Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP
| Номер в ГРСИ РФ: | 70239-18 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "MicroSense, LLC", США |
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка) предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия, германий и сапфир.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 70239-18 |
| Наименование | Установка для измерения толщины |
| Модель | UltraMap S100-FP |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 2050/0119-06 |
Производитель / Заявитель
Фирма "MicroSense, LLC", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 4 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 70239-18: Описание типа СИ | Скачать | 259.7 КБ | |
| 70239-18: Методика поверки МП 045.М44-17 | Скачать | 2.8 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка) предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия, германий и сапфир.
Описание
Принцип действия установки основан на двойном зондировании поверхности объекта с верхней и нижней стороны с помощью бесконтактных оптических зондов. Зонды располагаются на подвижном двухкоординатном столе, позиционирование которого осуществляется с помощью встроенного оптического датчика и контролируется линейным сервомотором с контуром обратной связи от датчика. Позиционирование зондов осуществляется с помощью компьютера. Измерения проводится как с нижней, так и с верхней стороны исследуемой пластины, толщина которой вычисляется автоматически в программе «UltraMap». Принцип действия оптических зондов основан на технологии хроматического кодирования глубины вдоль оптической оси зонда, разработанной SigmaTech.
Конструктивно установка состоит из измерительного модуля с оптическим датчиком, верхнего и нижнего оптических зондов, робототехнической системы, воздуховода, переходной платформы со сменными держателями, гранитной платформы, баллона с чистым азотом, компьютера с операционной системой не ниже Windows98, соединительных кабелей.
Результаты измерения передаются на внешний компьютер. Управление установкой осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением «UltraMap», позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Общий вид установки на рисунке 1.
Схема мест пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид установки для измерения толщины UltraMap S100-FP
Место пломбирования
Место нанесения знака поверки
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Управление процессом измерения осуществляется с помощью специального программного обеспечения «UltraMap». Программное обеспечение (ПО) служит для калибровки средства измерения, настройки параметров и проведения измерений, визуализации, анализа, обработки и сохранения полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
UltraMap |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.12.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерения толщины, мкм |
от 20 до 2000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения толщины, мкм |
± 3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диаметр измеряемых образцов, мм |
60, 76, 100 |
|
Габаритные размеры установки, мм, не более - высота |
720 |
|
- ширина |
520 |
|
- длина |
620 |
|
Масса, кг, не более |
100 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока напряжением, В |
от 200 до 250 |
|
частотой, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
2,2 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, °С |
От +18 до +35 |
|
Относительная влажность, %, не более |
80 |
Знак утверждения типа
наносится типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка для измерения толщины «UltraMap S100-FP» в составе: измерительный модуль с оптическим сенсором, верхний и нижний зонды, робототехническая система, гранитная и переходная платформа, воздуховод, комплект соединительных кабелей |
- |
1 шт. |
|
Баллон с чистым азотом |
- |
1 шт. |
|
Компьютер |
- |
1 шт. |
|
CD-диск с программным обеспечением |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 045. М44-17 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 045. М44-17 «ГСИ. Установка для измерения толщины
UltraMap S100-FP. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «26» июня 2017 г.
Основные средства поверки:
Меры длины концевые плоскопараллельные 3 разряда по ГОСТ Р 8.763-2011 (рег.№ 62321-15)
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения длины мер от 0,5 до 100 мм
Допускаемые отклонения длины от номинального значения ±0,20 мкм
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса установки (место нанесения указано на рисунке 2).
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «MicrsoSense LLC-SigmaTech Division», США;
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Смотрите также
