Система автоматизированная измерительная Пленка
| Номер в ГРСИ РФ: | 67309-17 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ООО "Автоматизированные системы контроля Экспресс", г.Москва |
Система автоматизированная измерительная Пленка (далее по тексту - система) предназначена для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) пленочных структур, а также для определения толщины прозрачных пленок и слабоабсорбирующих покрытий.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 67309-17 | ||||||
| Наименование | Система автоматизированная измерительная | ||||||
| Модель | Пленка | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | aee16cdc-6e0b-6a47-85d7-4ca327045f8f | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
ООО "Автоматизированные системы контроля Экспресс", РОССИЯ, г.Москва
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (80%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 1 (20 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
67309-17: Описание типа
2017-67309-17.pdf
|
Скачать | 252.1 КБ | |
|
67309-17: Методика поверки
2017-mp67309-17.pdf
|
Скачать | 779.9 КБ |
Описание типа
Назначение
Система автоматизированная измерительная Пленка (далее по тексту - система) предназначена для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) пленочных структур, а также для определения толщины прозрачных пленок и слабоабсорбирующих покрытий.
Описание
Принцип действия системы основан на регистрации изменений параметров света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. Методика подразумевает изменения поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и Дельта. Источником света является гелиево-неоновый лазер (HeNe laser) с круговой поляризацией и фиксированной длиной волны (632,8 нм), с диаметром светового пятна 1 мм.
В состав системы входят:
- оптическая система, состоящая из диска гониометра, излучающего плеча, приёмного плеча, предметного столика с механизмом юстировки по наклону и высоте, автоколлиматора с окуляром и объективом микроскопа;
- контроллер (блок управления);
- компьютер (ПК), работающий на базе Windows, и соединенный с контроллером при помощи кабеля;
- калибровочная эллипсометрическая пластина.
Общий вид системы представлен на рисунке 1.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения
знака поверки представлены на рисунках 2, 3.
2
6
Рисунок 1 - Общий вид системы:
1 - гониометр, 2 - плечо излучения, 3 - плечо регистрации излучения, 4 - автоколлиматор с объективом, 5 - столик приборный, 6 - ПК, 7 - блок управления (контроллер)
Места пломбирования
Рисунок 2 - Блок управления (контроллер) с обозначением мест пломбирования
Рисунок 3 - Внешний вид обратной стороны гониометра с обозначением мест нанесения
маркировки (2) и знака поверки (1)
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в системе осуществляется с помощью специального программного обеспечения СЕ400АДВ. Программное обеспечение служит для настройки системы, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
СЕ400АДВ |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.13 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Метрологические характеристики | |
|
Диапазон измерения величины эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
от 0 до 90 от 0 до 360 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения величин эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
±0,1 ±0,1 |
|
Технические характеристики | |
|
Длина волны лазера HeNe, нм |
632,8 |
|
Диаметр светового пятна, мм |
1 |
|
Угол падения луча света (ручной гониометр), градус |
от 40 до 90, с шагом установки 5 |
|
Диапазон показаний толщины, мкм: - для прозрачных пленок - для слабоабсорбирующих покрытий (полисиликон) |
от 0,001 до 6,000 от 0,01 до 2,00 |
|
Допускаемое отклонение показаний толщины пленок и покрытий (определяется по калибровочным образцам изготовителя), мкм |
±0,1 |
|
Время измерений (в зависимости от режима измерений), мс, не более |
120 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
65 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
от 100 до 240 50/60 |
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Г абаритные размеры, мм, не более - системы - блока управления (контроллера) |
800x550x600 260x320x160 |
|
Масса, кг, не более |
30 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, не более % |
от +20 до +24 80 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Система автоматизированная измерительная Пленка зав. номер 0001 в составе: - гониометр с излучающим и приёмным плечами - источник света (лазер гелиево-неоновый) - приборный столик - встроенная цифровая камера |
1 |
|
Блок управления (контроллер) |
1 |
|
Калибровочная эллипсометрическая пластина |
1 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 017.М44-17 «Система автоматизированная измерительная
Пленка. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «27» марта 2017 г.
Основные средства поверки:
1 Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики
|
Тип и серийный номер пластины |
Значение эллипсометрических углов на длине волны 632.8 нм, градус | |
|
Пси |
Дельта | |
|
L118SW-100, №1108-4ECS |
11,60 |
149,52 |
|
L118SW-2000, №1108-21ECS |
29,40 |
274,96 |
Расширенная неопределенность измерений эллипсометрических углов
Пси - 0,05 градусов.
Дельта - 0,08 градусов.
Возможно применение других средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус гониометра из состава системы (место нанесения указано на рисунке 3).
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ).
Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов»
Техническая документация ООО «АСК Экспресс»
Смотрите также
