Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD
| Номер в ГРСИ РФ: | 68090-17 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Teradyne Inc.", США |
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD (далее - стенды) предназначены для измерения вольт-амперных характеристик микросхем с высокой степенью интеграции.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 68090-17 |
| Наименование | Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем |
| Модель | J750Ex-HD |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 20.07.2022 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Teradyne Inc.", США
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 10 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 10 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 68090-17: Описание типа СИ | Скачать | 224 КБ | |
| 68090-17: Методика поверки J750МП-2017 | Скачать | 3.8 MБ |
Описание типа
Назначение
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD (далее - стенды) предназначены для измерения вольт-амперных характеристик микросхем с высокой степенью интеграции.
Описание
Стенды представляют собой автоматизированную многоканальную аппаратуру для функционального и параметрического контроля, который осуществляется путем подачи сигналов напряжения и тока на выводы тестируемой микросхемы и измерения выходных сигналов напряжения и тока, или сравнении выходных сигналов с заданными (ожидаемыми) сигналами. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с выбранной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
В режиме функционального контроля каждый из каналов выполняет измерения параметров микросхемы в определенной тестовой последовательности с заданием параметров амплитуды, положения фронта и спада выходных импульсов. Амплитуда импульса определяется значениями верхнего и нижнего уровней напряжения драйвера, положения фронтов и спадов импульсов задаются временными метками драйверов. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы, в которых задаются верхний и нижний уровни напряжения, и время контроля. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала, регулируемая по силе тока и уровням напряжения переключения полярности тока. Параметры функционального контроля устанавливаются независимо по каждому каналу.
В режиме параметрических измерений используются источники-измерители PPMU, параметры которых задаются независимо по каждому каналу, а также общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном модуле, и измерительные источники питания. На тестируемый объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DPS, HDDPS и HDVIS.
Стенды состоят из измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки охлаждения, и управляющего компьютера. На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
Внешний вид составных частей стендов приведен на рисунках 1, 2.
Рисунок 1 - Общий вид стендов
(а)
(б)
Рисунок 2 - Вид измерительного головного блока
(а) место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
(б) схема пломбировки от несанкционированного доступа
Программное обеспечение
Установленный на компьютере программный продукт IG-XL служит для разработки, отладки и исполнения программ тестирования, выполняет функции управления режимами, обработки и представления измерительной информации. Программа J750Maint предназначена для автоматизированной поверки стендов.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование |
IG-XL |
v. 3.50.50 и выше |
|
Номер версии (идентификационный номер) |
J750Maint |
v. 7.60.50 и выше |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
1 |
2 |
|
ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТ |
ЕЛЬНОСТИ |
|
Максимальная длина тестовой последовательности, Мбит |
64 |
|
Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности, МГц |
400 |
|
Частота опорного сигнала, МГц |
100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности частоты опорного сигнала, МГц |
±0,001 |
ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ)
Диапазоны воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В
|
высокий уровень |
от -1,45 до +6,50 |
|
низкий уровень |
от -1,50 до +6,45 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±7,5 |
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ PPMU
|
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения, В |
от -1,5 до +6,5 |
|
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ |
150 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ |
±5,0 |
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI ______________воспроизведения и измерения силы постоянного тока______________
|
воспроизведение |
измерение | ||
|
Di/ Ri |
AI ±0,14 мкА ±1,4 мкА ±14 мкА ±(0,002-1 + 0,2) мА 1) |
D, / Ri |
AI |
|
±2 мкА / 0,1 нА |
±0,028 мкА | ||
|
±20 мкА / 1 нА |
±20 мкА / 1 нА |
±0,14 мкА | |
|
±200 мкА / 10 нА ±2 мА / 100 нА ±50 мА / 2 мкА |
±200 мкА / 10 нА ±2 мА / 100 нА ±50 мА / 2 мкА |
1,4 мкА ±14 мкА ±(0,002-1 + 0,2) мА 1 ’ | |
Продолжение таблицы 2
|
1 |
2 |
|
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ BPMU | |
Диапазоны DU / разрешение RU и пределы допускаемой абсолютной погрешности AU воспроизведения и измерения постоянного напряжения
