Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан
| Номер в ГРСИ РФ: | 34310-07 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ООО НПП "Центр перспективных технологий", г.Москва |
| 34310-07: Описание типа СИ | Скачать | 248 КБ |
Для измерений параметров топографии и локальных геометрических свойств поверхности, наблюдения морфологии с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах, а также позволяют визуализировать атомную структуру поверхности изучаемых образцов (графит, слюда и пр.) при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для организации экспериментального дистанционного образования студентов в области практической нанотехнологии.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 34310-07 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | ФемтоСкан |
| Технические условия на выпуск | ТУ 1706-001-0035336-07 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2007 |
| Страна-производитель | Россия |
| Примечание | 27.07.2012 продлен срок свидетельства |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 27.07.2017 |
| Номер сертификата | 27293 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 539 п. 25 от 27.07.201204д от 29.03.07 п.40 |
Производитель / Заявитель
ООО НПП "Центр перспективных технологий", г.Москва
Россия
119311, ул.Строителей, 4-5-47 тел. 7(495) 9301878, www.nanoscopy.net, E-mail: spm@femtoscan.net
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 34310-07 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 34310-07: Описание типа СИ | Скачать | 248 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан предназначены для измерений параметров топографии и локальных геометрических свойств поверхности, наблюдения морфологии с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах, а также для визуализации атомарной структуры поверхности изучаемых образцов (графит, слюда и пр.).
Сканирующие зондовые микроскопы ФемтоСкан предназначены для проведения фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для организации экспериментального дистанционного образования студентов в области практической нанотехнологии.
Описание
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан выпускаются в трех модификациях: ФемтоСкан Онлайн, ФемтоСкан КриоСкан и ФемтоСкан Камертон, отличающиеся устройством зонда и принципом сканирования.
Действие микроскопов сканирующих зондовых ФемтоСкан основано на принципе ощупывания исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин Ф1(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан состоят из системного блока управления, электронного блока преобразователей, графической станции, набора измерительных головок, набора держателей кантилевера, набора держателей образца и программного обеспечения. В микроскопах сканирующих зондовых ФемтоСкан реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
— резонансная атомно-силовая микроскопия;
— измерения силовых кривых;
— сканирующая резистивная микроскопия;
— электростатическая микроскопия;
— магнитно-силовая микроскопия;
— сканирующая туннельная микроскопия;
— измерение зависимостей туннельного тока от напряжения на переходе и от
расстояния зонд-образец;
— нанолитография;
— контактная атомно-силовая микроскопия.
В микроскопе сканирующем зондовом ФемтоСкан реализована технология дистанционного управления через Интернет. Это позволяет осуществлять полномасштабные измерения с любого компьютера, подключенного к локальной сети или сети Интернет. При этом неограниченное количество санкционированных сетевых пользователей могут иметь доступ к данным эксперимента в реальном масштабе времени и самостоятельно осуществлять анализ, обработку и построение трехмерных изображений.
Рис. 1. Общий вид микроскопа санирующего зондового ФемтоСкан
Программное обеспечение
В состав микроскопа сканирующего зондового ФемтоСкан входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование программ-много обеспечения |
Идентиф икаци-онное наименование программного обеспечения |
№ версии ПО |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
ФемтоСкан Онлайн |
FEMTOSCAN.EXE |
2.3.219 |
58a87866403e4267c2d9de1a2dfc2ddd 84dcf7e5 |
Программ а shalsum |
|
FMCMNCTL.DLL |
027a0858a7364a7cfd9c5da5b126a987 d7c0a5e9 | |||
|
FMDV.DLL |
e89a8cb9170a6cb7dd12614ddc42e33d 0b6407fa | |||
|
FMFILE.DLL |
8f34d19a2f2cd24f0ca9ca8ccaf187234 8348563 | |||
|
FMSPM.DLL |
da1d524251dc9bc451404d237338da8 ea06d6293 | |||
|
FMUTL.DLL |
23040a759f3b1c81489aa0fe79504e67 b3a548cc |
|
FSDBG.DLL |
a950251609a6ce22f2d3 86d216d4f227 fed4073d | |||
|
FSIO.DLL |
92b0df508a21647c60a1ae43839d9599 3a4f04c7 | |||
|
DSPIO.DLL |
b77bd69cacc2b3f666f69cabbe899b72 d7692efa | |||
|
FSSRV.EXE |
2a28037f3e2c6221a6136bf67256a188 80fcb9c4 | |||
|
FMBOARD.EXE |
27b529546ced15179f2c299ba33baaa0 28d050b5 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Таблица 2.
