Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах F40-NIR

Назначение

Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах F40-NIR (далее - система) предназначена для бесконтактных измерений толщины покрытий, нанесенных на полупроводниковые пластины. Покрытия могут быть выполнены из различных материалов, включая фоторезист, оксиды, нитриды, поликремниевые пленки. Система позволяет также измерять толщину антибликовых и защитных оптических покрытий, покрытий из полиамида и резиста для дисплеев с плоским экраном, различных покрытий, которые используются при производстве CD и DVD дисков.

Описание

Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах F40-NIR представлена моделью 260-0130

Принцип действия системы соответствует принципу действий спектральных рефлектометров и основан на измерении спектров отражения при нормальном падении света на измеряемую пластину. Спектральный состав света, прошедшего через тонкое покрытие и отраженного от подложки, зависит от толщины самого покрытия, а также от его оптических постоянных (показателя преломления n и коэффициента поглощения k). Система определяет характеристики тонкого покрытия из измерений интенсивности света, отраженного от подложки и покрытия, в ИК диапазоне излучения. С помощью программного обеспечения (ПО) FILMeasure система анализирует измеренные спектры, сравнивая их с набором рассчитанных спектров отражения, до тех пор, пока отличие между спектрами будет минимальным. Параметры покрытия (толщина и оптические постоянные n, k) расчетного спектра принимаются за результат измерения.

Система состоит из стойки C-Mount с интегрированной видеосистемой, микроскопа с XY столом и оптоволоконным входом, спектрометра, объективов 2x и 10x для SS-Microscope-EXR-1, персонального компьютера и установочного диска с программным обеспечением.

Система монтируется на креплении микроскопа и позволяет проводить измерение на квадратном участке размером 1 микрон.

На системе имеется шильдик с указанием наименования прибора, страны изготовителя, заводского номера. Заводской номер содержит буквенно-цифровое обозначение 19Р040, наносится на шильдик методом цифровой лазерной печати на самоклеящуюся пластиковую пленку и наклеивается на стойку системы.

Общий вид системы и обозначение места нанесения заводского номера представлены на рисунке 1.

Обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.

Пломбирование системы от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Рисунок 1 - Общий вид системы

Место нанесения знака поверки

Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в системе осуществляется с помощью ПО FILMeasure. ПО служит для настройки внутренних исполнительных механизмов и измерительных устройств, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений.

ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через клавиатуру, на дисплей выводится подробная информация о рассчитанной толщине покрытия, а также дополнительных параметрах, включая, оптические постоянные n и k.

Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе Руководство по эксплуатации раздел 3 «Проведение измерений».

Нормативные документы

Техническая документация «Filmetrics. Inc», США.