79934-20: КТ-1 Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев - Производители, поставщики и поверители

Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1

Номер в ГРСИ РФ: 79934-20
Производитель / заявитель: ООО "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС"), г. Мытищи
Скачать
79934-20: Описание типа СИ Скачать 456.2 КБ
79934-20: Методика поверки МП 030.М44-20 Скачать 6 MБ
Нет данных о поставщике
Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 79934-20
Наименование Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев
Модель КТ-1
Страна-производитель РОССИЯ
Срок свидетельства (Или заводской номер) 001
Производитель / Заявитель

Общество с ограниченной ответственностью "Автоматизированная система контроля и диагностирования "ИБИС" (ООО "АСКД "ИБИС"), Московская область, г. Мытищи

РОССИЯ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 3
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 3 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

79934-20: Описание типа СИ Скачать 456.2 КБ
79934-20: Методика поверки МП 030.М44-20 Скачать 6 MБ

Описание типа

Назначение

Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1 (далее по тексту - установка) предназначена для автоматизированного измерения толщин полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).

Описание

Принцип действия установки основан на эллипсометрическом методе измерения тонких пленок. Установка состоит из измерительного модуля и SMIF-загрузчика для автоматического размещения измеряемых образцов пленок в измерительном модуле.

В установке реализованы методы эллипсометрического исследования тонких пленок - спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором в диапазоне длин волн от 633 до 905 нм и многоракурсная поляризационная рефлектометрия в диапазоне длин волн от 190 до 905 нм.

Общий вид установки представлен на рисунке 1.

Место пломбировки представлено на рисунке 2.

КТ-1

зав. № 001

Рисунок 1 - Общий вид установки (1 - измерительный модуль, 2 - SMIF-загрузчик)

Места пломбировки

Рисунок 2 - Места пломбировки

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в установке осуществляется с помощью специального программного обеспечения Rudolph Technologies: Operator. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, анализа и обработки полученных данных.

ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.

Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные: Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Rudolph Technologies: Operator

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 7.8431 S

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.

Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя с помощью специального оборудования.

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений толщины, нм

от 10 до 1000

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, нм

±2

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон показаний толщины, нм

от 1,5 до 30000

Спектральный диапазон длин волн, нм

от 190 до 905

Напряжение электропитания, В

220 ± 10

Частота сети питания, Гц

50 ± 1

Мощность, 1ТА

4900

Габаритные размеры, мм, не более

1752x1041x1803

Масса, кг, не более

832

Условия эксплуатации:

- диапазон рабочих температур, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

- атмосферное давление, кПа

от +15 до +25 80 от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 4

Наименование характеристики

Обозначение

Количество

Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ -1

зав.№ 001

1 шт.

SMIF-загрузчик ARM 1150

-

1 шт.

SMIF-контейнер для пластин Asyst 9700-4950-01

-

1 шт.

Кассета для пластин FB15A100H02

-

1 шт.

Устройство открытия-закрытия SMIF-контейнеров Pod Opener

-

1 шт.

Сосуд

ГНДИ.307441.001

1 экз.

Методика поверки

МП 030.М44-20

1 экз.

Руководство по эксплуатации

000.037.МК03 РЭ

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 030.М44-20 «ГСИ. Установка контроля толщины диэлектрических и поликремниевых слоев КТ-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 04 сентября 2020 г.

Основные средства поверки:

Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 3.1.ZZA.0123.2019).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Локальная поверочная схема средств измерений толщины покрытий в диапазоне

значений от 1 до 1000 нм, утвержденная ФГУП «ВНИИОФИ» 08.08.2019

Смотрите также

Индикаторы Werka часового типа и с цифровым отсчетным устройством (далее по тексту индикаторы) предназначены для абсолютных и относительных измерений линейных размеров.
Осциллографы DSOS054A, MSOS054A, DSOS104A, MSOS104A, DSOS204A, MSOS204A, DSOS254A MSOS254A, DSOS404A, MSOS404A, DSOS604A, MSOS604A, DSOS804A, MSOS804A (далее - осциллографы) предназначены для измерений амплитудных и временных параметров электрических...
Анализаторы цепей векторные модульные М9370А, М9371А, М9372А, М9373А, М9374А, М9375А, M9800A, M9801A, M9802A, M9803A, M9804A, M9805A, M9806A, M9807A, M9808A (далее - анализаторы) предназначены для измерений S-параметров пассивных и активных устройств...
79938-20
iCAP PRO Спектрометры эмиссионные с индуктивно-связанной плазмой
Thermo Fisher Scientific, США; Завод изготовитель: Thermo Fisher Scientific (Shanghai) Instruments Co., Ltd., Китай
Спектрометры эмиссионные с индуктивно-связанной плазмой iCAP PRO предназначены для измерений массовой концентрации элементов в водных растворах, природных и сточных водах, продуктах питания, металлах и их сплавах, почвах, геологических пробах, рудах...
Приборы для измерений формы и расположения поверхностей вращения MarForm серий MMQ 100, MMQ 150, MMQ 200 и MMQ 400 (далее по тексту - приборы) предназначены для измерений отклонений формы и расположения поверхностей деталей.