Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator
| Номер в ГРСИ РФ: | 28665-05 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва |
| 28665-05: Описание типа СИ | Скачать | 171.5 КБ |
Для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред, применяют в учебном процессе для изучения основ сканирующей зондовой микроскопии и проведения исследований в области нанотехнологии, микромеханики, физики и технологии микро и наноструктур, материаловедения.В 2010 г. изменено Описание типа (НТК 01д2 от 18.03.10 п.327) в части методики поверки.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 28665-05 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | NanoEducator |
| Технические условия на выпуск | ТУ 4254-002-58699387-2004 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 01.04.2015 |
| Номер сертификата | 19923 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | 01д2 от 18.03.10 п.32702 от 10.02.05 п.66 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Россия
124482, Зеленоград, кор.100, тел. +7(499) 735-03-05 Факс +7(499) 735-64-10. (124460, Зеленоград, кор.167), E-mail: spm@ntmdt.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП НИЦПВ, МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Найдено поверителей | 2 |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 28665-05: Описание типа СИ | Скачать | 171.5 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред.
Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator применяют в учебном процессе для изучения основ сканирующей зондовой микроскопии и проведения исследований в области нанотехнологии, микромеханики, физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения. .
Описание
Микроскопы сканирующие зондовые (СЗМ) представляют собой стационарные автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (АСМ).
Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
В состав СЗМ входит сканирующая измерительная головка, электронный блок и персональный компьютер. В качестве зонда используется вольфрамовая игла, закрепленная на пьезокерамическом датчике. С помощью устройства для травления зондов, входящего в комплект поставки, возможно самостоятельное изготовление вольфрамовых игл.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ-контроллера поступают в измерительную головку. Управление СЗМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством USB порта.
При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно СЗМ NanoEducator выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказам приборы оснащаются широким набором дополнительных устройств и принадлежностей.
Технические характеристики
|
Параметр |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY не менее, мкм |
0-70 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм |
0-8 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY не более, % |
±5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z не более, % |
±5 |
|
Нелинейность сканирования в плоскости XY не более, % |
5 |
|
Разрешение в плоскости XY не более, нм |
30 |
|
Разрешение по оси Z не более, нм |
10 |
|
Дрейф в плоскости XY не более, нм/с |
1 |
|
Дрейф по оси Z не более, нм/с |
1 |
|
Максимальное число точек сканирования по X и Y |
512x512 |
|
Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина) не более, мм |
12x5 |
|
Диапазон напряжение питания переменного тока, В |
100-240 |
|
Потребляемая мощность не более, Вт |
60 |
|
Габаритные размеры электронного блока не более, мм |
260x160x360 |
|
Габаритные размеры СЗМ не более, мм |
160x160x130 |
|
Масса не более, кг |
8 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность не более, % - атмосферное давление, мм рт. ст. - дрейф температуры не более, °C в час - амплитуда вибраций в полосе частот 1-4000 Гц не более, мкм |
20 ±5 65 ±15 760 ± 30 1 0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на средство измерений и на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Комплект поставки включает:
|
№ |
Описание |
|
1 |
Электронный блок управления СЗМ NanoEducator |
|
2 |
Универсальная сканирующая измерительная АСМ/СТМ головка |
|
3 |
Интерфейсный кабель USB |
|
4 |
Программное обеспечение для получения и обработки изображений на IBM-совместимой рабочей станции |
|
5 |
Рабочие принадлежности для СЗМ |
|
6 |
Набор зондов |
|
7 |
Соединительные кабели для подключения измерительной головки и сканера |
|
8 |
Шнур питания |
|
9 |
Защитный колпак с цифровой видеокамерой |
|
10 |
Устройство для травления зондов |
Поверка
Поверка микроскопов сканирующих зондовых NanoEducator проводится в соответствии с документом «Микроскопы сканирующие зондовые NanoEducator. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 19 мая 2010 г..
Основным средством поверки является мера периода и высоты линейная TGQ1.
Межповерочный интервал - один год.
Нормативные документы
ГОСТ 12997 «Изделия ГСП. Общие технические условия».
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип микроскопов сканирующих зондовых NanoEducator утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.
Другие Микроскопы
