Комплект мер толщины
| Номер в ГРСИ РФ: | 98180-26 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | АО «Гиредмет», г. Москва |
Комплект мер толщины (далее по тексту - комплект) предназначен для воспроизведения значений толщины пластин из полупроводниковых материалов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 98180-26 | ||||||
| Наименование | Комплект мер толщины | ||||||
| Приказы |
№649 от
02.04.2026
— Об утверждении типов средств измерений
|
||||||
| Код идентификации производства |
ОС
СИ не соответствует критериям подтверждения производства на территории
РФ в соответствии с постановлением №719
|
||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | cc0dbfdf-f461-9abb-2a1f-3d8aacf46df6 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
АО «Гиредмет», РОССИЯ, 111524, г. Москва, ул. Электродная, д. 2, стр. 1А
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке |
РТ-МП-1652-203-2025 ГСИ. Комплект мер толщины. Методика поверки
(с 02.04.2026)
|
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 26.04.2026 |
Поверители
Скачать
|
98180-26: Описание типа
2026-98180-26.pdf
|
Скачать | 124.2 КБ | |
|
98180-26: Методика поверки
РТ-МП-1652-203-2025
2026-mp98180-26.pdf
|
Скачать | 1.2 MБ |
Описание типа
Назначение
Комплект мер толщины (далее по тексту - комплект) предназначен для воспроизведения значений толщины пластин из полупроводниковых материалов.
Описание
Принцип действия комплекта основан на воспроизведении заданных значений толщины.
Комплект состоит шести мер, которые отличаются друг от друга воспроизводимыми значениями толщины.
Конструктивно меры в комплекте представляют собой пластины круглой формы, изготовленные из полупроводниковых материалов.
Заводской номер комплекта в цифровом формате и перечень образцов (с указанием их обозначений и заводских номеров), указаны на шильдике размещенном на упаковке комплекта, а также в паспорте на комплект. К комплекту данного типа относится комплект мер толщины зав. № 1, в состав входит 6 мер толщины: InAs 3’ d=2360, № Г-132 #1; InAs 3’ d=2060; № Г-132 #10; InSb 3’ d=1280, № 108 #31; InSb 3’ d=750, № 108 #1; GaSb 3’ d=680, № 17 #9; InSb 2’ d=575, № 1110 #10. Место нанесения заводского номера на комплект мер толщины представлено на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на образцы не предусмотрено. Пломбирование образцов не предусмотрено.
Общий вид образцов представлен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера
Рисунок 1 - Общий вид образцов комплекта мер толщины
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Номинальные значения толщин, мкм | |
|
- Мера InSb 2’ d=575, № 1110 #10 |
575 |
|
- Мера GaSb 3’ d=680, № 17 #9 |
680 |
|
- Мера InSb 3’ d=750, № 108 #1 |
750 |
|
- Мера InSb 3’ d=1280, № 108 #31 |
1280 |
|
- Мера InAs 3’ d=2060, № Г-132 #10 |
2060 |
|
- Мера InAs 3’ d=2360, № Г-132 #1 |
2360 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения толщины, мкм |
±25 |
|
Доверительные границы абсолютной погрешности воспроизведения |
±(0,25+0,0025-L) |
|
толщины, мкм | |
|
Стандартное отклонение среднего арифметического значения |
± (0,1+0,0001-L) |
|
толщины, мкм | |
|
Разнотолщинность TTV, мкм, не более |
4 |
|
Примечание: | |
|
L - измеренное значение толщины, мкм |
Таблица 2 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более |
от +15 до +35 75 |
|
Диаметр мер, мм, не более Мера InSb 2’ d=575, № 1110 #10 Меры GaSb 3’ d=680, № 17 #9; InSb 3’ d=750, № 108 #1; InSb 3’ d=1280, № 108 #31; InAs 3’ d=2060, № Г-132 #10; InAs 3’ d=2360, № Г-132 #1 |
52 77 |
|
Масса комплекта, кг, не более |
0,4 |
|
Материал мер |
InAs InSb GaSb |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Комплект мер толщины |
- |
1 шт. |
|
Паспорт |
ВИМ.001-00.00.000ПС |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 3 «Заметки по эксплуатации» Паспорта ВИМ.001-00.00.000ПС «Комплект мер толщины. Паспорт».
Нормативные документы
Локальная поверочная схема.