Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT
| Номер в ГРСИ РФ: | 40597-09 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва |
| 40597-09: Описание типа СИ | Скачать | 351.7 КБ |
Для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением, применяются в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генной инженерии, создании наноструктурныхматериалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 40597-09 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | SOLVER NEXT |
| Технические условия на выпуск | ТУ 4254-004-40349675-2008 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 01.06.2014 |
| Номер сертификата | 35432 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | 05 от 28.05.09 п.59 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Россия
124482, Зеленоград, кор.100, тел. +7(499) 735-03-05 Факс +7(499) 735-64-10. (124460, Зеленоград, кор.167), E-mail: spm@ntmdt.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.630-07 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 40597-09: Описание типа СИ | Скачать | 351.7 КБ |
Описание типа
Назначение
Сканирующие зондовые микроскопы Solver NEXT, предназначены для измерений трехмерной топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Сканирующие зондовые микроскопы Solver NEXT применяются в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генной инженерии, создании наноструктурных материалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Описание
Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) представляют собой стационарные автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
СЗМ обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), так и атомно-силового микроскопа (АСМ) с использованием различных методик зондовой микроскопии.
Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и острием микрозонда. Детектируя туннельный ток, протекающий при постоянном электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение топографии поверхности.
В состав СЗМ входит: электронный блок управления - СЗМ контроллер, базовый блок Solver NEXT (оптическая система регистрации отклонений кантилевера, система сканирования, система автоматической юстировки, модуль СТМ, модуль АСМ, оптическая система видеонаблюдения с моторизованным непрерывным увеличением, фокусировкой и позиционированием рабочей области с разрешением 3 мкм или 1 мкм), USB-кабель для соединения СЗМ контроллера с рабочей станцией, кабель разъема «STEP MOTORS» для управления микроперемещателями, кабель разъема «HEAD», кабель разъема «CONTROLLER 2», программное обеспечение для получения и обработки изображений (NOVA-P9), набор кантилеверов (измерительных зондов), набор кремниевых решеток для калибровки сканера, подложка для крепления образцов, рабочие принадлежности для СЗМ Solver NEXT.
В качестве зонда в АСМ используется чувствительный элемент - кантилевер, который представляет собой кремниевый монокристалл, на котором сформирована балочная структура с острием в виде микроиглы. В СТМ в качестве зонда используется металлическая игла из платиновых сплавов.
Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью подачи на пьезотрубку сканера напряжения соответствующего значения. Использование в СЗМ Solver NEXT низкошумящих емкостных датчиков в процессе сканирования позволяет уменьшить влияние нелинейности пьезосканера и обеспечить возможность более точных измерений.
Конструкция СЗМ Solver NEXT обеспечивает автоматический подвод образца к зонду; автоматическую установку АСМ/СТМ головок в рабочее положение без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены зондового датчика; простую процедуру замены и установки образца. Приборы позволяют проводить сканирование образцом, комбинированно на воздухе и в жидких средах.
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ-контроллера поступают в измерительный узел Solver NEXT. Управление СЗМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Конструктивно СЗМ Solver NEXT выполнен в виде настольного прибора с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказу прибор оснащается широким набором дополнительных устройств и принадлежностей.
