Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС
| Номер в ГРСИ РФ: | 82668-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ООО "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС"), г. Москва |
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС (далее - измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электрического сопротивления и удельного поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 82668-21 | ||||||||||||||||||
| Действует | по 13.08.2026 | ||||||||||||||||||
| Наименование | Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов | ||||||||||||||||||
| Модель | ВИК-УЭС | ||||||||||||||||||
| Приказы |
№2262 от
21.10.2025
— О внесении изменений в сведения об утвержденных типах средств измерений
|
||||||||||||||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
||||||||||||||||||
| Характер производства | Серийное | ||||||||||||||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 797494ab-a15d-cb7d-57b1-d37703fdc690 | ||||||||||||||||||
| Испытания |
|
||||||||||||||||||
Производитель / Заявитель
ООО «РИИС», РОССИЯ, 119049, г. Москва, ул. Крымский вал, д.3, корп.1, оф. 507
РОССИЯ
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
МП 14-223-2021 с изм.№1 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС. Методика поверки
(с 21.10.2025)
МП 14-223-2021 Государственная система обеспечения единства измерений Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС Методика поверки
(с 22.04.2021 по 21.10.2025)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 34 (97%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 1 (3 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
82668-21: Описание типа
2021-82668-21.pdf
|
Скачать | 317.6 КБ | |
|
82668-21: Методика поверки
2021-mp82668-21.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 3.1 MБ | |
|
82668-21: Описание типа
2021-82668-21-1.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 317.6 КБ | |
|
82668-21: Описание типа
2025-82668-21.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 272.3 КБ | |
|
82668-21: Методика поверки
2021-mp82668-21-1.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 3.1 MБ | |
|
82668-21: Методика поверки
МП 14-223-2021 с изм.№1
2025-mp82668-21.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 5.4 MБ | |
|
82668-21: Описание типа
2025-82668-21-1.pdf
|
Скачать | 272.3 КБ | |
|
82668-21: Методика поверки
МП 14-223-2021 с изм.№1
2025-mp82668-21-1.pdf
|
Скачать | 5.4 MБ | |
|
82668-21: Методика поверки
МП 14-223-2021
2021-mp82668-21-2.pdf
|
Скачать | 3.1 MБ |
Описание типа
Назначение
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС (далее - измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электрического сопротивления и удельного поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Описание
Принцип действия измерителей ВИК-УЭС основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки (устройства зондового), установленной на поверхности образца полупроводникового материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности.
Удельное электрическое сопротивление и удельное поверхностное электрическое сопротивление вычисляются автоматически с помощью программного обеспечения (ПО), исходя из измеренных значений силы тока, напряжения и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом поправочных коэффициентов на температуру и геометрические размеры исследуемого образца (диаметр и толщина). Для расчетов УЭС и УПЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно измерители ВИК-УЭС состоят из:
- электронного блока;
- системного блока ПК с встроенным программным обеспечением (ПО);
- манипулятора с четырехзондовой измерительной головкой (устройства зондового).
Манипулятор (устройство зондовое) может быть двух видов: с ручным и с автоматизированным позиционированием четырехзондовой измерительной головки на образце. Манипулятор с ручным позиционированием измерительной головки может быть также рычажного типа (рисунок 2). Манипулятор с автоматизированным позиционированием измерительной головки представлен на рисунке 3.
Электронный блок измерителей ВИК-УЭС обеспечивает автоматический выбор величины силы тока в зависимости от номинала измеряемого сопротивления.
Четырёхзондовая измерительная головка может иметь следующие номинальные значения межзондового расстояния: 0,75 мм, 1,3 мм и 1,6 мм.
Общий вид измерителей ВИК-УЭС представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид измерителей ВИК-УЭС с манипулятором с ручным позиционированием измерительной головки
Рисунок 2 - Манипулятор с ручным позиционированием измерительной головки рычажного типа
Рисунок 3 - Манипулятор с автоматизированным позиционированием измерительной головки
Рисунок 4 - Внешний вид шильдика
Пломбирование измерителей ВИК-УЭС не предусмотрено.
Металлический шильдик с указанием заводского номера крепится к задней стенке электронного блока (рисунок 4). Заводской номер указывается вручную в цифровом формате.
Знак поверки наносится на заднюю стенку электронного блока.
Программное обеспечение
Измерители ВИК-УЭС оснащаются встроенным программным обеспечением.
ПО измерителей ВИК-УЭС позволяет проводить:
- автоматическую проверку работоспособности и настройку электрической части измерителей ВИК-УЭС;
- обработку результатов измерений УЭС и УПЭС образцов с учетом поправок на толщину и диаметр измеряемой пластины, а также на температуру измерения (поправки на температуру введены в ПО для монокристаллического кремния, при измерении других материалов результаты измерений УЭС и УПЭС будут относиться к температуре измерения);
- сбор результатов измерений УЭС и УПЭС для накопления статистической информации.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения измерителей ВИК-УЭС приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
_ |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.X* |
|
Цифровой идентификатор ПО |
_ |
|
Модуль получения и обработки данных |
rodrv.dll |
|
*- где X относится к метрологически не значимой части и принимает значения от 122 до 999 | |
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик измерителей ВИК-УЭС.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазоны измерений удельного электрического сопротивления, Ом^см: - для четырехзондовой головки с межзондовым расстоянием 0,75 мм - для четырехзондовой головки с межзондовым расстоянием 1,3 мм - для четырехзондовой головки с межзондовым расстоянием 1,6 мм |
от 0,005 до 45 000 от 0,005 до 85 000 от 0,01 до 105 000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УЭС, % |
±5 |
|
Диапазон измерений удельного поверхностного электрического сопротивления на квадрат поверхности, Ом |
от 0,1 до 450 000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УПЭС, % |
±6 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемого относительного отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (0,75 мм, 1,3 мм и 1,6 мм), % |
±1 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
6 |
|
Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10000 |
|
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: - электронный блок |
150х300х600 |
|
- системный блок ПК |
400х500х200 |
|
- манипулятор с ручным позиционированием |
400х200х200 |
|
- манипулятор с ручным позиционированием рычажного типа |
400х400х400 |
|
- манипулятор с автоматизированным позиционированием |
250х450х700 |
|
Масса, кг, не более: - электронный блок |
3 |
|
- системный блок ПК |
5 |
|
- манипулятор с ручным позиционированием |
5 |
|
- манипулятор с ручным позиционированием рычажного типа |
8 |
|
- манипулятор с автоматизированным позиционированием |
40 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В - частота питающей сети, Гц |
220 ±22 50±1 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха °С - относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +28 80 |
Знак утверждения типа
наносится на металлический шильдик методом лазерной гравировки, на титульный лист «Паспорта» и «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Измеритель удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов: - электронный блок - системный блок ПК - манипулятор (ручной или автоматизированный в соответствии с заказом) |
ВИК-УЭС _ _ _ |
1 шт. 1 шт. 1 шт. |
|
Паспорт |
ПС26.51.45-001-80774784-2024 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
РЭ26.51.45-001-80774784-2024 |
1 экз. |
|
Руководство пользователя ПО |
РЭ.ПО.26.51.45-001-80774784-2024 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
_ |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в п.2.3 Руководства по эксплуатации РЭ26.51.45-001-0774784-2024.
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ТУ26.51.45-001-80774784-2020 с изменением № 1 «Измерители удельного
электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС. Технические условия»
Смотрите также
