65940-16: J750E (J750Ex) Системы измерительные для БИС и СБИС - Производители, поставщики и поверители

Системы измерительные для БИС и СБИС J750E (J750Ex)

Номер в ГРСИ РФ: 65940-16
Производитель / заявитель: Фирма "Teradyne Inc.", США
Скачать
65940-16: Описание типа СИ Скачать 205.8 КБ
65940-16: Методика поверки Скачать 1.5 MБ
Нет данных о поставщике
Системы измерительные для БИС и СБИС J750E (J750Ex) поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex (далее по тексту - системы) предназначены для измерений и контроля вольт-амперных параметров больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 65940-16
Наименование Системы измерительные для БИС и СБИС
Модель J750E (J750Ex)
Срок свидетельства (Или заводской номер) на 5 шт. с зав.№ 1241E3561, 1334E3654, 1441E3819, J750IV15001, J750IV15002
Производитель / Заявитель

Фирма "Teradyne Inc.", США

Поверка

Зарегистрировано поверок 13
Найдено поверителей 2
Успешных поверок (СИ пригодно) 13 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

65940-16: Описание типа СИ Скачать 205.8 КБ
65940-16: Методика поверки Скачать 1.5 MБ

Описание типа

Назначение

Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex (далее по тексту - системы) предназначены для измерений и контроля вольт-амперных параметров больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).

Описание

Принцип действия систем основан на методах функционального и параметрического контроля.

Для проведения функционального контроля на измеряемую БИС (СБИС) подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код и производится его сравнение с ожидаемыми данными с отображением результатов контроля.

В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров БИС (СБИС) в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 200 МГц для системы J750Ex и 100 МГц для системы J750E. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 64 Мбит векторов в линейном режиме для системы J750Ex и 16 Мбит для системы J750E. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется четырьмя временными метками на драйвер. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.

Временные интервалы контроля уровней напряжения определяется одним стробирующим импульсом или двумя стробирующими импульсами в режиме окна. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу.

В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PPMU на каждом канале. Параметры источника-измерителя PPMU задаются независимо по каждому каналу. Также используется общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном модуле и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).

Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DPS с 8-ю каналами на каждой плате.

Конструктивно система состоит из:

- измерительного головного блока, включающего в себя: инструментальное шасси, печатные платы (измерительные модули), источники питания постоянного тока, систему охлаждения, вакуумную систему прижима, систему входного питания по переменному току и блок игольчатых пробников;

- управляющий ПЭВМ;

- трансформаторного блока;

- дополнительных принадлежностей для самотестирования и калибровки.

На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.

Системы имеют два варианта исполнения цифровых канальных модулей:

- на J750E устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100, максимальное количество 8 шт.;

- на J750Ex устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100 или 64-х канальный модуль HSD200, максимальное количество 8 шт.

Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.

В нешний вид системы приведен на рисунке 1.

Внешний вид измерительного головного блока с указанием мест защиты от несанкционированного доступа в виде пломбировки (а), нанесения знака утверждение типа (б) и знака поверки (в) приведены на рисунке 2.

Рисунок 1 - Общий вид системы

Рисунок 2 - Измерительный головной блок

Программное обеспечение

Метрологически значимая часть программного обеспечения (ПО) систем представляет собой специализированное ПО «IG-XL, J750Maint».

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

J750Maint.exe

IG-XL.exe

J750Maint.exe

IG-XL.exe

Номер версии ПО (идентификационны й номер) ПО

v. 7.40.03

v. 3.40.18

v. 7.60.50

v. 3.50.50

Цифровой идентификатор ПО

92499c608f68eb e1936ccff77813 cfdd

8893aec7d283706 291040f7a695827 98

a563347d95518 0fdca9a5495417 bee0e

4081c77323a3 1b1dd6473377 bc28a3f3

Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню защиты «высокий» по Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

приведены в таблице 2.

Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Частота опорного сигнала, МГц

100

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения частоты опорного сигнала, МГц

±0,01

Диапазон воспроизведения напряжения низкого уровня VIL выходных сигналов, В:

- для канального модуля HSD100

- для канального модуля HSD200

от -1 до +6 от -1 до +6,5

Наименование характеристики

Значение

Диапазон воспроизведения напряжения высокого уровня VIH выходных сигналов, В:

- для канального модуля HSD100

- для канального модуля HSD200

от 0 до +7,1 от -1 до +6,5

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения напряжения низкого и высокого уровней VIL и VIH выходных сигналов (для HSD100 и HSD200), мВ

±15

Диапазон воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU, В:

- для канального модуля HSD100

- для канального модуля HSD200

от -2 до +7 от -1,5 до +6,5

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения     напряжения     постоянного     тока

параметрического источника-измерителя PPMU (для HSD100, HSD200), мВ

±(1,6-10’3-U+14 мВ), где U - воспроизводимое напряжение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU

(для HSD100, HSD200), мВ

±(4,340-3/U+18,0 мВ), где U - измеряемое напряжение

Пределы воспроизведения силы постоянного тока параметрического устройства PPMU, А:

для канального модуля HSD100

для канального модуля HSD200

±20040-6; ±240-3 ±20М0-6; ±200Ч0-6; ±2М0-3; ±5040-3

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА:

на пределе ±2 мА

на пределе ±200 мкА

±(2,540-34+17,0 мкА) ±(2,0-10’3-I+1,7 мкА), где I - воспроизводимое значение силы тока

Пределы     допускаемой     абсолютной     погрешности

воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА):

- на пределе ±50 мА

- на пределе ±2 мА

- на пределе ±200 мкА

- на пределе ±20 мкА

±(6^10-3<I+400 мкА) ±(1М0-3М+14 мкА)

±(1,0-10’3-I+1,4 мкА) ±(U10-3M+140 нА), где I - воспроизводимое значение силы тока

Пределы измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU, А:

- для канального модуля HSD100

- для канального модуля HSD200

±2М0-3; ±200Ч0-6; ±20М0-6;

±2М0-6; ±20040-9

±50М0-3; ±2М0-3; ±200Ч0-6;

±20М0-6; ±240-6

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА (нА):

- на пределе ±2 мА

- на пределе ±200 мкА

- на пределе ±20 мкА

- на пределе ±2 мкА

- на пределе ±200 нА

±(5,8-10’3-I+16,0 мкА) ±(5,2^ 10-34+8 мкА) ±(5,U10-3M+0,16 мкА) ±(1040-34+40 нА) ±(1440’34+8 нА), где I - измеряемое значение силы тока

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА):

- на пределе ±50 мА

- на пределе ±2 мА

- на пределе ±200 мкА

- на пределе ±20 мкА

- на пределе ±2 мкА

±(6,0М0-3М +400 мкА) ±(1,0М0-3М+14 мкА) ±(1,040’34+1,4 мкА) ±(1,0М0-3М+140 нА) ±(1,040’34+28 нА), где I - измеряемое

значение силы тока

Пределы воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), В

±2; ±5; ±10; ±24

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мВ:

- на пределе ±2 В

- на пределе ±5 В

- на пределе ±10 В

- на пределе ±24 В

±(1-10’3-U+1,5 мВ)

±(1-10’3-U+3,0 мВ)

±(1-10’3-U+8,0 мВ) ±(1-10’3-U+18,0 мВ), где U - воспроизводимое значение напряжения постоянного тока

Пределы   воспроизведения   силы   постоянного   тока

параметрического устройства BPMU (для HSD100, HSD200), А

±20040-6; ±2М0-3; ±20М0-3; ±20040-3

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности

воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мкА:

- на пределе ±200 мкА

- на пределе ±2 мА

- на пределе ±20 мА

- на пределе ±200 мА

±(1,040-34+0,25 мкА) ±(1,040’34+1,6 мкА) ±(1М0-3М+16 мкА) ±(140’34+160 мкА), где I - воспроизводимое

значение силы тока

Пределы измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU:

±2М0-6; ±20М0-6; ±20040-6; ±2М0-3; ±20М0-3; ±20040-3

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), нА (мкА):