Технические характеристики
|
Параметры |
Значение |
|
1 Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0 до 90 |
|
2 Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 10 |
|
3 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY (%) |
±1 |
|
4 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z (%) |
±5 |
|
5 Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
0,02 |
|
6 Разрешение в плоскости XY с датчиками обратной связи, нм, не более |
0,3 |
|
7 Нелинейность сканирования в плоскости XY с датчиками обратной связи, %, не более |
0,1 |
|
8 Неортогональность сканера по оси Z, градус, не более |
5 |
|
9 Неортогональность сканера в плоскости XY, градус, не более |
2 |
|
10 Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм, не более |
200 |
|
11 Максимальное число точек сканирования по X и Y, Nx х Ny |
4000 х 4000 |
|
12 Диапазон позиционирования образца в плоскости XY (с минимальным шагом позиционера 0,3 мкм), мм, не менее |
5x5 |
|
13 Разрешающая способность оптической системы видеонаблюдения, мкм, не более |
2 |
|
Параметры |
Значение |
|
14 Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
0,24 |
|
15 Дрейф в плоскости XY, А/с, не более |
2 |
|
16 Дрейф по оси Z, А/с, не более |
1,5 |
|
17 Габаритные размеры электронного блока (ДхЩхВ), мм, не более |
445x160x500 |
|
18 Габаритные размеры базового блока Solver NEXT (ДхЩхВ), мм, не более |
320x215x470 |
|
19 Длина кабеля, м, не менее: - интерфейсного USB-кабеля - кабеля разъема «STEP MOTORS» - кабеля разъема «HEAD» - кабеля разъема «CONTROLLER 2» - кабеля сетевого |
2,0 1,5 1,5 1,5 1,8 |
|
20 Масса, кг, не более: - СЗМ контроллера (электронного блока) - базового блока Solver NEXT |
14 30 |
|
21 Номинальное напряжение электропитания (переменного тока), В |
(110 / 220)±10 |
|
22 Потребляемая мощность, Вт, не более |
400 |
|
23 Время выхода прибора на рабочий режим после включения в сеть, мин, не более |
5 |
|
24 Время непрерывной работы прибора, ч, не менее |
8 |
|
25 Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм, не более |
20 х 7 |
|
26 Масса исследуемых образцов, г, не более |
20 |
|
28 Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, мм рт. ст. - дрейф температуры, °C в час, не более - амплитуда вибраций в полосе частот 1-4000, мкм, Гц не более |
20 ±5 65 ±15 760 ± 30 1 0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на заднюю панель контроллера и на заднюю панель измерительного блока, а также на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Комплект поставки определяется заказом и отражается в спецификации. Основной комплект включает:
|
№ |
Описание |
Кол-во |
|
1 |
Электронный блок управления - СЗМ контроллер. |
1 шт. |
|
2 |
Базовый блок Solver NEXT (оптическая система регистрации отклонений кантилевера, система сканирования, система автоматической юстировки, модуль СТМ, модуль АСМ, оптическая система видеонаблюдения с моторизованным непрерывным увеличением, фокусировкой и позиционированием рабочей области с разрешением 3 мкм или 1 мкм). |
1 шт. |
|
3 |
USB-кабель для соединения СЗМ контроллера с рабочей станцией. |
1 шт. |
|
4 |
Кабель разъема «STEP MOTORS» для управления микроперемещателями. |
1 шт. |
|
5 |
Кабель разъема «HEAD». |
1 шт. |
|
6 |
Кабель разъема «CONTROLLER 2». |
1 шт. |
|
7 |
Программное обеспечение для получения и обработки изображений (NOVA-P9). |
1 шт. |
|
8 |
Набор кантилеверов (измерительных зондов). |
50 шт. |
|
9 |
Набор кремниевых решеток для калибровки сканера. |
3 шт. |
|
10 |
Подложка для крепления образцов. |
5 шт. |
|
11 |
Рабочие принадлежности для СЗМ Solver NEXT. |
1 шт. |
|
12 |
Паспорт «Микроскоп сканирующий зондовый SOLVER NEXT» |
1 шт. |
Поверка
Поверка микроскопов проводится в соответствии с ГОСТ Р 8.630-2007. При поверке применяются: Рельефная мера МШПС 2.ОК, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.628-2007 «ГСП. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»
ГОСТ Р 8.629-2007 «ГСП. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем. Методика поверки»
ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСП. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки»
Технические условия «Микроскоп сканирующий зондовый SOLVER NEXT» (ТУ 4254-00440349675-2008)
Заключение
Тип микроскопов сканирующих зондовых SOLVER NEXT утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.
Другие Микроскопы
