Комплексы видеоизмерительные iNexiv VMA, Nexiv VMR, Nexiv VMZ-R, Nexiv VMZ-K
| Номер в ГРСИ РФ: | 65520-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "NIKON Corporation", Япония |
Комплексы видеоизмерительные серий iNexiv VMA, Nexiv VMR, Nexiv VMZ-R, Nexiv VMZ-K (далее - комплексы) предназначены для автоматизированных измерений линейных и угловых размеров объектов и их элементов, а также их взаимного расположения в прямоугольных и полярных координатах.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 65520-16 |
| Наименование | Комплексы видеоизмерительные |
| Модель | iNexiv VMA, Nexiv VMR, Nexiv VMZ-R, Nexiv VMZ-K |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 27.10.2021 |
Производитель / Заявитель
Фирма "NIKON Corporation", Япония
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 4 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 65520-16: Описание типа СИ | Скачать | 151.6 КБ | |
| 65520-16: Методика поверки МП АПМ 45-15 | Скачать | 1.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Комплексы видеоизмерительные серий iNexiv VMA, Nexiv VMR, Nexiv VMZ-R, Nexiv VMZ-K (далее - комплексы) предназначены для автоматизированных измерений линейных и угловых размеров объектов и их элементов, а также их взаимного расположения в прямоугольных и полярных координатах.
Описание
Принцип работы комплексов основан на считывании с электронных измерительных шкал отсчетов положения оптоэлектронного измерительного блока по осям X, Y и Z. При измерениях по оси Z для снятия отсчета реализована функция автофокусирвки.
Для снятия отсчетов по осям X, Y и Z опционально приборы могут быть оснащены контактными датчиками TP-20 или TP-200.
Результаты измерений линейных и угловых размеров с помощью прикладного программного обеспечения выводятся на монитор персонального компьютера, сохраняются в виде графического файла и могут быть выведены на печать.
Прикладная программа комплексов имеет следующие основные функции:
- использование декартовой и полярной системы координат при выполнении измерений;
- отображение текущих координат X, Y, Z;
- представление результатов измерений в миллиметрах и дюймах;
- выбор, выполнение и сохранение последовательности измерений;
- сохранение видеоизображений;
- математическое выравнивание по направлениям координат X и Y;
- измерение геометрических параметров объектов: точка, радиус, диаметр, дуга, угол, прямая, расстояние, перпендикулярность, параллельность;
- формирование измерительных циклов;
- возможность автоматического ввода точек измерения.
Конструктивной основой комплексов является металлическая рама или гранитное основание.
В зависимости от модификации и размеров предусмотрены два варианта исполнения:
- в первом варианте - на основании крепятся подвижный в двух направлениях предметный стол с измерительными шкалами и датчиками, вертикальная оптическая колонка с измерительными датчиками с цветной или черно-белой видеокамерой, подвижной по оси Z;
- во втором варианте - на основании крепятся подвижный в направлении Y стол с измерительными датчиками, вертикальная оптическая колонка подвижная по осям X, Z с измерительными датчиками с цветной или черно-белой видеокамерой.
Органы управления и настройки размещены на джойстике. Персональный компьютер с устройствами отображения информации размещаются на отдельном столе.
Модификации комплексов в серии отличаются:
- конструктивными особенностями и размерами основания;
- диапазонами и дискретностью перемещений столиков;
- наличием или отсутствием системы лазерной фокусировки;
- типом объективов разного увеличения и коэффициентом трансфокации;
- типом осветителей и источников света;
- возможностью подключения контактного датчика;
- габаритными размерами и массой.
Комплексы серии iNexiv VMA могут иметь объективы с кратностью 1х и 1,5х, имеют автоматическую фокусировку и могут оснащаться автоматической системой лазерной фокусировки. Комплексы серии iNexiv VMA предусматривает возможность установки датчиков TP20 или TP200 для выполнения контактных измерений.
Комплексы серии Nexiv VMR оснащаются оптическими головками Type1, Type 2, Type 3, Type 120X и Type LU, в которых предусмотрена возможность установки объективов с увеличением от 1х до 150х. Все модификации комплексов серии Nxiv VMR имеют лазерный автофокус, за исключением модификации с оптической головкой Type LU, в которой реализована простая автофокусировка. Модификации Nexiv VMR-K3040ZC оснащается конфокальными объективами с различным увеличением 1,5х, 3х, 7,5х, а также может быть оснащена системой лазерной фокусировки.
Комплексы серии Nexiv VMZ-R оснащаются оптическими головками: Type1, Type 2, Type 3, Type 4, Type TZ и Type А. Все модификации комплексов серии Nexiv VMZ-R, за исключением модификации с оптической головкой Type A, имеют лазерный автофокус. В модификациях с оптической головкой Type A реализована простая автофокусировка и опционально возможна установка системы лазерного автофокуса.
