Профилометры оптические ContourGT-K
| Номер в ГРСИ РФ: | 65060-16 |
|---|---|
| Категория: | Профилометры |
| Производитель / заявитель: | Компания "Bruker Nano Inc.", США |
Профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 65060-16 |
| Действует | по 09.09.2021 |
| Наименование | Профилометры оптические |
| Модель | ContourGT-K |
| Характер производства | Серийное |
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 7fd4a4cc-b6bd-6d2c-e05f-9b6f61ade653 |
Производитель / Заявитель
Компания "Bruker AXS SAS", ФРАНЦИЯ; Компания "Bruker Nano Inc.", СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 6 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 14.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
65060-16: Описание типа
2016-65060-16.pdf
|
Скачать | 117.8 КБ | |
|
65060-16: Методика поверки
2016-mp65060-16.pdf
|
Скачать | 1.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.
Описание
Принцип действия профилометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
В профилометрах реализовано два метода исследования: интерферометрия фазового контраста и вертикальная сканирующая интерферометрия.
В методе вертикальной сканирующей интерферометрии используется источник оптического излучения с широким спектром (белый светодиод). В основе метода лежит вертикальное перемещение объектива встроенным приводом с одновременной регистрацией изображения камерой. Каждая точка поверхности оказывается в фокусе, модуляция интерферирующих сигналов достигает максимума, после чего спадает по мере выхода объектива из зоны фокуса. Высота каждой точки поверхности определяется системой по положению объектива в области максимальной модуляции.
В методе интерферометрии фазового контраста используется источник оптического излучения с узким спектром (зеленый светодиод). В этом методе во время цикла измерения система прецизионного позиционирования объектива изменяет оптическую длину пути луча. Каждое такое изменение приводит к сдвигу интерференционных полос. Данные сдвиги регистрируются камерой в виде серии интерферограмм, которые с помощью программной обработки преобразуются в топографию поверхности.
В составе профилометра находится три вида тубусных линз (1.0X, 0.55X, 2.0X) и три интерферометрических объектива (5x, 20x, 50x). Используя различные комбинации объективов и тубусных линз, можно получить объективы с различными увеличениями. В основе измерений при использовании объективов с увеличением 2,75x крат, 5x крат, 10x крат лежит оптическая схема интерферометра Майкельсона, при использовании объективов с увеличениями 11x крат, 20x крат, 27,5x крат, 40x крат, 50x крат, 100x крат - интерферометра Миро.
Место нанесения маркировки
Рисунок 1 - Общий вид профилометров оптических ContourGT-K с указанием
Рисунок 2 - Профилометр оптический ContourGT-K (вид сзади) с указанием мест нанесения маркировки и знака поверки
Пломбирование профилометров не предусмотрено.
Программное обеспечение
Профилометры функционируют под управлением специального программного обеспечения (ПО) Vision64, установленного на внешний компьютер. ПО управляет настройками оборудования, анализирует данные и обеспечивает графическое представление результатов. Оно предоставляет возможности полной настройки представления данных и позволяет сохранять результаты анализа в базу данных. Настройки измерений и анализа сохраняются в конфигурационных файлах для дальнейшего использования.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Vision64 |
|
Номер версии (идентификационный номер )ПО |
5.41 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального
компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Поле зрения объектива по осям X/Y, мкм 2,75 x |
2409/2048 |
|
5 x |
1220/1060 |
|
10 x |
613/425 |
|
11 x |
316/242 |
|
20 x |
228/173 |
|
27,5 x |
154/118 |
|
40 x |
126/95 |
|
50 x |
126/95 |
|
100 x |
53/45 |
|
Предел среднего квадратического отклонения измерений поля зрения для всех объективов по осям X/Y, % |
5 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали для всех объективов(ось Z), нм |
от 0,1 до 95300000 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали для всех объективов(ось Z), нм |
от 19,9 до 1800 |
|
Пределы допускаемой относительно погрешности измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), % 2,75 x |
±15 |
|
5 x |
±17 |
|
10 x |
±16 |
|
11 x |
±15 |
|
20 x |
±9 |
|
27,5 x |
±14 |
|
40 x |
±11 |
|
50 x |
±12 |
|
100 x |
±9 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x 10 x 11 x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