- на пределе ±2 мкА

- на пределе ±20 мкА

- на пределе ±200 мкА

- на пределе ±2 мА

- на пределе ±20 мА

- на пределе ±200 мА

±(5Н0-3П+110 нА) ±(2-10’3-I+120 нА) ±(2,040-4+0,3 мкА)

±(1-10’3-I+2 мкА) ±(140-34+20 мкА) ±(1-10’3-I+200 мкА), где I - измеряемое значение силы тока

Габаритные размеры (длина х ширина х высота) систем, мм, не более:

- измерительный головной блок

- трансформаторный блок

- инженерная тележка

830х690х740 800x540x1120 940х1120х910

Масса систем, кг, не более:

- измерительный головной блок

- трансформаторный блок

- инженерная тележка

250

227 55

Параметры электропитания:

- 4-х проводная схема подключения

- частота переменного тока, Гц

- напряжение в сети переменного тока, В

3 фазы+земля 50±2 380±19

Потребляемая мощность систем, кВ^А, не более

4,36

Рабочие условия эксплуатации систем:

- температура окружающего воздуха, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

- атмосферное давление, кПа

от +10 до +25

80 от 84 до 107

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки приведен в таблице 3.

Таблица 3 - Комплектность средства измерений

Наименование

Кол-во, шт.

Измерительный головной блок

1

Трансформаторный блок

1

Инженерная тележка

1

Управляющий ПЭВМ

1

Специальное программное обеспечение СПО «IG-XL, J750Maint»

1

Эксплуатационная документация

1

Методика поверки

1

Поверка

осуществляется по документу МП 65940-16 «Инструкция. Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex фирмы «Teradyne Inc.», США. Методика поверки», утвержденному начальником ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России 31.08.2016 г.

Основные средства поверки:

- мультиметр 3458А (рег. № 25900-03);

- частотомер электронно-счетный 53181A (рег. № 26211-03).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на корпус головного измерительного блока в виде наклейки и в свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия».

ГОСТ 8.027-2001 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы».

ГОСТ 8.022-91 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 140-16 - 30 А».

Смотрите также

65939-16
ВС-3000 Plus Анализаторы гематологические автоматические
Фирма "Shenzhen Mindray Bio-Medical Electronics Co., Ltd.", Китай
Анализаторы гематологические автоматические ВС-3000 Plus (далее - анализатор) предназначены для измерений счетной концентрации лейкоцитов и эритроцитов, а также массовой концентрации гемоглобина в крови.
65938-16
РФ60x Измерители лазерные триангуляционные
ООО "РИФТЭК", Беларусь, г.Минск
Измерители лазерные триангуляционные РФ60х (далее - измерители) предназначены для бесконтактного измерения перемещений технологических объектов по одной координате вдоль оси, задаваемой источником лазерного излучения на предприятиях и в организациях...
65937-16
УДВН-1лм Влагомеры нефти мобильные
ООО "НТП "Годсэнд-Сервис", г.Фрязино
Влагомеры нефти мобильные УДВН-1 лм (в дальнейшем - влагомеры) предназначены для автоматического измерения объемного влагосодержания. Измеряемая среда нефть и нефтепродукты, сдаваемые нефтегазодобывающими предприятиями, транспортируемые потребителям...
65936-16
УДВН-1л Влагомеры нефти лабораторные
ООО "НТП "Годсэнд-Сервис", г.Фрязино
Влагомеры нефти лабораторные УДВН-1л (в дальнейшем - влагомеры) предназначены для автоматического измерения объемного влагосодержания. Измеряемая среда нефть и нефтепродукты, сдаваемые нефтегазодобывающими предприятиями, транспортируемые потребителям...
65935-16
УСО-МТР-1-6И-8-8 Устройства сопряжения с объектом
ООО "НПФ "Механотроника РА", г.С.-Петербург
Устройства сопряжения с объектом УСО-МТР-1-6И-8-8 (далее - устройства) предназначены для измерения электрических величин (напряжения, силы тока, частоты в однофазных и трехфазных цепях переменного тока, активной, реактивной и полной мощности), а так...