Комплексы серии Nexiv VMZ-К оснащаются конфокальными объективами с различным увеличением 3х, 7,5х, 15х, 30х. Модификации комплексов серии Nexiv VMZ-К оснащены системой лазерной автофокусировки.
Внешний вид комплексов представлен на рисунках 1, 2, 3, 4.
Рисунок 1 - Внешний вид комплексов серии iNexiv УМА
Рисунок 2 - Внешний вид комплексов серии Nexiv VMR
Рисунок 3 - Внешний вид комплексов серии Nexiv VMZ-R
Рисунок 4 - Внешний вид комплексов серии Nexiv VMZ-K
Программное обеспечение
Для работы с комплексами используется ряд прикладного программного обеспечения (далее - ПО), которое устанавливается в персональный компьютер и обеспечивает управление, передачу и обработку измерительных данных.
ПО «Automeasure VMA» предназначено для работы с комплексами серии iNexiv VMA.
ПО «Automeasure VMA TP» предназначено для работы с комплексами серии iNexiv VMA с контактным датчиком TP20 или TP200 и выполнения измерений через видеосенсор и контактный датчик.
ПО «CMM-Manager» предназначено для работы с комплексами серии iNexiv VMA с контактным датчиком TP20 или TP200 выполнения измерений только через контактный датчик.
ПО «Automeasure VMR» предназначено для работы с комплексами серии iNexiv VMR.
ПО «Classic» является стандартным ПО для работы с комплексами серии iNexiv VMZ-R; имеет стандартное расположение инструментов на рабочем столе.
ПО «Automeasure VMZ-R» является расширенной версией ПО «Classic»; предназначено для работы с комплексами серии iNexiv VMZ-R; имеет возможность создавать собственный рабочий стол под нужды оператора.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблицах 1 и 2.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационное наименование ПО |
Automeasure VMA |
Automeasure VMA TP |
Automeasure VMR |
|
Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже |
3.000 |
3.000 |
6.000 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
f1116ca7cb6aa 45592e7869224 399f14 |
4eb02d89b1fabe1 05ead8235a55897 d6 |
0a2ec9d20531fb5 f9fb8664807a25c 80 |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
MD5 |
MD5 |
Таблица 2 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационное наименование ПО |
Automeasure VMZ-R |
Classic |
CMM-Manager |
|
Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже |
10.5.000 |
1.4.000 |
3.5.000 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
c0d813252075b 9fe0546e93916 42dce1 |
cd9cad62814d749 0a5ecd11931e573 24 |
59a4279ea862c00 11583534cfcff1e1 8 |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
MD5 |
MD5 |
Защита программного обеспечения и измеренных данных от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Технические характеристики
Таблица 3 - Метрологические характеристики комплексов серии iNexiv VMA
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||||
|
Модификаця |
VMA-2520V |
VMA-2520 |
VMA-4540V |
VMA-4540 |
VMA-6555V |
VMA-6555 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 250 от 0 до 200 от 0 до 200 |
от 0 до 250 от 0 до 200 от 0 до 200 |
от 0 до 450 от 0 до 400 от 0 до 200 |
от 0 до 450 от 0 до 400 от 0 до 200 |
от 0 до 650 от 0 до 550 от 0 до 200 |
от 0 до 650 от 0 до 550 от 0 до 200 |
Продолжение таблицы 3
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||||
|
Модификаця |
VMA-2520V |
VMA-2520 |
VMA-4540V |
VMA-4540 |
VMA-6555V |
VMA-6555 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании контактного датчика TP20, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
- |
от 0 до 200 от 0 до 200 от 0 до 166 |
- |
от 0 до 450 от 0 до 400 от 0 до 166 |
- |
от 0 до 650 от 0 до 550 от 0 до 166 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании контактного датчика TP200, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
- |
от 0 до 200 от 0 до 200 от 0 до 170 |
- |
от 0 до 450 от 0 до 400 от 0 до 170 |
- |
от 0 до 650 от 0 до 550 от 0 до 170 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, по осям X и Y, мкм |
±(2+ 8L/1000) |
±(2+ 8L/1000) |
±(2+ 6L/1000) |
±(2+ 6L/1000) |
±(2+ 6L/1000) |
±(2+ 6L/1000) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(3+L/50) |
±(3+L/50) |
±(3 +L/100) |
±(3 +L/100) |
±(3 +L/100) |
±(3 +L/100) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости осей X-Y, мкм |
±(3+ 8L/1000) |
±(3+ 8L/1000) г |
± (3+ 6L/1000) де L- измеряе |
± (3+ 6L/1000) ая длина, м |
± (3+ 6L/1000) м |
± (3+ 6L/1000) |
|
Дискретность отсчета линейных измерений, мкм |
0,1 | |||||
Таблица 4 - Основные технические характеристики комплексов серии iNexiv VMA
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||||
|
Модификаця |
VMA-2520V |
VMA-2520 |
VMA-4540V |
VMA-4540 |
VMA-6555V |
VMA-6555 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение пере менного тока, В - частота перемен ного тока, Гц |
220±22 50/60 | |||||
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
150 | |||||
|
Увеличение объективов, крат |
1,0 / 1,5 | |||||
|
Диапазон оптического увеличения, крат |
