Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120
| Номер в ГРСИ РФ: | 66974-17 |
|---|---|
| Категория: | Профилометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "KLA-Tencor Corporation", США |
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 66974-17 |
| Наименование | Профилометр стилусный контактный |
| Модель | AlphaStep D-120 |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 7321064 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-TENCOR", США
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 66974-17: Описание типа СИ | Скачать | 201.7 КБ | |
| 66974-17: Методика поверки МП 038.М44-16 | Скачать | 9.9 MБ |
Описание типа
Назначение
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.
Описание
Принцип действия профилометра основан на измерении профиля поверхности контактно-механическим способом. Основным чувствительным элементом профилометра является игла с наконечником конической формы. Измеряемая поверхность располагается горизонтально. На неё под некоторым давлением опускается игла вплоть до механического соприкосновения. Процесс измерения состоит в перемещении иглы в горизонтальном направлении. При этом игла, постоянно находясь в контакте с измеряемой поверхностью и следуя за её рельефом, перемещается и в вертикальном направлении. Это перемещение фиксируется с помощью высокочувствительного датчика и записывается в память компьютера.
Профилометр состоит из компьютера, сервопривода, стилуса, поворотной головки, системы визуализации, вакуумного держателя образца.
Профилометр осуществляет трехмерный анализ поверхностей с последующей визуализацией объекта.
В конструкции профилометра отсутствует пломбировка от несанкционированного доступа.
Общий вид профилометра представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид профилометра
Рисунок 2 - Место нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Профилометр поставляется с установленным управляющим программным обеспечением (ПО), прошедшим полный цикл испытаний вместе с прибором. В комплект
поставки профилометра входит резервная копия комплекта ПО на компакт - диске.
Профилометр имеет автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
AlphaStep Development Series |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.1.0.4 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), нм |
от 21,4 до 1 800,0 |
|
Диапазон показаний линейных размеров (ось Z), нм |
от 1 до 500 000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), % |
±15 |
|
Диапазон измерений шероховатости (параметр Ra), мкм |
от 0,005 до 0,063 |
|
Диапазон показаний шероховатости (параметр Ra), мкм |
от 0,005 до 1,800 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости (параметр Ra), % |
±10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Вертикальное разрешение для диапазона 2,5 мкм, м, не более |
10-10 |
|
Вертикальное разрешение для диапазона 1,2 мм, м |
10-7 |
|
Максимальное количество точек данных на один профиль |
120000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика, мм |
150х178 |
|
Скорость сканирования, мм/с |
от 0,01 до 0,40 |
|
Точность позиционирования поверхности образца по осям X-Y, мкм, не более |
0,5 |
|
Максимальный диаметр образцов, мм |
200 |
|
Максимальная высота образцов, мм |
30 |
|
Максимальная длина сканирования, мм |
55 |
|
Г абаритные размеры, мм - высота - ширина - длина |
330 381 610 |
|
Масса прибора, кг, не более |
25 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
220±22 50,0±0,5 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
0,5 |
|
Рабочая температура, °С |
от +16 до +26 |
|
Температура хранения, °С |
от -18 до +45 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса профилометра методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование и обозначение |
Количество |
|
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120, зав. № 7321064 |
1 шт. |
|
Компьютер Intel core i3-2120, Win 7 Pro SP1 |
1 шт. |
|
Монитор Dell P170S, зав. № CN-059DJP-74445-189-AU9L |
1 шт. |
|
Виброизоляционный стол TMC vibration control |
1 шт. |
|
Г азовый шкаф с баллоном с газом |
1 шт. |
|
Калибровочный стандарт высоты ступенек (1 мкм) |
1 шт. |
|
Калибровочный стандарт высоты ступенек (50 мкм) |
1 шт. |
|
Вакуумная помпа KNF Lab laboport |
1 шт. |
|
Программное обеспечение AlphaStep D-120 stylus profiler v2.1.0.4 |
1 диск |
|
Методика поверки МП 038.М44-16 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 038.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений. Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 05.10.2016 г.
Основные средства поверки:
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур: 20; 110 нм.
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур: ±2; ±10 нм.
2 Меры шероховатости ПРО - 10.
Параметры шероховатости Ra: 0,005; 0,008; 0,063 мкм. Пределы допускаемого среднего квадратического отклонения: ±3 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на заднюю панель прибора.
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация KLA-TENCOR, США
Другие Профилометры