от 1 до 2048 от 1 до 1060 от 1 до 500 от 1 до 400 от 0,5 до 300 от 0,5 до 240 от 0,4 до 150 от 0,3 до 120 от 0,2 до 50 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x 10 x 11 x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
от 100 до 1000 от 100 до 1000 от 100 до 600 от 100 до 600 от 100 до 300 от 3 до 240 от 3 до 150 от 3 до 120 от 3 до 40 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x 10 x 11 x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
от 1 до 2048 от 1 до 1060 от 1 до 425 от 1 до 242 от 0,5 до 173 от 0,5 до 118 от 0,4 до 95 от 0,3 до 95 от 0,2 до 45 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x 5 x 10 x 11 x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
от 100 до 1000 от 100 до 1000 от 100 до 600 от 100 до 600 от 100 до 300 от 3 до 240 от 3 до 150 от 3 до 120 от 3 до 40 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), % 2,75 x-20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
±15 ±3 ±1 ±1 ±1 |
|
Диапазон показаний шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), мкм |
от 0,025 до 953 |
|
Диапазон измерений шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), для всех объективов, мкм |
от 0,014 до 0,18 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), мкм 2,75 x 5 x 10 x 11 x 20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
±(0,004 - 0,0011) |
|
Вертикальная скорость сканирования, мкм/с, не более |
47 |
|
Габаритные размеры (ШхВхД), мм, не более |
492x754x534 |
|
Масса, кг, не более |
60 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
220 60 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °C - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа |
20±3 80 100±4 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на нижнюю панель профилометров методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование и обозначение |
Количество, шт. |
|
Профилометр оптический ContourGT-K |
1 |
|
Слайдер для тубусных линз* |
1 |
|
Тубусная линза 1.0X* |
1 |
|
Тубусная линза 0.55X* |
1 |
|
Тубусная линза 2.0X * |
1 |
|
Объектив интерферометрический 5x* |
1 |
|
Объектив интерферометрический 20x* |
1 |
|
Объектив интерферометрический 50x* |
1 |
|
Турель на 5 объективов* |
1 |
|
Калибровочный стандарт высоты ступенек (8 мкм) * |
1 |
|
Ультра гладкое зеркало* |
1 |
|
Виброизоляционный стол размером 30x30 дюймов* |
1 |
|
Основание для образцов |
1 |
|
Компрессор* |
1 |
|
Компьютер* |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки МП 043.М1-15 |
1 |
|
* определяется опционально по согласованию с заказчиком | |
Поверка
осуществляется по документу МП 043.М1-15 «ГСИ. Профилометры оптические ContourGT-K. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 01.08.2015 г.
Основные средства поверки:
1 Объект-микрометр ОМО/ОМП
Метрологические характеристики:
Расстояние между соседними штрихами (0,01±0,002) мкм
Длина всей шкалы (1±0,003) мкм
2 Мера периода линейная TGZ3 из состава государственного вторичного эталона единицы шероховатости Rmax, Rz в диапазоне значений от 0,001 до 400 мкм, единицы
шероховатости Ra в диапазоне значений от 0,001 до 100 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0070.2015 от 16.07.2015)
Метрологические характеристики:
Номинальное значение периода структуры меры 3,0 мкм
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры не более ± 0,01 мкм
3 Набор мер из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0.02 до 1.8 мкм и Ra номинального значения 0,0015 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0034.2015)
Метрологические характеристики:
SHS - 180 QC
Номинальное значение периода структуры меры 19,9 нм
Доверительные границы результата измерений ±0,8 нм
SHS -1800 QC
Номинальное значение периода структуры меры 179,4 нм
Доверительные границы результата измерений ±2,0 нм
SHS 1,8 QC
Номинальное значение периода структуры меры 1781нм
Доверительные границы результата измерений ±11 нм
4 Мера профильная ПРО-10
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения параметра шероховатости Ra от 0,005 до 100 мкм
Пределы допускаемого среднеквадратического отклонения параметра Ra, ± 3%
Знак поверки наносится на заднюю панель корпуса профилометров (место нанесения указано на рисунке 2)
Сведения о методах измерений
«Профилометры оптические ContourGT-K. Руководство по эксплуатации», раздел 3
Нормативные документы
Техническая документация компании «Bruker AXS SAS/Bruker Nano Surfaces Division», США
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм
Другие Профилометры
