Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1
| Номер в ГРСИ РФ: | 79934-20 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ООО "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС"), г. Мытищи |
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 79934-20 |
| Наименование | Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев |
| Модель | КТ-1 |
| Страна-производитель | РОССИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 001 |
Производитель / Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС"), Московская область, г. Мытищи
РОССИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 79934-20: Описание типа СИ | Скачать | 456.2 КБ | |
| 79934-20: Методика поверки МП 030.М44-20 | Скачать | 6 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Описание
Принцип действия установки основан на эллипсометрическом методе измерения тонких пленок. Установка состоит из измерительного модуля и SMIF-загрузчика для автоматического размещения измеряемых образцов пленок в измерительном модуле.
В установке реализованы методы эллипсометрического исследования тонких пленок - спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором в диапазоне длин волн от 633 до 905 нм и многоракурсная поляризационная рефлектометрия в диапазоне длин волн от 190 до 905 нм.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Место пломбировки представлено на рисунке 2.
КТ-1
зав. № 001
Рисунок 1 - Общий вид установки (1 - измерительный модуль, 2 - SMIF-загрузчик)
Места пломбировки
Рисунок 2 - Места пломбировки
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в установке осуществляется с помощью специального программного обеспечения Rudolph Technologies: Operator. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, анализа и обработки полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные: Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Rudolph Technologies: Operator |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 7.8431 S |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, нм |
от 10 до 1000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, нм |
±2 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний толщины, нм |
от 1,5 до 30000 |
|
Спектральный диапазон длин волн, нм |
от 190 до 905 |
|
Напряжение электропитания, В |
220 ± 10 |
|
Частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |
|
Мощность, 1ТА |
4900 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
1752x1041x1803 |
|
Масса, кг, не более |
832 |
|
Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа |
от +15 до +25 80 от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 4
|
Наименование характеристики |
Обозначение |
Количество |
|
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ -1 |
зав.№ 001 |
1 шт. |
|
SMIF-загрузчик ARM 1150 |
- |
1 шт. |
|
SMIF-контейнер для пластин Asyst 9700-4950-01 |
- |
1 шт. |
|
Кассета для пластин FB15A100H02 |
- |
1 шт. |
|
Устройство открытия-закрытия SMIF-контейнеров Pod Opener |
- |
1 шт. |
|
Сосуд |
ГНДИ.307441.001 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 030.М44-20 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
000.037.МК03 РЭ |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 030.М44-20 «ГСИ. Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 04 сентября 2020 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZA.0123.2019).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Локальная поверочная схема средств измерений толщины покрытий в диапазоне
значений от 1 до 1000 нм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» 08.08.2019
Смотрите также
