78519-20: КЛ-1 Установка контроля линейных размеров - Производители, поставщики и поверители

Установка контроля линейных размеров КЛ-1

Номер в ГРСИ РФ: 78519-20
Производитель / заявитель: ООО "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС"), г. Мытищи
Скачать
78519-20: Описание типа СИ Скачать 90.9 КБ
78519-20: Методика поверки Скачать 3.1 MБ
Нет данных о поставщике
Установка контроля линейных размеров КЛ-1 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Установка контроля линейных размеров КЛ-1 (далее - установка) предназначена для измерения линейных размеров элементов структур, сформированных на поверхности кремниевых полупроводниковых пластин диаметром 150 мм.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 78519-20
Наименование Установка контроля линейных размеров
Модель КЛ-1
Страна-производитель РОССИЯ
Срок свидетельства (Или заводской номер) зав.№ 001
Производитель / Заявитель

ООО "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС", г.Мытищи

РОССИЯ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 3
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 3 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 22.12.2024

Поверители

Скачать

78519-20: Описание типа СИ Скачать 90.9 КБ
78519-20: Методика поверки Скачать 3.1 MБ

Описание типа

Назначение

Установка контроля линейных размеров КЛ-1 (далее - установка) предназначена для измерения линейных размеров элементов структур, сформированных на поверхности кремниевых полупроводниковых пластин диаметром 150 мм.

Описание

Принцип действия установки основан на сканировании сфокусированным пучком электронов с энергией порядка 1 кэВ участка поверхности исследуемой полупроводниковой пластины, детектировании вторичных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение установки.

Установка представляет собой напольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему. По принципу работы установка представляет собой растровый электронный микроскоп, работающий в области низких ускоряющих напряжений для предотвращения деградации исследуемых полупроводниковых структур. Источником электронов является термополевой катод Шоттки. В электронно-оптической колонне электроны после электронной пушки ускоряются до энергии вплоть до 5 кэВ, фокусируются системами фокусировки и формируют развертку, проходя через отклоняющие катушки. При подходе к полупроводниковой пластине электроны пучка тормозятся электрическим полем, которое создается отрицательным электрическим потенциалом, приложенным к держателю пластины, обеспечивая энергию столкновения электронов пучка с полупроводниковой пластиной порядка 1 кэВ.

Конструктивно установка состоит из основного блока и стойки с управляющим компьютером. В свою очередь, основной блок включает электронно-оптическую систему, формирующую электронный зонд на поверхности полупроводниковой пластины, вакуумную систему, блок электроники и систему автоматической загрузки полупроводниковой пластины из приемной кассеты и ее позиционирования в рабочей камере. Вакуумная система установки включает 5 вакуумных насосов: ионные насосы электронной пушки и электронно-оптической колонны, турбомолекулярный насос рабочей камеры, насос предварительной откачки рабочей камеры и насос шлюзовой камеры. Система автоматической загрузки предназначена для уменьшения вероятности загрязнения полупроводниковых пластин и автоматизации измерений.

Проведение измерений линейных размеров элементов структур производится оператором по полученным изображениям выбранного участка полупроводниковой пластины либо в ручном режиме, либо в автоматическом. Для реализации автоматического режима выбирается предварительная область локализации края элемента структуры.

Общий вид установки контроля линейных размеров КЛ-1 представлен на рисунке 1. Пломбирование установки не предусмотрено.

Место нанесения знака поверки

Рисунок 1 - Общий вид установки контроля линейных размеров КЛ-1

Программное обеспечение

Управление установкой и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «fedukla1». ПО «fedukla1» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов структур, сформированных на поверхности полупроводниковых пластин. ПО «fedukla1» не может быть использовано отдельно от установки.

Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационное наименование ПО

feduklal

Номер версии (идентификационный номер) ПО

4.01 R10

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

764072558fc7c3e7bd75ddf426df6d9a 731ff742fbd5dbf25la71593eb1a9593

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

согласно ГОСТ Р34.11-2012

Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,1 до 10

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, мкм

(L - линейный размер, мкм)

±(0,005+0,03<L)

СКО результатов измерений ширины линии, нм, не более

4

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон значений увеличения, крат

от 2340 до 400000

Энергия электронов пучка при подлете к образцу, кэВ

от 0,4 до 1,5

Диаметр измеряемых пластин, мм

150

Масса, кг, не более

- основной блок;

- стойка с управляющим компьютером.

1640

45

Габаритные размеры основных составных частей (ДхШхВ) не более, мм3:

- основной блок

- стойка с управляющим компьютером

1200x2280x1800 620x740x1670

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

-относительная влажность воздуха, %

от +20 до +24 от 40 до 50

Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В

120

Потребляемая электрическая мощность, кВт, не более

3

Знак утверждения типа

наносится на боковую панель основного блока установки в виде наклейки, и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Установка контроля линейных размеров

КЛ-1

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Методика поверки

-

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 78519-20 «Установка контроля линейных размеров КЛ-1.

Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 11 марта 2020 г.

Основные средства поверки:

-мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. №33598-06).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемой установки с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на боковую панель основного блока установки в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.

Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.

Нормативные документы

Приказ Росстандарта от 29.12.2018 №2840 Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм

Смотрите также

Система автоматизированная информационно-измерительная для испытаний ВГТД стенда НО1205 (далее - АИИС ВГТД-20) предназначена для измерений: давления; температуры; расхода массового; виброускорения; частоты переменного тока; напряжения постоянного ток...
78521-20
АСТРА-ПЭ Преобразователи пневмоэлектрические аналоговые
ООО инженерная фирма "МИАС", г.Воронеж
Преобразователи пневмоэлектрические аналоговые АСТРА-ПЭ (далее -преобразователи) предназначены для измерений и непрерывных преобразований избыточного давления воздуха в нормированный выходной сигнал постоянного электрического тока.
Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ООО «Производственная компания «ДИА» (далее по тексту -АИИС КУЭ) предназначена для измерений активной и реактивной электроэнергии, сбора, обработки,...
Default ALL-Pribors Device Photo
78523-20
FH-006-0008 Твердомер Виккерса
Компания "Tinius Olsen, Ltd.", Великобритания
Твердомер Виккерса FH-006-0008 (далее - твердомер) предназначен для измерений твердости металлов и сплавов по шкалам Виккерса в соответствии с ГОСТ Р ИСО 6507-1-2007.
78524-20
472-17-905 Система измерительная испытательного стенда
ООО "Лиман-трейд", г.С.-Петербург
Система измерительная испытательного стенда 472-17-905 (далее - СИС) предназначена для измерений параметров редукторов РО55 и их модификаций: избыточного давления, температуры, крутящего момента силы, частоты вращения, силы переменного тока и передач...