|
Du / Ru |
AU |
|
±2 В / 0,0625 мВ |
±(0,001-U + 0,0015) 1) |
|
±5 В / 0,156 мВ |
±(0,001-U + 0,003) 1) |
|
±10 В / 0,312 мВ |
±(0,001 •и + 0,006) 1) |
|
±24 В / 0,937 мВ |
±(0,001 •и + 0,018) 1) |
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока
|
воспроизведение |
измерение | ||
|
Di/ Ri |
AI |
Di/ Ri |
AI |
|
±200 мкА / 6,25 нА |
±(0,001-1 + 0,25) мкА 2 3 |
±2 мкА / 62,5 пА ±20 мкА / 625 пА ±200 мкА / 6,25 нА |
±(0,005Ч + 0,11) мкА 3 ±(0,002Ч + 0,12) мкА 3 ±(0,002Ч + 0,3) мкА 3 |
|
±2 мА / 62,5 нА |
±(0,001 •I + 0,0016) мА 4 5 |
±2 мА / 62,5 нА |
±(0,001*1 + 0,002) мА 4 |
|
±20 мА / 625 нА |
±(0,001-1 + 0,016) мА 4 |
±20 мА / 625 нА |
±(0,001 •I + 0,02) мА 4 |
|
±200 мА / 6,25 мкА |
±(0,001 •I + 0,16) мА 4 |
±200 мА / 6,25 мкА |
±(0,001*1 + 0,2) мА 4 |
_________________________КОМПАРАТОР ________________
Диапазон уровней постоянного напряжения на входах, В от -1,5 до +6,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения, мВ__±7,5___________________
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ DPS
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В от 0 до +10,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ__±(0,001 •U +10) 4)________
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI _____________измерения силы постоянного тока___________
|
Di/ Ri |
AI 6 |
|
от 0 до 50 мкА / 12,2 нА |
±(0,0024 + 0,1) мкА 3 |
|
от 0 до 500 мкА / 122 нА |
±(0,001*1 + 1) мкА 3 |
|
от 0 до 10 мА / 2,44 мкА от 0 до 100 мА / 24,4 мкА от 0 до 1000 мА / 244 мкА |
±(0,001 •I + 0,025) мА 4 ±(0,001 •I+ 0,25) мА 4 ..........................±(-0,"00Y;i""+-2,5)" мА 3..................... |
Продолжение таблицы 2
|
1 |
2 | |||
|
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ HDDPS | ||||
|
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В |
от -2,0 до +11,0 | |||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001 •U + 4) 1) | |||
|
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока | ||||
|
.....................................................................Di/Ri............................................................... ±50 мкА 7 3,82 нА ...............................±500" мкА 7"38,2" "нА.............................. |
AI 2) ±(0,001 •! + 0,1) мкА 3) ........................±(00011 + 0’5) "мкА "3).................. | |||
|
±10 мА 7 763 нА |
±(0,001-1 + 0,01) мА 4) | |||
|
±100 мА 7 7,63 мкА |
±(0,001-1 + 0,1) мА 4) | |||
|
±1000 мА 7 244 мкА |
±(0,001-1 + 2) мА 4) | |||
|
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАН |
ИЯ HDVIS | |||
|
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В |
от -10,0 до +10,0 | |||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001 •и + 5) 1) | |||
|
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока | ||||
|
Di/ Ri |
AI 2) | |||
|
±5 мкА 7 195,3 пА ±50 мкА 7 1,953 нА ±500 мкА 7 0,5 мкА |
±(0,002-1 + 0,025) мкА 3) ±(0,002-1 + 0,125) мкА 3) ........................±(0002Т+05) мкА "3).................. | |||
|
±5 мА 7 195,3 нА |
±(0,002-1 + 0,005) мА 4) | |||
|
±50 мА 7 1,953 мкА |
±(0,002-1 + 0,05) мА 4) | |||
|
±200 мА 7 7,8125 мкА |
±(0,002-1 + 0,2) мА 4) | |||
|
1) U - числовое значение напряжения в вольтах 2) типовые справочные значения 3) I - числовое значение силы тока в микроамперах 4) I - числовое значение силы тока в миллиамперах | ||||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
1 |
2 |
|
Г абаритные размеры (длина 7 ширина 7 высота), мм | |
|
измерительный головной блок |
830 7 690 /740 |
|
трансформаторный блок |
800 7 540 7 1120 |
|
Масса, кг, не более | |
|
измерительный головной блок |
250 |
|
трансформаторный блок |
227 |
Продолжение таблицы 3
|
1 |
2 |
|
Параметры электропитания (трехфазная сеть) частота сети, Гц напряжение, В |
50±0,5 380±19 |
|
Потребляемая мощность, кВ^А, не более |
15 |
|
Рабочие условия применения | |
|
температура окружающей среды, °С |
от 18 до 28 |
|
относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
|
Электромагнитная совместимость |
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 |
|
Безопасность |
ГОСТ IEC 61010-1-2014 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
приведена в таблице 4.
Таблица 4 - Комплектность стендов
|
Наименование и обозначение |
Кол-во, шт. |
|
Измерительный головной блок |
1 |
|
Трансформаторный блок |
1 |
|
Инженерная тележка |
1 (по заказу) |
|
Поворотный стол |
1 (по заказу) |
|
Управляющий компьютер с периферийными устройствами и установленными программами IG-XL, J750Maint |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки J750MH-2017 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу J750Mn—2017 «ГСИ. Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 30.05.2017 г.
Средства поверки:
- мультиметр Agilent 3458A, регистрационный номер 25900-03;
- частотомер электронно-счетный 53181A, регистрационный номер 26211-03.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки (место нанесения показано на рисунке 2) и/или на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 ^ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования.
ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
Смотрите также
