Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping
| Номер в ГРСИ РФ: | 96138-25 |
|---|---|
| Категория: | Эллипсометры |
| Производитель / заявитель: | Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd, КИТАЙ |
Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping (далее - эллипсометр) предназначен для измерений толщины и показателя преломления оптических покрытий плоских образцов посредством бесконтактного измерения эллипсометрических углов Пси и Дельта.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 96138-25 | ||||||
| Наименование | Эллипсометр настольный спектральный | ||||||
| Модель | SEI-Mapping | ||||||
| Приказы |
№1683 от
13.08.2025
— Об утверждении типов средств измерений
|
||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 10af4591-1905-2744-773b-8bc365e4fb0b | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd, КИТАЙ, Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
МП 014.М44-25 Государственная система обеспечения единства измерений. Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping. Методика поверки
(с 13.08.2025)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
96138-25: Описание типа
2025-96138-25.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 261.3 КБ | |
|
96138-25: Методика поверки
МП 014.М44-25
2025-mp96138-25.pdf
Файл устарел
|
Скачать | 2.3 MБ | |
|
96138-25: Описание типа
2025-96138-25-1.pdf
|
Скачать | 261.3 КБ | |
|
96138-25: Методика поверки
МП 014.М44-25
2025-mp96138-25-1.pdf
|
Скачать | 2.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping (далее - эллипсометр) предназначен для измерений толщины и показателя преломления оптических покрытий плоских образцов посредством бесконтактного измерения эллипсометрических углов Пси и Дельта.
Описание
Принцип действия эллипсометра основан на измерении изменений состояния поляризации света, отраженного от границы раздела двух сред. Эллипсометр измеряет эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн. Программное обеспечение (далее - ПО) эллипсометра на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину и показатель преломления оптических покрытий на поверхности измеряемого объекта.
Конструктивно эллипсометр состоит из блока поляризатора с источником света, гониометра с фиксированным углом падения света на образец, моторизованного стола для образцов диаметром до 300 мм с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z, и блока анализатора отраженного от образца света. Неотъемлемой частью эллипсометра является вычислительный модуль на базе персонального компьютера со специализированным ПО для проведения измерений, сбора и анализа полученных данных.
Эллипсометр снабжен вертикальной камерой для визуализации области измерения и выравнивания образца при помощи механизма наклона предметного стола. В состав эллипсометра входят две фокусирующие микронасадки для уменьшения размера светового пятна на образце.
К данному типу средства измерений относится эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping с заводским номером 1010130058.
Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, и знак утверждения типа нанесён на шильдик методом цифровой лазерной печати на пластиковую пленку и наклеен на заднюю панель эллипсометра.
Пломбирование эллипсометра не предусмотрено. Общий вид эллипсометра с обозначением места нанесения знака поверки, заводского номера и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид эллипсометра настольного спектрального SEI-Mapping
Программное обеспечение
Для записи сигналов и их обработки используется специальное ПО «EometricsPro», работающее в операционной среде Microsoft Windows. ПО является защищенным. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления ПО производятся изготовителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
EometricsPro |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
v.3.1.5.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
аблица 2 - Метрологические характеристики эллипсометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины покрытий, нм |
от 2 до 4500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм: - в поддиапазоне от 2 до 10 нм включ. - в поддиапазоне св. 10 до 1000 нм |
±1 ±5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины покрытий в поддиапазоне от 1000 до 4500 нм, % |
±1 |
|
Диапазон измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм |
от 1,460 до 2,022 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм |
±0,004 |
Таблица 3 - Технические характеристики эллипсометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрической сети: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц |
от 210 до 230 от 49 до 51 |
|
Мощность, Вт |
1550 |
|
Габаритные размеры (длинахширинахвысота) (без учета ПК и монитора), мм, не более |
900х570х742 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа |
от +20 до +26 от 35 до 60 от 75 до 101,4 |
Знак утверждения типа
нанесён на корпус эллипсометра методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
|
Таблица 4 - Комплектность средства измерений | ||
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Эллипсометр настольный спектральный |
SEI-Mapping |
1 шт. |
|
Программное обеспечение (ПО) для обработки результатов измерений |
EometricsPro |
1 шт. |
|
Вертикальная камера для визуализации области измерения в ПО |
- |
1 шт. |
Продолжение таблицы 4
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Моторизованный стол для пластин диаметром до 300 мм, с автоматическим перемещением по осям X-Y-Z и автоматической фокусировкой по Z. |
- |
1 шт. |
|
Фокусирующие микронасадки |
- |
2 шт. |
|
Безмасляный вакуумный насос Linicon |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главе 4 «Работа программного обеспечения» документа «Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий».
Другие Эллипсометры
