Системы измерительные для БИС и СБИС J750E (J750Ex)
| Номер в ГРСИ РФ: | 65940-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Teradyne Inc.", США |
Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex (далее по тексту - системы) предназначены для измерений и контроля вольт-амперных параметров больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 65940-16 |
| Наименование | Системы измерительные для БИС и СБИС |
| Модель | J750E (J750Ex) |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | на 5 шт. с зав.№ 1241E3561, 1334E3654, 1441E3819, J750IV15001, J750IV15002 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Teradyne Inc.", США
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 9 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 9 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 65940-16: Описание типа СИ | Скачать | 205.8 КБ | |
| 65940-16: Методика поверки | Скачать | 1.5 MБ |
Описание типа
Назначение
Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex (далее по тексту - системы) предназначены для измерений и контроля вольт-амперных параметров больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).
Описание
Принцип действия систем основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую БИС (СБИС) подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код и производится его сравнение с ожидаемыми данными с отображением результатов контроля.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров БИС (СБИС) в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 200 МГц для системы J750Ex и 100 МГц для системы J750E. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 64 Мбит векторов в линейном режиме для системы J750Ex и 16 Мбит для системы J750E. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется четырьмя временными метками на драйвер. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяется одним стробирующим импульсом или двумя стробирующими импульсами в режиме окна. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PPMU на каждом канале. Параметры источника-измерителя PPMU задаются независимо по каждому каналу. Также используется общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном модуле и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DPS с 8-ю каналами на каждой плате.
Конструктивно система состоит из:
- измерительного головного блока, включающего в себя: инструментальное шасси, печатные платы (измерительные модули), источники питания постоянного тока, систему охлаждения, вакуумную систему прижима, систему входного питания по переменному току и блок игольчатых пробников;
- управляющий ПЭВМ;
- трансформаторного блока;
- дополнительных принадлежностей для самотестирования и калибровки.
На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
Системы имеют два варианта исполнения цифровых канальных модулей:
- на J750E устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100, максимальное количество 8 шт.;
- на J750Ex устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100 или 64-х канальный модуль HSD200, максимальное количество 8 шт.
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В нешний вид системы приведен на рисунке 1.
Внешний вид измерительного головного блока с указанием мест защиты от несанкционированного доступа в виде пломбировки (а), нанесения знака утверждение типа (б) и знака поверки (в) приведены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид системы
Рисунок 2 - Измерительный головной блок
Программное обеспечение
Метрологически значимая часть программного обеспечения (ПО) систем представляет собой специализированное ПО «IG-XL, J750Maint».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |||
|
Идентификационное наименование ПО |
J750Maint.exe |
IG-XL.exe |
J750Maint.exe |
IG-XL.exe |
|
Номер версии ПО (идентификационны й номер) ПО |
v. 7.40.03 |
v. 3.40.18 |
v. 7.60.50 |
v. 3.50.50 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
92499c608f68eb e1936ccff77813 cfdd |
8893aec7d283706 291040f7a695827 98 |
a563347d95518 0fdca9a5495417 bee0e |
4081c77323a3 1b1dd6473377 bc28a3f3 |
Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню защиты «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
приведены в таблице 2.
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Частота опорного сигнала, МГц |
100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения частоты опорного сигнала, МГц |
±0,01 |
|
Диапазон воспроизведения напряжения низкого уровня VIL выходных сигналов, В: - для канального модуля HSD100 - для канального модуля HSD200 |
от -1 до +6 от -1 до +6,5 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон воспроизведения напряжения высокого уровня VIH выходных сигналов, В: - для канального модуля HSD100 - для канального модуля HSD200 |
от 0 до +7,1 от -1 до +6,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения низкого и высокого уровней VIL и VIH выходных сигналов (для HSD100 и HSD200), мВ |
