Интерферометры Zygo VeriFire
| Номер в ГРСИ РФ: | 91824-24 |
|---|---|
| Категория: | Интерферометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Zygo Corporation", США |
Интерферометры Zygo VeriFire (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 91824-24 |
| Наименование | Интерферометры |
| Модель | Zygo VeriFire |
Производитель / Заявитель
Zygo Corporation, США
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 91824-24: Описание типа | Скачать | 339.9 КБ | |
| 91824-24: Методика поверки | Скачать | 2.4 MБ |
Описание типа
Назначение
Интерферометры Zygo VeriFire (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей.
Описание
Измерения отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей основано на анализе получаемой интерференционной картины, возникающей в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 632,8 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский или сферический волновой фронт, в зависимости от установленной насадки (табл. 3). Далее волновой фронт с помощью объектива, закрепленного в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от последней поверхности объектива непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит через объектив и искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности или сферичности измеряемой оптической поверхности.
Интерферометры выпущены трех модификаций. Модификации AT и QPZ имеют вертикальную схему и отличаются количеством подвижных оправ на колонне (в модификации АТ две оправы, в QPZ - одна). Модификация XPZ выполнена в горизонтальной схеме.
Нанесение знака поверки на интерферометры не предусмотрено. Заводские номера нанесены на заднюю часть корпуса интерферометров в виде этикетки (таблички) и имеют цифровое обозначение.
Пломбирование интерферометров Zygo VeriFire от несанкционированного доступа не предусмотрено.
К интерферометрам данного типа относятся интерферометры Zygo VeriFire модификации XPZ зав. №12-11-653105, модификации QPZ зав. №12-43-653175 и модификации AT зав. №№ 07-10-651881, 07-11-651883.
Рисунок 1- Внешний вид этикетки (таблички)
(а) (б)
(в)
Рисунок 2 - Внешний вид интерферометров Zygo VeriFire Модификации: а) AT, б) QPZ, в) XPZ.
Программное обеспечение
Интерферометры Zygo VeriFire имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО интерферометра и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от системы.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
VeriFire XPZ, VeriFire QPZ |
VeriFire AT | |
|
Идентификационное наименование ПО |
Zygo MetroPro X |
Zygo MetroPro |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
5.9.2.0 |
8.1.5 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
|
Модификация |
VeriFire XPZ |
VeriFire QPZ |
VeriFire AT |
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,03 до 2,00 |
от 0,03 до 2,00 |
от 0,03 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,025 |
±0,05 |
±0,05 |
|
Диапазон измерений отклонений от сферичности, мкм |
- |
от 0,03 до 2,00 |
от 0,03 до 2,00 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности, мкм |
- |
±0,06 |
±0,06 |
Таблица 3 - Технические характеристики насадок с эталонными сферами
|
Наименование характеристики |
Модификация насадки | |||
|
f/0.75 TS 4” |
f/1.5 TS 4” |
f/3.3 TS 4” |
f/7.1 TS 4” | |
|
Диапазон диаметров измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм |
от 4 до 60 |
от 6 до 76 |
от 9 до 84 |
от 14 до 93 |
|
Диапазон радиусов кривизны измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм |
от 3 до 45 |
от 10 до 115 |
от 30 до 280 |
от 101 до 672 |
|
Диапазон диаметров измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм |
от 4 до 180 |
от 6 до 180 |
от 9 до 180 |
от 14 до 73 |
|
Диапазон радиусов кривизны измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм |
от 3 до 135 |
от 10 до 270 |
от 30 до 594 |
от 101 до 530 |
Таблица 4 - Технические характеристики интерферометров
|
Модификация |
VeriFire XPZ |
VeriFire QPZ |
VeriFire AT |
|
Максимальный диаметр измеряемых плоских оптических поверхностей, мм |
150 |
150 |
150 |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 Длина волны лазера, нм, не более Тип лазера Мощность, мВт, не более |
класс 3А 632,8 гелий-неоновый лазер 1 | ||
|
Параметры электропитания: | |||
|
Напряжение переменного тока, В |
от 100 до 240 | ||
|
Частота, Гц |
от 50 до 60 | ||
|
Масса, кг, не более |
45 | ||
|
Габаритные размеры, мм, не более | |
|
- длина |
920 |
|
- ширина |
310 |
|
- высота |
340 |
|
Условия эксплуатации | |
|
- температура окружающей среды, °С |
От +18 до +22 |
|
- относительная влажность, % |
От 5 до 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Интерферометр Zygo VeriFire |
VeriFire |
1 шт. |
|
Компьютер с ПО |
- |
1 шт. |
|
Насадка с плоскостью |
- |
1 шт. |
|
Насадка со сферой* |
- |
4 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
Интерферометры Zygo VeriFire |
1 экз. |
|
* - для модификаций QPZ и AT | ||
Сведения о методах измерений
приведены в разделе «Методика поверки», документа «Интерферометры Zygo VeriFire. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей».
Другие Интерферометры
