Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ-1000
| Номер в ГРСИ РФ: | 39221-08 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ООО "АИСТ-НТ", г. Москва, Зеленоград |
| 39221-08: Описание типа СИ | Скачать | 122.5 КБ |
Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с субнано-метровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах, могут использоваться при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 39221-08 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | СмартСПМ-1000 |
| Технические условия на выпуск | ТУ 1706-001-98300415-08 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2008 |
| Страна-производитель | Россия |
| Примечание | 05.12.2013 продлен срок свидетельства |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 05.12.2018 |
| Номер сертификата | 33510 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 1403 п. 32 от 05.12.201312 от 20.11.08 п.143 |
Производитель / Заявитель
ООО "АИСТ-НТ", г. Москва, Зеленоград
Россия
124460, Москва, Панфиловский пр-т, д.4, тел. 7 (495) 229-96-41, www.aist-nt.com, E-mail: info@aist-nt.com
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 39221-08 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 39221-08: Описание типа СИ | Скачать | 122.5 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 могут использоваться при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований.
Описание
Действие сканирующих зондовых микроскопов СмартСПМ - 1000 основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин ф1(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
Сканирующие зондовые микроскопы СмартСПМ - 1000 состоят из персонального компьютера, электронного блока управления, измерительной головки, набора держателей кантилевера и набора держателей образца. В сканирующих зондовых микроскопах СмартСПМ - 1000 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ; бесконтактная АСМ; контактная АСМ; метод латеральных сил; МСМ и методика зонда Кельвина; сканирующая емкостная микроскопия; электросиловая микроскопия.
Технические характеристики
|
Диапазон измерений по осям X и Y, мкм |
0^90 |
|
Диапазон измерений по оси Z, мкм |
0^12 |
|
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, % |
± 0,5 |
|
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % |
± 0,5 |
|
Тип сканирования |
неподвижный зонд |
|
Размеры образца, мм |
0=40; h=l 5 |
|
Нелинейность по осям X и Y, % |
0,03 |
|
Нелинейность по оси Z, % |
0,03 |
|
Резонансная частота по XY (без нагрузки), кГц |
7 |
|
Резонансная частота по Z (без нагрузки), кГц |
15 |
|
Масса, кг |
25 |
|
Напряжение питания, В |
220 |
|
Частота напряжения питания, Гц |
50 |
Знак утверждения типа
наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на нижнюю панель процессорного блока методом наклейки.
Комплектность
______Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
|
НЕ001 |
Головка СЗМ |
1 |
|
S001 |
XYZ пьезосканер с емкостными датчиками обратной связи |
1 |
|
АР001 |
Автоматизированная система подвода к образцу |
1 |
Лист № 2
Всего листов 2
|
Al110 |
Модульный, расширяемый цифровой контроллер |
1 |
|
РС001 |
Персональный компьютер в сборе |
1 |
|
SW001 |
Программное обеспечение, совместимое с Windows ХР |
1 |
|
PS001 |
Набор кантилеверов |
1 |
|
Калибровочная мера малой длины - дифракционная решетка производства "Holograte", 1000 - 3600 штрихов на мм, или аналогичная мера |
1 | |
|
Калибровочная мера малой высоты ступени - решетка "TGZ03" производства "MikroMash", номинальная высота 500 нм, или аналогичная мера |
1 |
Сведения о методах измерений
приведены в руководстве по эксплуатации на микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ-1000.
Поверка
осуществляется по документу МП 39221-08 «Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2008 г.
Основные средства поверки: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296-78.
Нормативные документы
Технические условия ТУ 1706-001-98300415-08
Рекомендации к применению
- для применения вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Микроскопы
