41675-09: НаноСкан-3Д Микроскопы сканирующие зондовые - Производители, поставщики и поверители

Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 41675-09
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: ФГБНУ "ТИСНУМ", г. Москва, г.Троицк
Скачать
41675-09: Описание типа СИ Скачать 140.8 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках, для измерения геометрических характеристик отпечатков в заданных точках поверхности после индентирования с измеренной силой. Результаты измерений могут быть использованы для определения микротвердости в нанометровом диапазоне. Применяются при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 41675-09
Наименование Микроскопы сканирующие зондовые
Модель НаноСкан-3Д
Технические условия на выпуск ТУ 1706-015-48786949-08
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2009
Страна-производитель  Россия 
Примечание 04.12.2014 продлен срок свидетельства15.09.2014 Изменения в названии организации
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата 04.12.2019
Номер сертификата 36630
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С
Дата протокола Приказ 1927 п. 01 от 04.12.2014Приказ 1343 п. 01 от 15.09.201409д от 08.10.09 п.116
Производитель / Заявитель

ФГБНУ "ТИСНУМ", г. Москва, г.Троицк

 Россия 

142190, Московская обл., ул.Центральная, 7а тел. 8(499)2722314, E-mail: nanoscan@newmail.ru

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 41675-09
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Зарегистрировано поверок 10
Найдено поверителей 2
Успешных поверок (СИ пригодно) 10 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

41675-09: Описание типа СИ Скачать 140.8 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3 Д (далее - микроскопы) предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках, а также для измерений геометрических характеристик отпечатков в заданных точках поверхности после индентирования с измеренной силой.

Описание

Действие сканирующих зондовых микроскопов НаноСкан-3Д основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом. При этом осуществляется регистрация параметров взаимодействия зонда с поверхностью. Это позволяет получить математическое описание геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств. Микроскоп может работать в режиме нанотвердомера, создавая искусственный микрорельеф на поверхности исследуемого материала путем воздействия алмазного индентора на поверхность, а также динамического (высокочастотного) воздействия зонда на поверхность. Особенности искусственного микрорельефа, возникающего под действием нормированных сил, позволяют определить ряд механических свойств образца, включая микротвердость.

Сканирующие зондовые микроскопы НаноСкан-3Д представляют собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоят из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов,

персонального компьютера. Внешний вид микроскопа представлен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Внешний вид микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Д. Стрелкой показано место нанесения знака утверждения типа.

В сканирующих зондовых микроскопах НаноСкан-3Д реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии и измерений механических свойств материалов:

- полуконтактная АСМ;

- метод силовой спектроскопии;

- метод инструментального наноиндентирования.;

- индентирование /склерометрия (измерения механических свойств путем анализа топографии остаточных отпечатков и царапин).

Программное обеспечение

Программное обеспечение микроскопов встроено в защищённую от записи память микроконтроллера, что исключает возможность его несанкционированных настройки и вмешательства, приводящего к искажению результатов измерений. Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов представлены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов сканирующих зондовых НаноСкан-3Д

Наименование программного обеспечения

Идентиф икацио нное наименование программного обеспечения

№ верс ии ПО

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления идентификатор а ПО

ПО для СЗМ «^hoC^h^D»

NanoScan Device

Control NanoScan

Viewer

v.35

v.18

A811250792ACD83A10C C288D9029D89F

436FE6C2384EB79C1038 557AD4402A69

MD5

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений по МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблицах 2 - 3.

Таблица 6 - Измерение элект

рического сопротивления

Измеряемый параметр

Диапазон измерений, не менее

Пределы основной допускаемой погрешности измерений

Измерения геометрической длины по осям X и Y

От 0,02 до 90 мкм

± (0,01 L + 5 нм)

Измерения геометрической длины по оси Z

От 0,004 до 9 мкм

± (0,01 L + 4 нм)

Воспроизведение силы прикладываемой нагрузки

От 0 до 150 мН

± (0,01 F + 30 мкН)

L - измеряемое значение длины, F - воспроизводимое значение силы

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Размеры образца, мм

100х100; h=80

Максимальная масса образца, кг

2

Масса основного блока, кг (не более)

60

Напряжение питания, В

От 180 до 240

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на лицевую панель в соответствии с рисунком 1, а также типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации.

Комплектность

В комплект поставки входят:

микроскоп                                                        - 1шт.;

плата управляющей электроники                               - 1 шт.;

соединительный кабель                                          - 1 шт.;

сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами        - 2 шт.;

программное обеспечение на CD диске                        - 1 шт.;

набор рельефных мер типа TDG01, TGZ1, TGZ2               - 1 компл.;

руководство по эксплуатации                                    - 1шт.;

методика поверки                                                 - 1 экз.

Поверка

проводится в соответствии с документом МП 41675-09 «Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в июне 2009 г.

Основные средства поверки:

- мера периода линейная TDG01, воспроизводит длину (278 ± 1) нм;

- мера периода и высоты линейная TGZ1, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и высоту (20 ± 2) нм;

- мера периода и высоты линейная TGZ2, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и высоту (110 ± 10) нм.

Сведения о методах измерений

Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Руководство пользователя.

Нормативные документы

Технические условия ТУ 1706-015-48786949-08.

Рекомендации к применению

- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.

Другие Микроскопы

Default ALL-Pribors Device Photo
41696-09
WM1, исп. WM1250, WM1300, WM1400 Микроскопы измерительные
Фирма "Dr.Heinrich Schneider Messtechnik GmbH", Германия
Для измерения геометрических параметров: линейных и угловых размеров различных деталей и объектов. Область применения - в автомобильной промышленности, в металлообработке, в обработке пластмасс, в авиационной промышленности или в производстве электри...
Default ALL-Pribors Device Photo
41749-09
NanoSEM-3D Микроскоп сканирующий электронный
Фирма "Applied Materials, Inc.", США
Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных...
Default ALL-Pribors Device Photo
42432-09
Philips XL 40 Микроскоп электронный растровый
Фирма "Philips Electronics N.V.", Нидерланды
Для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотел...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерения массовых долей элементов в микрообъеме различных материалов: металлов, сплавов, порошков, стружек, геологических пород и т. д., в диапазоне измерений 0,2...100,0 %. Может анализировать любой материал, не разрушающийся в вакууме, измеряя...