|
Наименование параметра |
Значение | ||
|
ФемтоСкан Онлайн |
ФемтоСкан КриоСкан |
ФемтоСкан Камертон | |
|
Диапазон измерений высоты, мкм |
2 |
2 при комнатной температуре 0,5 при гелиевой температуре |
2 |
|
Пространственное разрешение по нормали к образцу, нм |
0,05 |
0,05 |
0,05 |
|
Пространственное разрешение в плоскости образца по координатам X и Y, нм |
0,1 |
0,1 |
0,1 |
|
Минимальный шаг (дискрет) пьезосканера по осям X и Y, нм |
0,0025 |
0,0025 |
0,0025 |
|
Минимальный шаг (дискрет) пьезосканера о оси Z, нм |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
|
Минимальная область сканирования (при разрешении 512х512точек), нм |
2 |
2 |
2 |
|
Пространственное разрешение (ограничиваемое суммарными шумами электроники) по оси Z, нм |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
|
Пространственное разрешение (ограничиваемое суммарными шумами электроники) по осям X и Y, нм |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
|
Измеряемые параметры шероховатости |
Ra, Rmax, Rq, Rsk, Rk, Sm, Smh, Sml |
Ra, Rmax, Rq, Rsk, Rk, Sm, Smh, Sml |
Ra, Rmax, Rq, Rsk, Rk, Sm, Smh, Sml |
|
Размер области сканирования, мкм2 |
10х10 |
10х10 |
10х10 |
|
при комнатной температуре 2х2 при гелиевой температуре |
Лист № 4 Всего листов 6 | ||
|
Температура образца |
Комнатная |
4К — комнатная |
Комнатная |
|
Диапазон регистрации туннельного тока, нА |
0,05-50 |
0,05-50 |
0,05х50 |
|
Диапазон измерения напряжения на туннельном переходе, B |
±9 |
±9 |
±9 |
|
Минимальный дискрет туннельного напряжения, мВ |
0,3 |
0,3 |
0,3 |
|
Диапазон токов в резистивной моде, нА |
0,01-100 |
0,01-100 |
0,01-100 |
|
Диапазон измерения контактного сопротивления в резистивной моде, МОм |
0,001-10 |
0,001-10 |
0,001-10 |
|
Пространственное разрешение в магнитной моде, нм |
5 |
5 |
5 |
|
Пространственное разрешение в электростатической моде, нм |
20 |
20 |
20 |
|
Точность детектирования амплитуды в резонансных режимах, мВ |
0,1 |
0,1 |
0,1 |
|
Максимальные размеры образца: диаметр, мм высота, мм |
12 5 |
10 4 |
10 4 |
|
Габаритные размеры, мм длина ширина высота |
156,5 62 52 |
307 165 95 |
307 165 95 |
|
Питание |
220 В, 50 Гц |
220 В, 50 Гц |
220 В, 50 Гц |
|
Масса, кг |
33 |
56 |
33 |
|
Диапазон рабочих температур, оС |
15-35 |
15-35 |
15-35 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Комплектность в зависимости от модификации приведена в табл. 3
Таблица 3
|
ФемтоСкан Онлайн |
ФемтоСкан Криоскан |
ФемтоСкан Камертон |
|
Системный блок управления Электронный блок преобразователей Механический блок пьезоманипулятора Графическая станция Головка РАСМ Головка СТМ Подставка виброзащитная Держатель образца СТМ Жидкостная ячейка термостатируемая Держатель зонда РАСМ Держатель зонда РАСМ д/жидк. ячейки Держатель образца термостатируемый Кабель «термостат» Кабель «блок управления-блок преобразователей» Кабель «резонансный режим» Кабель «резистивный режим» Набор зондов АСМ Набор зондов РАСМ Набор зондов МАСМ Кабель сетевой Столик для намагничивания зондов Эталонные образцы с известной разностью высот (ступени 10-40 нм) Руководство по эксплуатации Методика поверки |
Системный блок управления Электронный блок преобразователей Механический блок пьезоманипулятора Графическая станция Гелиевый криостат Терморегулятор Блок маностата Держатель образца СТМ Держатель СТМ зонда Держатель камертонного зонда Соединительные кабели Эталонные образцы с известной разностью высот (ступени 10-40 нм) Руководство по эксплуатации Методика поверки |
Системный блок управления Электронный блок преобразователей Механический блок пьезоманипулятора Графическая станция Держатель образца СТМ Держатель СТМ зонда Держатель камертонного зонда Соединительные кабели Эталонные образцы с известной разностью высот (ступени 10-40 нм) Руководство по эксплуатации Методика поверки |
Поверка
осуществляется по документу МП 34310-07 «Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в январе 2007 года.
Основными средствами поверки являются:
- мера периода и высоты линейная TGQ1 с характеристиками, приведенными в таблице 3.
- мера периода и высоты линейная TGZ3 с характеристиками, приведенными в таблице 4.
Таблица 4
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической |
± 0,01 |
|
структуры, мкм, не более | |
|
Значение высоты выступов в шаговых структурах меры, нм |
20 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах, нм, не более |
±2 |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры, мкм, не более |
± 0,01 |
|
Значение высоты выступов в шаговой структуре меры, нм |
520 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговой структуре, нм, не более |
±20 |
Сведения о методах измерений
Руководство по эксплуатации, стр. 23-53.
Нормативные документы
«Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан. Технические условия» 1706-00100353336-07 ТУ.
Рекомендации к применению
Выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Другие Микроскопы
