Микроскоп электронный растровый JSM-7401F

Назначение

Микроскоп электронный растровый JSM-7401F предназначен для количественного морфологического анализа и измерения линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.

Описание

Микроскоп электронный растровый JSM-7401F представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

Микроскоп оснащен катодом с полевой эмиссией холодного типа.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов и устройством шлюзования, двух детекторов вторичных и одного детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и 3 ионных насоса для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.

Микроскоп обеспечивает работу, как в режимах регистрации вторичных электронов, так и в режиме регистрации отраженных электронов.

Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом JSM-7401F заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Создание изображения объектов в режиме «Gentle Beam» обеспечивается благодаря торможению первичного пучка полем держателя образца, в результате чего сохраняется возможность наблюдения объекта при пониженных ускоряющих напряжениях с достаточно высоким разрешением.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Технические характеристики

1. Разрешение при ускоряющем напряжении 15кВ, нм

2.Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15 кВ не более, нм

3 .Диапазон регулировки увеличения, крат.......................................................25-5-1000000

4 .Диапазон измерения линейных размеров, мкм.............................................0,05-5-1000

5 . Погрешность измерений линейных размеров не более, %

б .Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ........................................0,1-5-30

7 . Номинальное напряжение сети питания, В.........................................220 (+10/-15%)

8 . Максимальная потребляемая мощность, кВА

9 .Габаритные размеры основных составных частей не более, мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ.................................990x790x1850

- видеоконтрольный блок............................................................1200x1000x700

- блок питания..............................................................................900x450x700

10.Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг...................................................1200

11.Условия эксплуатации:

- диапазон температуры окружающего воздуха, °C........................................20 ± 5

- относительная влажность воздуха, %..........................................................................50^-80

- диапазон атмосферного давления, кПа........................................................84-5-107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

В комплект единичного экземпляра микроскопа электронного растрового JSM-7401F, зав. № SM18100077, входят:

Поверка

Поверка микроскопа проводится в соответствии с ГОСТ Р 8.631-2007 «ГСИ. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки»

При поверке применяются: мера, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 «ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007 «ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».

Межповерочный интервал — 1 год.

Нормативные документы

1. ГОСТ 12997-84 «Изделия ГСП. Общие технические условия».

2. ГОСТ Р 51350-99 «Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Общие требования».

3. Основные санитарные правила обеспечения радиационной безопасности (ОСПОРБ-99). СП 2.6.1.799-99 Минздрав России, 2000.

4. Техническая документация фирмы-изготовителя «JEOL», Япония.

Заключение

Микроскоп электронный растровый JSM-7401F с зав. № SM18100077 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании и метрологически обеспечен при эксплуатации.