Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120

Номер в ГРСИ РФ: 66974-17
Категория: Профилометры
Производитель / заявитель: Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.

Скачать

66974-17: Описание типа СИ Скачать 201.7 КБ
66974-17: Методика поверки МП 038.М44-16 Скачать 9.9 MБ

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 66974-17
Наименование Профилометр стилусный контактный
Модель AlphaStep D-120
Срок свидетельства (Или заводской номер) зав.№ 7321064
Производитель / Заявитель

Фирма "KLA-TENCOR", США

Назначение

Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.

Описание

Принцип действия профилометра основан на измерении профиля поверхности контактно-механическим способом. Основным чувствительным элементом профилометра является игла с наконечником конической формы. Измеряемая поверхность располагается горизонтально. На неё под некоторым давлением опускается игла вплоть до механического соприкосновения. Процесс измерения состоит в перемещении иглы в горизонтальном направлении. При этом игла, постоянно находясь в контакте с измеряемой поверхностью и следуя за её рельефом, перемещается и в вертикальном направлении. Это перемещение фиксируется с помощью высокочувствительного датчика и записывается в память компьютера.

Профилометр состоит из компьютера, сервопривода, стилуса, поворотной головки, системы визуализации, вакуумного держателя образца.

Профилометр осуществляет трехмерный анализ поверхностей с последующей визуализацией объекта.

В конструкции профилометра отсутствует пломбировка от несанкционированного

доступа.

Общий вид профилометра представлен на рисунке 1.

Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.

Рисунок 2 - Место нанесения знака поверки

Программное обеспечение

Профилометр поставляется с установленным управляющим программным обеспечением (ПО), прошедшим полный цикл испытаний вместе с прибором. В комплект поставки профилометра входит резервная копия комплекта ПО на компакт - диске.

Профилометр имеет автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.

Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

AlphaStep Development Series

Номер версии (идентификационный номер) ПО

2.1.0.4 и выше

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), нм

от 21,4 до 1 800,0

Диапазон показаний линейных размеров (ось Z), нм

от 1 до 500 000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), %

±15

Диапазон измерений шероховатости (параметр Ra), мкм

от 0,005 до 0,063

Диапазон показаний шероховатости (параметр Ra), мкм

от 0,005 до 1,800

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости (параметр Ra), %

±10

Наименование характеристики

Значение

Вертикальное разрешение для диапазона 2,5 мкм, м, не более

10-10

Вертикальное разрешение для диапазона 1,2 мм, м

10-7

Максимальное количество точек данных на один профиль

120000

Диапазон перемещений предметного столика, мм

150х178

Скорость сканирования, мм/с

от 0,01 до 0,40

Точность позиционирования поверхности образца по осям

X-Y, мкм, не более

0,5

Максимальный диаметр образцов, мм

200

Максимальная высота образцов, мм

30

Максимальная длина сканирования, мм

55

Габаритные размеры, мм

- высота

330

- ширина

381

- длина

610

Масса прибора, кг, не более

25

Параметры электрического питания:

- напряжение переменного тока, В

220±22

- частота переменного тока, Гц

50,0±0,5

Потребляемая мощность, кВт, не более

0,5

Рабочая температура, °С

от +16 до +26

Температура хранения, °С

от -18 до +45

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса профилометра методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование и обозначение

Количество

Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120, зав. № 7321064

1 шт.

Компьютер Intel core i3-2120, Win 7 Pro SP1

1 шт.

Монитор Dell P170S, зав. № CN-059DJP-74445-189-AU9L

1 шт.

Виброизоляционный стол TMC vibration control

1 шт.

Г азовый шкаф с баллоном с газом

1 шт.

Калибровочный стандарт высоты ступенек (1 мкм)

1 шт.

Калибровочный стандарт высоты ступенек (50 мкм)

1 шт.

Вакуумная помпа KNF Lab laboport

1 шт.

Программное обеспечение AlphaStep D-120 stylus profiler v2.1.0.4

1 диск

Методика поверки МП 038.М44-16

1 экз.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 038.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений. Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 05.10.2016 г.

Основные средства поверки:

1    Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.

Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур: 20; 110 нм. Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур: ±2; ±10 нм.

2    Меры шероховатости ПРО - 10.

Параметры шероховатости Ra: 0,005; 0,008; 0,063 мкм. Пределы допускаемого среднего квадратического отклонения: ±3 %.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на заднюю панель прибора.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Техническая документация KLA-TENCOR, США

Другие Профилометры

66829-17
Арго-600 Профилометры акустические доплеровские
ООО "Центр научно-технических исследований "Элерон", г.Москва
Профилометры акустические доплеровские «Арго-600» (далее - профилометры) предназначены для измерений скорости водного потока, глубины водных объектов и построения профиля донной поверхности.
65060-16
ContourGT-K Профилометры оптические
Компания "Bruker Nano Inc.", США; Компания "Bruker AXS SAS", Франция
Профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.
57850-15
Neox Профилометры оптические
Фирма "Sensofar-Tech, SL", Испания
Профилометры оптические Neox (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
78157-20
130 Профилометры
АО "Завод ПРОТОН", г.Москва
Профилометры модели 130 (далее по тексту - приборы) предназначены для измерений параметров шероховатости профиля с оценкой параметров профиля поверхностей, сечение которых в плоскости измерения представляет прямолинейную или криволинейную поверхность...