±15 |
|
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU, В: - для канального модуля HSD100 - для канального модуля HSD200 |
от -2 до +7 от -1,5 до +6,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU (для HSD100, HSD200), мВ |
±(1,6-10’3-U+14 мВ), где U - воспроизводимое напряжение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU (для HSD100, HSD200), мВ |
±(4,340-3/U+18,0 мВ), где U - измеряемое напряжение |
|
Пределы воспроизведения силы постоянного тока параметрического устройства PPMU, А: для канального модуля HSD100 для канального модуля HSD200 |
±20040-6; ±240-3 ±20М0-6; ±200Ч0-6; ±2М0-3; ±5040-3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА: на пределе ±2 мА на пределе ±200 мкА |
±(2,540-34+17,0 мкА) ±(2,0-10’3-I+1,7 мкА), где I - воспроизводимое значение силы тока |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА): - на пределе ±50 мА - на пределе ±2 мА - на пределе ±200 мкА - на пределе ±20 мкА |
±(6^10-3<I+400 мкА) ±(1М0-3М+14 мкА) ±(1,0-10’3-I+1,4 мкА) ±(U10-3M+140 нА), где I - воспроизводимое значение силы тока |
|
Пределы измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU, А: - для канального модуля HSD100 - для канального модуля HSD200 |
±2М0-3; ±200Ч0-6; ±20М0-6; ±2М0-6; ±20040-9 ±50М0-3; ±2М0-3; ±200Ч0-6; ±20М0-6; ±240-6 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА (нА): - на пределе ±2 мА - на пределе ±200 мкА - на пределе ±20 мкА - на пределе ±2 мкА - на пределе ±200 нА |
±(5,8-10’3-I+16,0 мкА) ±(5,2^ 10-34+8 мкА) ±(5,U10-3M+0,16 мкА) ±(1040-34+40 нА) ±(1440’34+8 нА), где I - измеряемое значение силы тока |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА): - на пределе ±50 мА - на пределе ±2 мА - на пределе ±200 мкА - на пределе ±20 мкА - на пределе ±2 мкА |
±(6,0М0-3М +400 мкА) ±(1,0М0-3М+14 мкА) ±(1,040’34+1,4 мкА) ±(1,0М0-3М+140 нА) ±(1,040’34+28 нА), где I - измеряемое значение силы тока |
|
Пределы воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), В |
±2; ±5; ±10; ±24 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мВ: - на пределе ±2 В - на пределе ±5 В - на пределе ±10 В - на пределе ±24 В |
±(1-10’3-U+1,5 мВ) ±(1-10’3-U+3,0 мВ) ±(1-10’3-U+8,0 мВ) ±(1-10’3-U+18,0 мВ), где U - воспроизводимое значение напряжения постоянного тока |
|
Пределы воспроизведения силы постоянного тока параметрического устройства BPMU (для HSD100, HSD200), А |
±20040-6; ±2М0-3; ±20М0-3; ±20040-3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мкА: - на пределе ±200 мкА - на пределе ±2 мА - на пределе ±20 мА - на пределе ±200 мА |
±(1,040-34+0,25 мкА) ±(1,040’34+1,6 мкА) ±(1М0-3М+16 мкА) ±(140’34+160 мкА), где I - воспроизводимое значение силы тока |
|
Пределы измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU: |
±2М0-6; ±20М0-6; ±20040-6; ±2М0-3; ±20М0-3; ±20040-3 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), нА (мкА): - на пределе ±2 мкА - на пределе ±20 мкА - на пределе ±200 мкА - на пределе ±2 мА - на пределе ±20 мА - на пределе ±200 мА |
±(5Н0-3П+110 нА) ±(2-10’3-I+120 нА) ±(2,040-4+0,3 мкА) ±(1-10’3-I+2 мкА) ±(140-34+20 мкА) ±(1-10’3-I+200 мкА), где I - измеряемое значение силы тока |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) систем, мм, не более: - измерительный головной блок - трансформаторный блок - инженерная тележка |
830х690х740 800x540x1120 940х1120х910 |
|
Масса систем, кг, не более: - измерительный головной блок - трансформаторный блок - инженерная тележка |
250 227 55 |
|
Параметры электропитания: - 4-х проводная схема подключения - частота переменного тока, Гц - напряжение в сети переменного тока, В |
3 фазы+земля 50±2 380±19 |
|
Потребляемая мощность систем, кВ^А, не более |
4,36 |
|
Рабочие условия эксплуатации систем: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа |
от +10 до +25 80 от 84 до 107 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки приведен в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Кол-во, шт. |
|
Измерительный головной блок |
1 |
|
Трансформаторный блок |
1 |
|
Инженерная тележка |
1 |
|
Управляющий ПЭВМ |
1 |
|
Специальное программное обеспечение СПО «IG-XL, J750Maint» |
1 |
|
Эксплуатационная документация |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 65940-16 «Инструкция. Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex фирмы «Teradyne Inc.», США. Методика поверки», утвержденному начальником ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России 31.08.2016 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458А (рег. № 25900-03);
- частотомер электронно-счетный 53181A (рег. № 26211-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус головного измерительного блока в виде наклейки и в свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия».
ГОСТ 8.027-2001 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы».
ГОСТ 8.022-91 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 140-16 - 30 А».
Смотрите также