от 0,35 до 3,50 / от 0,52 до 5,20 | |||||
|
Видеоувеличение, крат |
36 | |||||
|
Г абаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
650 700 1557 |
650 700 1557 |
1000 1340 1553 |
1000 1340 1553 |
1200 1640 1553 |
1200 1640 1553 |
|
Масса, кг, не более |
110 |
110 |
500 |
500 |
665 |
665 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ° С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа |
от плюс 10 до плюс 35 70 от 96 до 104 | |||||
|
Средний срок службы, лет Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10 10000 | |||||
Таблица 5 - Метрологические характеристики комплексов серии Nexiv VMR
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||
|
Модификация |
VMR-H3030 |
VMR-1515 |
VMR-10080 |
VMR-12072 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании стандартных модулей увеличения и модуля максимального увеличения c основным объективом, мм - по оси X |
от 0 до 300 |
от 0 до 150 |
от 0 до 1000 |
от 0 до 1200 |
|
- по оси Y |
от 0 до 300 |
от 0 до 150 |
от 0 до 800 |
от 0 до 720 |
|
- по оси Z |
от 0 до 150 |
от 0 до 150 |
от 0 до 150 |
от 0 до 150 |
Продолжение таблицы 5
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||
|
Модификация |
VMR-H3030 |
VMR-1515 |
VMR-10080 |
VMR-12072 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании модуля максимального увеличения с дополнительным объективом, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 250 от 0 до 300 от 0 до 150 |
от 0 до 100 от 0 до 150 от 0 до 150 |
от 0 до 950 от 0 до 800 от 0 до 150 |
от 0 до 1150 от 0 до 720 от 0 до 150 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(0,6+ 2L/1000) |
±(1,5+ 4L/1000) |
±(2+ 4L/1000) |
±(2,2+ 4L/1000) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(0,9+L/150) |
±(1,5+ L/150) |
±(1,5+L/150) |
±(1,5+L/150) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости осей X-Y, мкм |
±(0,9+ 3L/1000) |
±(2,5 +4L/1000) |
±(3+ 4L/1000) |
±(3,2+ 4L/1000) |
|
Дискретность отсчета линейных измерений, мкм |
0,01 |
0,1 где L- измеря |
0,1 емая длина, мм |
0,1 |
Таблица 6 - Основные технические характеристики комплексов серии Nexiv VMR
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||
|
Модификация |
VMR-H3030 |
VMR-1515 |
VMR-10080 |
VMR-12072 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
220±22 50/60 | |||
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
150 | |||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 1, крат |
от 0,5 до 7,5 | |||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 2, крат |
от 1 до 15 | |||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 3, крат |
от 2 до 30 | |||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type Z120X, крат |
от 1 до 120 | |||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type LU, крат |
- |
от 1 до 150 | ||
|
Видеоувеличение, крат |
36 | |||
Продолжение таблицы 6
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |||
|
Модификация |
VMR-H3030 |
VMR-1515 |
VMR-10080 |
VMR-12072 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
915 1060 1300 |
512 703 1200 |
1530 2200 1750 |
1734 220 1750 |
|
Масса, кг, не более |
450 |
180 |
1500 |
1600 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа |
от плюс 10 до плюс 35 70 от 96 до 104 | |||
|
Средний срок службы, лет Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10 10000 | |||
Таблица 7 - Метрологические характеристики комплексов Nexiv VMR-K3040CZ
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании стандартных модулей увеличения и модуля максимального увеличения c основным объективом, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 300 от 0 до 400 от 0 до 150 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(1,5+4L/1000) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(1,5+L/150) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости осей X-Y, мкм |
±(2,5+4L/1000) где L- измеряемая длина, мм |
|
Дискретность отсчета линейных измерений, мкм |
0,1 |
Таблица 8 - Основные технические характеристики комплексов Nexiv VMR-K3040CZ
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Параметры электрического питания: | |
|
- напряжение переменного тока, В |
220±22 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, В • А, не более |
150 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- длина |
1150 |
|
- ширина |
1250 |
|
- высота |
1980 |
|
Масса, кг, не более |
900 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающей среды, °С |
от плюс 10 до плюс 35 |
|
- относительная влажность, %, не более |
70 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 96 до 104 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10000 |
Таблица 9 - Метрологические характеристики комплексов серии Nexiv VMZ-R
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||
|
Модификация |
VMZ-R 3020 |
VMZ-R 4540 |
