Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС
| Номер в ГРСИ РФ: | 82668-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ООО "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС"), г. Москва |
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС (далее - измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 82668-21 |
| Наименование | Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов |
| Модель | ВИК-УЭС |
| Страна-производитель | РОССИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 13.08.2026 |
Производитель / Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью "Разработка и изготовление измерительных систем" (ООО "РИИС"), г. Москва
РОССИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 14 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 14 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 82668-21: Описание типа СИ | Скачать | 317.6 КБ | |
| 82668-21: Методика поверки МП 14-223-2021 | Скачать | 6.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС (далее - измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Описание
Принцип действия измерителей ВИК-УЭС основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки (устройства зондового), установленной на поверхности образца полупроводникового материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности.
Удельное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью ПО, исходя из измеренных значений силы тока, напряжения и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом поправочных коэффициентов на температуру и геометрические размеры исследуемого образца (диаметр и толщина). Для расчетов УЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно измерители ВИК-УЭС состоят из:
- электронного блока;
- системного блока ПК с встроенным программным обеспечением (ПО);
- манипулятора с четырехзондовой измерительной головкой (устройства зондового).
Электронный блок измерителей ВИК-УЭС обеспечивает автоматический выбор величины силы тока в зависимости от номинала измеряемого сопротивления.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,3 мм.
Общий вид измерителей ВИК-УЭС представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид измерителей ВИК-УЭС
Пломбирование измерителей ВИК-УЭС не предусмотрено.
Металлический шильдик с указанием заводского номера крепится к задней стенке электронного блока.
Знак поверки наносится на заднюю стенку электронного блока.
Программное обеспечение
Измерители ВИК-УЭС оснащаются встроенным программным обеспечением.
ПО измерителей ВИК - УЭС позволяет проводить:
- автоматическую проверку работоспособности и настройку электрической части измерителей ВИК-УЭС;
- обработку результатов измерений УЭС образцов с учетом поправок на толщину и диаметр измеряемой пластины, а также на температуру измерения (поправки на температуру введены в ПО для монокристаллического кремния, при измерении других материалов результаты измерений УЭС будут относиться к температуре измерения);
- сбор результатов измерений УЭС для накопления статистической информации.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения измерителей ВИК-УЭС приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
ПО измерителя удельного электросопротивления ВИК УЭС |
|
Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО |
rometr.exe |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.122 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
|
Идентификационное наименование модуля получения и обработки данных |
C:\rometr\rodrv. dll |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.122 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик измерителей ВИК-УЭС.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений удельного электрического сопротивления, Ом^см |
от 0,01 до 85 000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УЭС, % |
±5 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемого относительного отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,3 мм), % |
±1 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
6 |
|
Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
10000 |
|
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: - электронный блок |
150х300х600 |
|
- системный блок ПК |
400х500х200 |
|
- манипулятор |
400х200х200 |
|
Масса, кг, не более: - электронный блок |
3 |
|
- системный блок ПК |
5 |
|
- манипулятор |
5 |
Окончание таблицы 3
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В - частота питающей сети, Гц |
220 ±22 50±1 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха °С - относительная влажность воздуха, %, не более |
23±5 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Паспорта» и «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Измеритель удельного электрического сопро- |
ВИК-УЭС | |
|
тивления полупроводниковых материалов: | ||
|
- электронный блок |
- |
1 шт. |
|
- системный блок ПК |
- |
1 шт. |
|
- манипулятор |
- |
1 шт. |
|
Паспорт |
ПС26.51.45-001-80774784-2020 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
РЭ26.51.45-001-80774784-2020 |
1 экз. |
|
Руководство пользователя ПО |
РЭ.ПО.26.51.45-001-80774784-2020 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 14-223-2021 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в п.2.3 Руководства по эксплуатации РЭ26.51.45-001-0774784-2020
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ТУ26.51.45-001-80774784-2020 «Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС. Технические условия»
Смотрите также
