Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д
| Номер в ГРСИ РФ: | 41675-09 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ФГБНУ "ТИСНУМ", г. Москва, г.Троицк |
| 41675-09: Описание типа СИ | Скачать | 140.8 КБ |
Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках, для измерения геометрических характеристик отпечатков в заданных точках поверхности после индентирования с измеренной силой. Результаты измерений могут быть использованы для определения микротвердости в нанометровом диапазоне. Применяются при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 41675-09 |
| Наименование | Микроскопы сканирующие зондовые |
| Модель | НаноСкан-3Д |
| Технические условия на выпуск | ТУ 1706-015-48786949-08 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | Россия |
| Примечание | 04.12.2014 продлен срок свидетельства15.09.2014 Изменения в названии организации |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 04.12.2019 |
| Номер сертификата | 36630 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 1927 п. 01 от 04.12.2014Приказ 1343 п. 01 от 15.09.201409д от 08.10.09 п.116 |
Производитель / Заявитель
ФГБНУ "ТИСНУМ", г. Москва, г.Троицк
Россия
142190, Московская обл., ул.Центральная, 7а тел. 8(499)2722314, E-mail: nanoscan@newmail.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 41675-09 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Зарегистрировано поверок | 7 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 7 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 41675-09: Описание типа СИ | Скачать | 140.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3 Д (далее - микроскопы) предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках, а также для измерений геометрических характеристик отпечатков в заданных точках поверхности после индентирования с измеренной силой.
Описание
Действие сканирующих зондовых микроскопов НаноСкан-3Д основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом. При этом осуществляется регистрация параметров взаимодействия зонда с поверхностью. Это позволяет получить математическое описание геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств. Микроскоп может работать в режиме нанотвердомера, создавая искусственный микрорельеф на поверхности исследуемого материала путем воздействия алмазного индентора на поверхность, а также динамического (высокочастотного) воздействия зонда на поверхность. Особенности искусственного микрорельефа, возникающего под действием нормированных сил, позволяют определить ряд механических свойств образца, включая микротвердость.
Сканирующие зондовые микроскопы НаноСкан-3Д представляют собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоят из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов,
персонального компьютера. Внешний вид микроскопа представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Д. Стрелкой показано место нанесения знака утверждения типа.
В сканирующих зондовых микроскопах НаноСкан-3Д реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии и измерений механических свойств материалов:
- полуконтактная АСМ;
- метод силовой спектроскопии;
- метод инструментального наноиндентирования.;
- индентирование /склерометрия (измерения механических свойств путем анализа топографии остаточных отпечатков и царапин).
Программное обеспечение
Программное обеспечение микроскопов встроено в защищённую от записи память микроконтроллера, что исключает возможность его несанкционированных настройки и вмешательства, приводящего к искажению результатов измерений. Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов сканирующих зондовых НаноСкан-3Д
|
Наименование программного обеспечения |
Идентиф икацио нное наименование программного обеспечения |
№ верс ии ПО |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления идентификатор а ПО |
|
ПО для СЗМ «^hoC^h^D» |
NanoScan Device Control NanoScan Viewer |
v.35 v.18 |
A811250792ACD83A10C C288D9029D89F 436FE6C2384EB79C1038 557AD4402A69 |
MD5 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений по МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблицах 2 - 3.
|
Таблица 6 - Измерение элект |
рического сопротивления | |
|
Измеряемый параметр |
Диапазон измерений, не менее |
Пределы основной допускаемой погрешности измерений |
|
Измерения геометрической длины по осям X и Y |
От 0,02 до 90 мкм |
± (0,01 L + 5 нм) |
|
Измерения геометрической длины по оси Z |
От 0,004 до 9 мкм |
± (0,01 L + 4 нм) |
|
Воспроизведение силы прикладываемой нагрузки |
От 0 до 150 мН |
± (0,01 F + 30 мкН) |
|
L - измеряемое значение длины, F - воспроизводимое значение силы | ||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Размеры образца, мм |
100х100; h=80 |
|
Максимальная масса образца, кг |
2 |
|
Масса основного блока, кг (не более) |
60 |
|
Напряжение питания, В |
От 180 до 240 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на лицевую панель в соответствии с рисунком 1, а также типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Комплектность
В комплект поставки входят:
микроскоп - 1шт.;
плата управляющей электроники - 1 шт.;
соединительный кабель - 1 шт.;
сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами - 2 шт.;
программное обеспечение на CD диске - 1 шт.;
набор рельефных мер типа TDG01, TGZ1, TGZ2 - 1 компл.;
руководство по эксплуатации - 1шт.;
методика поверки - 1 экз.
Поверка
проводится в соответствии с документом МП 41675-09 «Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в июне 2009 г.
Основные средства поверки:
- мера периода линейная TDG01, воспроизводит длину (278 ± 1) нм;
- мера периода и высоты линейная TGZ1, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и высоту (20 ± 2) нм;
- мера периода и высоты линейная TGZ2, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и высоту (110 ± 10) нм.
Сведения о методах измерений
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Руководство пользователя.
Нормативные документы
Технические условия ТУ 1706-015-48786949-08.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
Другие Микроскопы
