15

20 x

±9

27,5 x

±14

40 x

±11

50 x

±12

100 x

±9

Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x

10    x

11    x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x

от 1 до 2048 от 1 до 1060 от 1 до 500 от 1 до 400 от 0,5 до 300 от 0,5 до 240 от 0,4 до 150 от 0,3 до 120 от 0,2 до 50

Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x

10    x

11    x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x

от 100 до 1000 от 100 до 1000 от 100 до 600 от 100 до 600 от 100 до 300 от 3 до 240 от 3 до 150 от 3 до 120 от 3 до 40

Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x

10    x

11    x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x

от 1 до 2048 от 1 до 1060 от 1 до 425 от 1 до 242 от 0,5 до 173 от 0,5 до 118 от 0,4 до 95 от 0,3 до 95 от 0,2 до 45

Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x

10    x

11    x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x

от 100 до 1000 от 100 до 1000 от 100 до 600 от 100 до 600 от 100 до 300 от 3 до 240 от 3 до 150 от 3 до 120 от 3 до 40

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений

линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), %

2,75 x-20 x

±15

27,5 x

±3

40 x

±1

50 x

±1

100 x

±1

Диапазон показаний шероховатости (высотных параметров

Ra, Rz), мкм

от 0,025 до 953

Диапазон измерений шероховатости (высотных параметров

Ra, Rz), для всех объективов, мкм

от 0,014 до 0,18

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения

шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), мкм

2,75 x

5 x

10 x

11 x

20 x 27,5 x

±(0,004 - 0,0011)

40 x

50 x

100 x

Вертикальная скорость сканирования, мкм/с, не более

47

Габаритные размеры (ШхВхД), мм, не более

492x754x534

Масса, кг, не более

60

Электропитание осуществляется от сети переменного тока с

напряжением, В

220

частотой, Гц

60

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °C

20±3

- относительная влажность воздуха, %, не более

80

-атмосферное давление, кПа

100±4

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на нижнюю панель профилометров методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 3

Наименование и обозначение

Количество, шт.

Профилометр оптический ContourGT-K

1

Слайдер для тубусных линз*

1

Тубусная линза 1.0X*

1

Тубусная линза 0.55X*

1

Тубусная линза 2.0X *

1

Объектив интерферометрический 5x*

1

Объектив интерферометрический 20x*

1

Объектив интерферометрический 50x*

1

Турель на 5 объективов*

1

Калибровочный стандарт высоты ступенек (8 мкм) *

1

Ультра гладкое зеркало*

1

Виброизоляционный стол размером 30x30 дюймов*

1

Основание для образцов

1

Компрессор*

1

Компьютер*

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки МП 043.М1-15

1

* определяется опционально по согласованию с заказчиком

Поверка

осуществляется по документу МП 043.М1-15 «ГСИ. Профилометры оптические ContourGT-К. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 01.08.2015 г.

Основные средства поверки:

1    Объект-микрометр ОМО/ОМП Метрологические характеристики:

Расстояние между соседними штрихами (0,01±0,002) мкм Длина всей шкалы (1±0,003) мкм

2    Мера периода линейная TGZ3 из состава государственного вторичного эталона единицы шероховатости Rmax, Rz в диапазоне значений от 0,001 до 400 мкм, единицы шероховатости Ra в диапазоне значений от 0,001 до 100 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0070.2015 от 16.07.2015)

Метрологические характеристики:

Номинальное значение периода структуры меры 3,0 мкм

Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры не более ± 0,01 мкм

3    Набор мер из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0.02 до 1.8 мкм и Ra номинального значения 0,0015 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0034.2015)

Метрологические характеристики:

SHS - 180 QC

Номинальное значение периода структуры меры 19,9 нм Доверительные границы результата измерений ±0,8 нм SHS -1800 QC

Номинальное значение периода структуры меры 179,4 нм Доверительные границы результата измерений ±2,0 нм SHS 1,8 QC

Номинальное значение периода структуры меры 1781нм Доверительные границы результата измерений ±11 нм

4    Мера профильная ПРО-10

Основные метрологические характеристики:

Номинальные значения параметра шероховатости Ra от 0,005 до 100 мкм Пределы допускаемого среднеквадратического отклонения параметра Ra, ± 3%

Знак поверки наносится на заднюю панель корпуса профилометров

Нормативные документы

Техническая документация компании «Bruker AXS SAS/Bruker Nano Surfaces Division», США

ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм

Другие Профилометры

66829-17
Арго-600 Профилометры акустические доплеровские
ООО "Центр научно-технических исследований "Элерон", г.Москва
Профилометры акустические доплеровские «Арго-600» (далее - профилометры) предназначены для измерений скорости водного потока, глубины водных объектов и построения профиля донной поверхности.
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.
57850-15
Neox Профилометры оптические
Фирма "Sensofar-Tech, SL", Испания
Профилометры оптические Neox (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Default ALL-Pribors Device Photo
6925-78
К-1 Каверномеры-профилометры
СКТБ ПГ (промысловой геофизики), г.Грозный
Для измерения двух взаимно-перпендикулярных диаметров и их полусуммы