Микроскоп электронный растровый JSM-7001F

Назначение

Микроскоп электронный растровый JSM-7001F предназначен для количественного морфологического анализа и измерения линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.

Описание

Микроскоп электронный растровый JSM-7001F представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.

Микроскоп оснащен катодом с полевой эмиссией холодного типа.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов и устройством шлюзования, двух детекторов вторичных и одного детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и 3 ионных насоса для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.

Микроскоп обеспечивает работу как в режимах регистрации вторичных электронов, так и в режиме регистрации отраженных электронов.

Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом JSM-7001F заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Создание изображения объектов в режиме «Gentle Beam» обеспечивается благодаря торможению первичного пучка полем держателя образца, в результате чего сохраняется возможность наблюдения объекта при пониженных ускоряющих напряжениях с достаточно высоким разрешением.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Технические характеристики

1. Разрешение при ускоряющем напряжении ЗОкВ, нм

2.Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах

при 15кВ не более, нм

З.Диапазон регулировки увеличения, крат.........................................................10^-500000

4 .Диапазон измерения линейных размеров, мкм.............................................0,05-5-1000

5 . Пределы относительной погрешности измерений линейных размеров не более, %

6 .Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ........................................0,24-30

7 . Номинальное напряжение сети питания, В.........................................220 (+10/-15%)

8 . Максимальная потребляемая мощность, кВ'А

9 .Габаритные размеры основных составных частей не более, мм:

- электронно-оптическая система...................................................1125x790x1800

- операторский стол с компьютером................................................1200x1000x700

Ю.Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг

11 .Условия эксплуатации:

- диапазон температуры окружающего воздуха, °C........................................20 ± 2

- относительная влажность воздуха, %..........................................................................50^-80

- диапазон атмосферного давления, кПа........................................................84-5-107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

В комплект единичного экземпляра микроскопа электронного растрового JSM-7401F, зав. № SM18550065, входят:

1. Микроскоп электронный растровый JSM-7001F                                -1 шт.

2. Комплект ЗИП и расходные материалы                                      -1 шт.

3. Тест-объекты - образцы островковой пленки золота на углероде                 - 1шт.

4. Руководство по эксплуатации                                                  -1 шт.

Поверка

Поверка микроскопа проводится в соответствии с ГОСТ Р 8.631—2007 «ГСИ. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки»

При поверке применяется мера, изготовленная по ГОСТ Р 8.628—2007 «ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» и поверенная по ГОСТ Р 8.629—2007 «ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».

Межповерочный интервал — 1 год.

Нормативные документы

1. ГОСТ 12997-84 «Изделия ГСП. Общие технические условия».

2. ГОСТ Р 51350-99 «Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Общие требования».

3. Основные санитарные правила обеспечения радиационной безопасности (ОСПОРБ-99). СП 2.6.1.799-99 Минздрав России, 2000.

4. Техническая документация фирмы-изготовителя «JEOL», Япония.

Заключение

Микроскоп электронный растровый JSM-7001F с зав. № SM18550065 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании и метрологически обеспечен при выпуске из производства и эксплуатации.