VMZ-R 6555 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании стандартных модулей увеличения и модуля максимального увеличения c основным объективом, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 300 от 0 до 200 от 0 до 200 |
от 0 до 450 от 0 до 400 от 0 до 200 |
от 0 до 650 от 0 до 550 от 0 до 200 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании модуля максимального увеличения с дополнительным объективом, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 250 от 0 до 200 от 0 до 200 |
от 0 до 400 от 0 до 400 от 0 до 200 |
от 0 до 600 от 0 до 550 от 0 до 200 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(1,2+4L/1000) | ||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(1,2+5L/1000) | ||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости осей X-Y, мкм |
±(2+4L/1000) |
где L- измеряе |
:мая длина, мм |
|
Дискретность отсчета линейных измерений, мкм |
0,01 | ||
Таблица 10 - Основные технические характеристики комплексов серии Nexiv VMZ-R
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||
|
Модификация |
VMZ-R 3020 |
VMZ-R 4540 |
VMZ-R 6555 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
220±22 50/60 | ||
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
150 | ||
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
700 730 1795 |
1000 1340 1820 |
1200 1640 1820 |
|
Масса, кг, не более |
245 |
500 |
665 |
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 1, крат |
от 0,5 до 7,5 | ||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 2, крат |
от 1 до 15 | ||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 3, крат |
от 2 до 30 | ||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type 4, крат |
от 4 до 60 | ||
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type TZ, крат |
от 1 до 120 | ||
Продолжение таблицы 10
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Модификация |
VMZ-R 3020 VMZ-R 4540 VMZ-R 6555 |
|
Диапазон оптического увеличения при использовании оптической головки Type A, крат |
от 0,35 до 3,50 |
|
Видеоувеличение, крат |
36 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, не более, % - атмосферное давление, кПа |
от плюс 10 до плюс 35 70 от 96 до 104 |
|
Средний срок службы, лет Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10 10000 |
Таблица 11 - Метрологические характеристики комплексов серии Nexiv VMZ-K
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Модификация |
VMZ-K6555 |
|
Диапазон измерений линейных размеров при использовании стандартных модулей увеличения и модуля максимального увеличения c основным объективом, мм - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 650 от 0 до 550 от 0 до 150 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм |
±(1,5 +2,5L/1000) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
±(1+L/1000) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости осей X-Y, мкм |
±(2,5 +2,5L/1000) где L- измеряемая длина, мм |
|
Дискретность отсчета линейных измерений, мкм |
0,01 |
Таблица 12 - Основные технические характеристики комплексов серии Nexiv VMZ-K
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Модификация |
VMZ-K6555 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
220±22 50/60 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
150 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
1000 1340 1820 |
|
Масса, кг, не более |
850 |
|
Увеличение объективов, крат |
3 / 7,5 / 15 / 30 |
|
Видеоувеличение, крат |
36 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, не более, % - атмосферное давление, кПа |
от плюс 10 до плюс 35 70 от 96 до 104 |
|
Средний срок службы, лет Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10 10000 |
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель комплекса в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 13 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Количество, шт. |
Примечание |
|
1 Видеоизмерительный комплекс |
1 | |
|
2 Контроллер |
1 | |
|
3 Калибровочная пластина |
1 | |
|
4 Система лазерной автофокусировки |
1 |
Поставляется в соответствии с заказом |
|
5 Контактный датчик |
1 |
Поставляется в соответствии с заказом |
|
6 Набор для калибровки контактного датчика |
1 |
Поставляется в соответствии с заказом |
|
7 Джойстик управления |
1 | |
|
8 Персональный компьютер |
1 | |
|
9 Инструкция по эксплуатации |
1 | |
|
10 Методика поверки |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП АПМ 45-15 «Комплексы видеоизмерительные серий iNexiv VMA, Nexiv VMR, Nexiv VMZ-R, Nexiv VMZ-K. Методика поверки», утверждённому ООО «Автопрогресс-М» «29» апреля 2016 г.
Основные средства поверки:
- меры длины штриховые (стеклянные шкалы) 2-го разряда по ГОСТ Р 8.763-2011;
- меры длины концевые плоскопараллельные 4-го разряда по ГОСТ Р 8.763-2011.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
1 ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
2 Техническая документация «NIKON CORPORATION», Япония
Смотрите также
